国产半导体设备积极备战-北极星电力新闻网

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“今天，做半导体设备有点像当年做彩管设备。从1992年开始，中国第一批彩管设备都是整线整线地引进的，但到第二期，国产设备就插进去了，到今天，全国的彩管线，国产设备都可以做下来。”一位业内人士对记者说，“与此相同，5年前，我们还不能做6英寸设备，今天则认为6英寸很简单。8英寸设备对一些国内设备厂商而言，也就是再等一两年工夫的事。”这位业内人士对于未来充满信心。

从5%起步

　　“我国半导体设备业在经过多年的消沉之后，已经步入快速发展阶段，成为电子专用设备行业8个专业门类中增长最快的领域之一。”信息产业部电子信息产品管理司王勃华处长向记者介绍说。近年来，我国半导体设备领域人气较旺，目前我国半导体专用设备的生产研制单位共有60多家，涉足集成电路生产设备的厂、所至少有20家至30家，自主研制的集成电路专用设备达到上百个品种。

　　经过多年的努力，国产前道工序用扩散炉、快速热处理设备、清洗机、匀胶显影设备等，后道工序中的划片机、塑封机、部分模具等，材料制备设备中的单晶炉、研磨机、抛光机，部分净化设备和试验设备已经日渐成熟。中国半导体行业协会统计数据表明，近两年我国半导体设备的增长率达到50%以上，而七○○厂(已进入七星华创公司)生产的清洗机已被首钢NEC和杭州士兰公司采购，标志着国产设备开始进入集成电路大生产线。

　　但国产设备业毕竟刚刚整装待发，目前主要的服务对象仍然是一些院校和研究所中的科研型集成电路生产线，而国内在建的芯片生产线的设备仍以进口为主。2002年国产半导体设备的总销售额只有5亿多元，国内市场占有率小于5%，在技术水平方面与国外先进厂商仍然相差3代～4代。

　　面对我国半导体设备业的现状，我们的突破口在哪里？

　　据业内专家介绍，由于集成电路的工艺技术和所需装备具有递进发展、多代共存的特点，每一个发展时期都会有不同的工艺水平共存，换言之，即使我国的主流生产线达到0.18微米之后，也将会有0.25微米、0.35微米、0.5微米甚至以下水平的生产线存在。所以，我们应一方面加快开发步伐，争取满足先进生产线的建线需要；另一方面也应重视巩固已有的成果，提高产品质量，尽早满足其他生产线的建设需求。

　　七星华创的副总赵晋荣认为，6英寸以下设备也还大有用武之地。从国际上看，如果做专用IC，像手机用的射频电路，还要用6英寸的设备；另外像二极管也不可能拿到8英寸设备上生产。今天，在中国市场上1英寸、2英寸的生产线在运营，3英寸、4英寸生产线同样运转，6英寸、8英寸的生产线都有可生产的产品。这是中国市场的特色，有人形象地比喻：“中国市场有它的特殊性，有人买等离子彩电，也有人买9英寸的黑白电视”。而这样的市场特点也恰恰为我国的半导体设备厂商提供了广阔的发展机遇，毕竟6英寸及以下的半导体设备国外厂商已少有人做。

探寻合作秘方

　　“由于我们与国外的差距还比较大，因此我们要加强与国外同行的联系，争取通过一些项目在中国落地，快速地提高我们的技术水平，创造双赢局面。”王勃华处长如是说。据他介绍，目前美国、日本、韩国等许多海外半导体设备公司已经或正在筹划将制造基地转移到中国，其中韩国设备厂商对此最为关注。

　　但也有专家指出，集成电路设备行业是个垄断性行业，例如刻蚀机全球只有两三家公司在做，如应用材料、东京电子等。但每家又都有自己的专长，如东京电子在二氧化硅刻蚀方面做得最好，而应用材料就做金属刻蚀，市场细分的非常厉害。集成电路设备的投资很大，你买这家的，他也会买这家的，谁都不愿意去冒险，因此，在设备行业只有第一，没有第二。在尖端产品上，我们想通过合资合作来求发展几乎是不可能的。例如，东京电子二氧化硅刻蚀机的市场份额占到80%，它为什么还要合资呢？当然二流三流企业会来合作，但带不来尖端技术。

　　业内人士同时指出，合作不一定是合资，其他方式如技术转让等，可能会更快地提高中国的技术水平。“现在对于国内的半导体设备企业来说，最缺的是资金，一旦有了资金，可以招到一流人才，建立一流的实验环境和检测手段，包括把研发机构设在美国”。

国产化？配套化？

　　正因为集成电路设备是个包罗万象的行业，国外设备厂商也需要几百家企业给它配套。国产化并不意味着100%都由自己来做，现在一些大公司自己的配套率就不超过10%。王勃华处长在接受记者采访时表示：“我们也要走配套化的道路，能做就做，能买就买。”

　　七星华创的副总赵晋荣也认为，买一些配套产品实际上更划算。集成电路设备业虽然涉及的学科成百上千，但解决不了的也就是一两个核心技术，国外厂商不会卖给你，即使卖给你也会很贵。而对于那一两个核心技术，一些业内人士也很自信地告诉记者，“我们都有自己的解决手段”。这与国外的设备企业一样，他们只研发这一两个关键技术。例如，东京电子在扩散炉设备方面就保留着炉体这一核心部件的技术。“因此我们研发的不是设备，就是那一两项关键技术”。

　　针对我国设备配套业仍较落后这一现状，赵晋荣提出了这样的观点：半导体设备业用不着等待配套业成熟之后再发展，而设备业的发展反而可以带动配套业的发展。赵晋荣认为分“三步走”是比较明智的：首先，中国要建设半导体生产线；然后需要国内企业研发半导体设备，防止所有的设备都依赖进口；第三步才是发展设备配套业，别让几百亿美元购买部件的费用都落到国外厂商手里。“如果设备业做不大，一年才做几千万，只买三五个泵，也用不着去发展配套厂”。

阻击二手设备

　　据国外一家知名的半导体设备厂商预计，到2005年，我国半导体设备的市场容量将达到20亿美元。

　　不错，按赵晋荣的话说：“国内半导体设备市场非常大，不像很多行业还要寻找市场。只要你能够做得出来，就能卖得出去，不存在寻找需求的问题。关键是做出来的设备是否能够与国外达到同等水平。”

　　市场很大，但来自各方面的冲击也不少，如应付“二手设备”就还需要积极“备战”。但有专家表示“二手设备”

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