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项目背景
PECVD即借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)。
系统描述
利用研华嵌入式无风扇控制器UNO-2170,作为数据转换平台,收集由下位包括PLC,流量计中读取的信号,并通过研华EKI-2528传输到上位机进行监控。针对于系统问题,由研华将系统以及客户的相应工艺以及backoff的软件进行剪裁,保证了系统的稳定。
项目实施
系统架构图
研华PECVD系统解决方案架构图
客户现场图片
总结
研华在针对设备与产线自动化的解决方案中,通过研华嵌入式平台进行数据的整合和运行,研华开放式的硬件平台支持各种流行系统,同时针对客户需求对系统进行剪裁,保障系统的稳定性,同时UNO系列结构坚固耐用,适合任何关键和恶劣的环境使用,特有的无风扇设计解决了传统PC所面临的问题,更能保证几台设备稳定的运行。
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