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中微半导体设备(上海)股份有限公司(简称“中微公司”)致力为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案,其开发的电容耦合等离子体(CCP)刻蚀设备、电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备、深硅刻蚀设备及MOCVD设备,在性能和竞争力方面均达到国际前三的水平。这些设备是制造微米级和纳米级微观器件的关键,而微观器件是现代数码产业的基础,正不断改变着人类的生产和生活方式。ABB为中微公司提供了Tmax XT塑壳断路器、AF接触器、SU200M微型断路器等技术产品,保障精密设备的电动机控制中心安全、连续、稳定运行。
设备内ABB产品
半导体全产业链技术壁垒较高,半导体设备必须兼顾性能与稳定性,才能满足晶圆制造严苛的良率要求。芯片越先进,所需的制程越小,微观图案的“分辨率”就越高。以中微公司的刻蚀设备为例,作为纳米级雕刻的“手术刀”,其工艺是在芯片上进行微观加工,芯片加工的精度相当于达到头发丝直径的万分之一,要求极其苛刻。ABB的电气产品满足了半导体设备对稳定性及高性能的双重标准。
Tmax XT塑壳断路器为双重绝缘结构,具有超强的抗机械震动和抗电磁效应,保证了设备的安全性。而AF接触器拥有宽电压、低功耗,分合式开关等优势,可在电压不稳定电路中的稳定、持续运行,是电机控制和电路通断的一个重大提升,能帮助中微公司减少80%的消耗。因散热量减少,同时增加了控制柜中的安装密度,实现了降本增效。
万物互联的时代,机械设备的智能化升级势在必行。ABB数字化解决方案能够对智能元器件进行设备健康管理,提前预测设备故障,减少非预期停电所造成的经济损失,变被动预防式维护为主动预测性维护。ABB与中微公司通力合作,计划将在半导体设备中应用ABB数字化模块,实时监测开关主回路运行温度,保障设备的运行安全、稳定,实现智能运维。
ABB电气中国总裁赵永占表示,半导体装备制造是信息技术的核心,需要更为精密先进的技术集成。ABB电气产品在中微半导体设备上的成功应用,提升了精密设备的稳定、可靠性,印证了ABB在电气领域深厚的技术专长和品质保证。中微公司是中国高端装备制造产业的标杆企业之一,ABB愿与行业先锋进一步探索机械设备的高质量发展。
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