来源：C114中国通信网2012-02-09

1.微机电系统(mems)微机电系统(microelectromechanical systems，缩写为mems)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。

来源：中国仪表展览网2012-02-06

其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。...整个产业链对其核心部件传感器的需求量巨大，2015年传感器市场规模将达到3500亿元。2010年传感器销量市场将达到905亿元。再次大力发展装备自动化，提升装备制造业的整体水平。

来源：控制工程网2012-01-10

2012年传感器发展重点传感器技术(1)mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀(drie)工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器

来源：百方网2012-01-04

mems传感器市场随着国际mems传感器市场从高端产品向消费类产品市场转移，中国的mems传感器市场将加速繁荣。mems传感器除了用于工业交通等部门外，新兴应用市场是汽车、通信、办公设备、移动电话等。

来源：电缆网2011-12-16

几乎材料所有的物理特性，能在某些激励下产生变化，都可用于构成传感器。广泛使用的传感器包括：电阻、电感、电容、半导体、光电、压电、机械和mems等。...发展光纤传感器的挑战因素有：非光子技术竞争(mems，无线等);尽快对产品标准的制定;成本因子。五、全球宏观经济环境与传统的机电和电子传感器相比，光纤传感器有着一系列独特的优点。

来源：百方网2011-12-05

技术的微型动态压阻压力传感器常州大学昆山双桥传感器测控技术有限公司江苏大学丁建宁王文襄王冰坎标程广贵王权袁宁一华同曙尤彩红孙晋玲二2011仪器仪表多层复合屏及带该多层复合屏的正投影系统成都傲龙电子有限公司罗筱泠二...原子荧光联用仪北京瑞利分析仪器有限公司梁敬张锦茂王庆陈璐董芳二2011仪器仪表高压开关sf6气体微水含量传感器及在线监测系统沈阳仪表科学研究院何方袁峰徐洪张清志李振波申安安韩华超张立张卫张春晓二2011仪器仪表基于mems

来源：中国传动网2011-10-24

，以及工业综合型分散控制系统(dcs)、微机电系统(mems)、现场总线控制系统(fcs)等高端系统，建成国家数字化仪器仪表的重要研发和生产基地。...其中，重点发展千万吨炼油百万吨乙烯或芳烃等重大工程自动化仪器仪表、先进传感器、射频识别系统(rfid)、互感器、避雷器、现场控制系统等精密仪器仪表，智能流量计、智能变送器、执行器、调节阀、分析仪器等智能仪表

来源：北极星电力信息化网2011-10-10

李维平说，目前公司与国内的北大、南大、东大以及知名科研院所都建立了合作关系，拥有南京市mems(微机电系统)传感工程研究中心，是国内少有的掌握全部关键工艺技术的厂家。...南京英特神斯公司正在研发具有自主知识产权的传感器芯片，我们正在与其进行合作，一旦成功，生产出的传感器就将完全国产化。

来源：北极星电力网2011-09-30

据ihsisuppli公司的mems与传感器专题报告，汽车产业恢复生机，全球智能手机和平板电脑对于数字罗盘的需求上升，正在推动硅磁传感器市场加速增长，预计2011年销售额将上升23.7%。

来源：北极星电力软件网2011-09-20

基于mems的微传感技术和无线联网技术为无线传感器网络赋予了广阔的应用前景。这些潜在的应用领域可以归纳为:军事、航空、反恐、防爆、救灾、环境、医疗、保健、家居、工业、商业等领域。...随着微机电系统(micro-electro-mechanismsystem,mems)、片上系统(soc，systemonchip)、无线通信和低功耗嵌入式技术的飞速发展,孕育出无线传感器网络(wirelesssensornetworks

来源：国际电子商情网2011-09-13

同时consensic可以根据客户需求针对不同应用领域的具体要求，开发相应的高性能mems电容式传感器。...除了面向天气预报和智能移动设备市场，cps120智能mems电容传感器同样适合医疗设备、空气环境控制系统和工业设备等领域。

来源：中华工控网2011-07-27

baolab公司制造的芯片是在一个传统的硅芯片上蚀刻出一个纳米级的微机电系统(mems)。在这个纳米级微机电系统设备中有一个由弹性元件悬吊着的铝片。...英国南安普顿大学纳米组的纳米电子学教授hiroshi mizuta说，“与传统传感器相比，这种微机电系统和互补金属氧化物半导体相结合的技术将提高传感器的敏感度，并缩小传感器芯片的体积，降低芯片的成本。”

来源：中国科技财富2011-07-25

重点发展高端传感器、mems、智能传感器和传感器网节点、传感器网关;超高频rfid、有源rfid和rfid中间件产业等，重点发展物联网相关终端和设备以及软件和信息服务。

来源：中国传动网2011-07-12

当前的重点是多维精密加工工艺，精密成型工艺，球面、非球面光学元件精密加工工艺，晶体光学元件磨削工艺，特殊光学薄膜设计与制备工艺，精密光栅刻划复制工艺，特殊焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，专用芯片加工技术，mems...目前新型传感器技术包括固态硅传感器技术、光纤传感器技术、生物芯片技术、基因芯片技术、图像传感器技术、全固态惯性传感器技术、多传感器技术等。“十二五”将以智能传感器作为重点，进行关键技术攻关。

来源：今日自动化2011-07-07

当前的重点是多维精密加工工艺，精密成型工艺，球面、非球面光学元件精密加工工艺，晶体光学元件磨削工艺，特殊光学薄膜设计与制备工艺，精密光栅刻划复制工艺，特殊焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，专用芯片加工技术，mems...目前新型传感器技术包括固态硅传感器技术、光纤传感器技术、生物芯片技术、基因芯片技术、图像传感器技术、全固态惯性传感器技术、多传感器技术等。“十二五”将以智能传感器作为重点，进行关键技术攻关。

来源：慧聪电子网2011-06-30

汽车是第三大无晶圆制造半导体mems应用，包括压力传感器、微辐射计、热电堆和气体传感器。按规模从大到小排名，2010年其它主要无晶圆制造半导体mems应用市场包括有线通信、工业、医疗、民用与军用航空。

来源：仪器仪表交易网2011-06-30

同时，国家高度重视传感器产业，特别是mems传感器产品的研发和产业化，在良好的市场驱动和政策环境作用下，我国mems传感器产品将获得进一步的长足发展。

来源：仪器仪表交易网2011-06-29

日前，飞思卡尔半导体宣布推出用于测量海拔的高精度压力传感器，ihsisuppli研究公司的调查显示，消费电子产品和移动电话对mems技术的需求将在2011年增长25.6%。。...飞思卡尔xtrinsicmpl3115a2压力传感器基于微机电系统(mems)技术，补充了xtrinsic产品组合中的加速计和磁力计，可以满足智能移动设备中对这类组件的日益增长的需求。

来源：仪器仪表交易网2011-06-29

同时，国家高度重视传感器产业，特别是mems传感器产品的研发和产业化，在良好的市场驱动和政策环境作用下，我国mems传感器产品将获得进一步的长足发展。

来源：中国自动化网2011-06-29

横跨多重电子应用领域、全球领先的半导体供应商及全球第一大消费电子和便携应用mems（微机电系统）传感器供应商意法半导体（stmicroelectronics，简称st；纽约证券交易所代码：stm）推出能够检测五个自由度的多传感器模块