来源：南通强生光电科技有限公司2011-07-06

目前，我司整合的60mw生产线，全部投入不超过1亿元人民币，该线核心装备pecvd和真空溅射设备与美国著名真空制造企业合作生产，激光刻线机采用全球著名的德国企业高精度产品。

来源：中国能源报2011-06-20

“我们在半年内成功研制了太阳能电池生产的核心设备：扩散炉及管式pecvd，创造了设备行业的研发速度记录，为华伯公司带来了1.6亿元订单。”华伯公司负责人说。...高新区相关负责人说，南京华伯仪器科技有限公司半年前入驻高新区，是一家以太阳能光伏及led装备研发、制造、营销为核心的企业。

来源：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-17

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：中国工控网2011-06-17

苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁李本成撰文指出，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：搜狐IT2011-06-16

/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式pecvd、石英管清洗机、丝网印刷机、高低温烘干烧结炉、自动分选测试仪等，并能为国内外光伏企业提供晶体硅太阳能电池制造成套装备和工艺解决方案。

来源：中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长 伍三忠2011-06-15

坚持走光伏装备国产化之路从总体上讲，目前我国光伏装备制造业处于“国产化替代进口阶段”，平板式pecvd、激光刻边机、湿法化学刻蚀机、链式扩散炉等少数设备还依赖进口。

来源：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-15

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新能源技术中心 孟凡英2011-06-15

目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(pecvd)方法，真空腔的清洗基本是氟化物(sf6或nf3)，排出物是含氟气体。...美国第一太阳能对cdte薄膜电池技术严密封锁，其他欲进入该领域的企业在量产化过程中困难重重。目前中国的薄膜电池企业大部分在硅基薄膜领域，也有一些企业开始进入cigs和cdt

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式pecvd、石英管清洗机、丝网印刷机、高低温烘干烧结炉、自动分选测试仪等，并能为国内外光伏企业提供晶体硅太阳能电池制造成套装备和工艺解决方案。

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

扩散炉和pecvd，目前大量应用的国产设备都是管式的，由于可以满足生产工艺的要求，设备性价比也高，所以这些设备的市场认可度也高。...融合了更先进工艺技术的新一代管式扩散炉、高产能管式pecvd、全自动高精度太阳能电池片测试分选设备的推出，将使相关国产太阳能设备的市场份额进一步扩大，电池片生产线的成本优势再一次得到加强。

来源：龙虎网-南京日报2011-06-07

“我们在半年内成功研制了太阳能电池生产的核心设备：扩散炉及管式pecvd，创造了设备行业的研发速度记录，为华伯公司带来了1.6亿元订单。”华伯公司负责人说。...高新区相关负责人说，南京华伯仪器科技有限公司半年前入驻高新区，是一家以太阳能光伏及led装备研发、制造、营销为核心的企业。

来源：中国电子报2011-04-21

通过技术升级，扩散炉、pecvd设备、清洗机、高温烧结炉等关键工艺装备的各项技术性能指标均达到国内领先、国际一流的水平。 第三，大生产有能力加快装备的研发进度。...近几年来，48所通过在大生产运行中积极探索先进工艺，对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进

来源：ABB2011-03-24

本次重点展出的abb机器人自动工作站－管式pecvd石墨舟取片/插片系统的取片及插片速度最高可达3000次/每小时，被广泛应用于太阳能管式pecvd工艺流程石墨舟的取片/插片，适用于125/156寸、单晶

来源：新华网2011-03-11

今年1月，由正泰集团自主研发的中国首台具国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)成功下线，打破了同类设备一直被国外厂商垄断的局面。

来源：互联网2011-03-04

kai设备是一个全自动化的pecvd(等离子体增强化学气相沉积)系统，作为行业内1.4 m2太阳能组件大规模生产的核心设备。...snec第五届(2011)国际太阳能光伏大会暨(上海)展览会隆重召开, 全球领先的光伏企业欧瑞康太阳能公司隆重亮相国际太阳能上海光伏展。

来源：宏源证券2011-03-03

solarfrontier近日开始量产,作为世界上最大的cigs薄膜电池项目,将大幅提升该技术的市场份额;而正泰集团投资的张江理想能源1月下线了国内首台薄膜电池关键生产设备——pecvd,预计年内可以实现薄膜电池生产设备的全套国产化

来源：索比太阳能2011-03-01

在这种坚守之下，今年1月，首台“中国造”代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在正泰下属企业成功下线，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面

来源：西门子工业自动化与驱动技术集团2011-02-25

太阳能生产线设备解决方案主要包括pecvd控制方案、层压机控制方案、湿台清洗设备控制方案、单晶硅/多晶硅炉控制方案。目前全球最大的太阳能市场是欧洲。...在本届snec光伏大会暨(上海)展览会上，西门子自动化系统部展出了最新科技，致力于帮助中国太阳能全产业链生产制造业企业和光伏电站最终用户提高生产效率和生产力。

来源：中国电子报2011-02-17

在极大规模集成电路制造关键设备方面，我认为还应重点发展能够带动其他产业技术升级的关键设备以及先进封装的关键设备;在太阳能光伏设备方面，应重点发展现在还制约整线配套能力的全自动丝网印刷系统、平板式pecvd

来源：中国电子报2011-01-11

国内的硅基薄膜电池项目很多采用基于美国epv公司的低成本生产技术，但由于epv公司的pecvd功率较低，一条生产线的产能不大，电池效率也不高，约在6%～7%左右。...近年来国内有些企业也采用瑞士欧瑞康等公司的全套进口设备，如河北新奥购置美国应用材料的设备，天威保变、浙江正泰等公司采用的则是瑞士欧瑞康公司的设备，这些生产线能够生产非晶/微晶叠层或多结结构的电池，电池转换效率可在