来源：北极星电力网2011-09-30

据ihsisuppli公司的mems与传感器专题报告，汽车产业恢复生机，全球智能手机和平板电脑对于数字罗盘的需求上升，正在推动硅磁传感器市场加速增长，预计2011年销售额将上升23.7%。

来源：北极星电力软件网2011-09-20

基于mems的微传感技术和无线联网技术为无线传感器网络赋予了广阔的应用前景。这些潜在的应用领域可以归纳为:军事、航空、反恐、防爆、救灾、环境、医疗、保健、家居、工业、商业等领域。

来源：国际电子商情网2011-09-13

美国consensic公司推出革命性新型微机电（mems）智能电容式压力传感器cps120，是全世界唯一一家数字式mems电容式压力传感器的厂商。

来源：中华工控网2011-07-27

现在，一种新的传感器制造方法的出现将使这一技术的实施成本更廉价、设备更小巧。西班牙baolab microsystems公司使用一种更加简单的制造方法制造出了新型的数字指南针。...baolab公司制造的芯片是在一个传统的硅芯片上蚀刻出一个纳米级的微机电系统(mems)。在这个纳米级微机电系统设备中有一个由弹性元件悬吊着的铝片。

来源：中国科技财富2011-07-25

重点发展高端传感器、mems、智能传感器和传感器网节点、传感器网关;超高频rfid、有源rfid和rfid中间件产业等，重点发展物联网相关终端和设备以及软件和信息服务。

来源：中国传动网2011-07-12

当前的重点是多维精密加工工艺，精密成型工艺，球面、非球面光学元件精密加工工艺，晶体光学元件磨削工艺，特殊光学薄膜设计与制备工艺，精密光栅刻划复制工艺，特殊焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，专用芯片加工技术，mems...目前新型传感器技术包括固态硅传感器技术、光纤传感器技术、生物芯片技术、基因芯片技术、图像传感器技术、全固态惯性传感器技术、多传感器技术等。“十二五”将以智能传感器作为重点，进行关键技术攻关。

来源：今日自动化2011-07-07

当前的重点是多维精密加工工艺，精密成型工艺，球面、非球面光学元件精密加工工艺，晶体光学元件磨削工艺，特殊光学薄膜设计与制备工艺，精密光栅刻划复制工艺，特殊焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，专用芯片加工技术，mems...目前新型传感器技术包括固态硅传感器技术、光纤传感器技术、生物芯片技术、基因芯片技术、图像传感器技术、全固态惯性传感器技术、多传感器技术等。“十二五”将以智能传感器作为重点，进行关键技术攻关。

来源：慧聪电子网2011-06-30

汽车是第三大无晶圆制造半导体mems应用，包括压力传感器、微辐射计、热电堆和气体传感器。按规模从大到小排名，2010年其它主要无晶圆制造半导体mems应用市场包括有线通信、工业、医疗、民用与军用航空。

来源：仪器仪表交易网2011-06-30

同时，国家高度重视传感器产业，特别是mems传感器产品的研发和产业化，在良好的市场驱动和政策环境作用下，我国mems传感器产品将获得进一步的长足发展。

来源：仪器仪表交易网2011-06-29

日前，飞思卡尔半导体宣布推出用于测量海拔的高精度压力传感器，ihsisuppli研究公司的调查显示，消费电子产品和移动电话对mems技术的需求将在2011年增长25.6%。。...飞思卡尔xtrinsicmpl3115a2压力传感器基于微机电系统(mems)技术，补充了xtrinsic产品组合中的加速计和磁力计，可以满足智能移动设备中对这类组件的日益增长的需求。

来源：仪器仪表交易网2011-06-29

同时，国家高度重视传感器产业，特别是mems传感器产品的研发和产业化，在良好的市场驱动和政策环境作用下，我国mems传感器产品将获得进一步的长足发展。

来源：中国自动化网2011-06-29

横跨多重电子应用领域、全球领先的半导体供应商及全球第一大消费电子和便携应用mems（微机电系统）传感器供应商意法半导体（stmicroelectronics，简称st；纽约证券交易所代码：stm）推出能够检测五个自由度的多传感器模块

来源：传动网2011-05-24

我国近年建立了传感器技术国家重点实验室、微米/纳米国家重点实验室等研发基地，初步建立了敏感元件和传感器产业，2000年总产量超过13亿只，目前我国已有1688家从事传感器的生产和研发的企业，其中mems

来源：中国数控信息网2011-04-01

其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。...整个产业链对其核心部件传感器的需求量巨大，据ccid预测2015年传感器市场规模将达到3500亿元。2010年传感器销量市场将达到905亿元。再次大力发展装备自动化，提升装备制造业的整体水平。

来源：中国化工仪器网2010-12-28

flashdsc的心脏是基于mems(micro-electro-mechanicalsystems微机电系统)技术的芯片传感器，可以实现超快速的升温和降温实验。

来源：电子元件技术网2010-11-29

对于敏感元器件和传感器的发展，温学礼表示，目前，我国开发新一代的高、精、尖传感器已具备条件，如光纤、红外、超声波、生物、智能及模糊控制传感器，采用mems技术制作的微传感器等。

来源：易展仪表展览网2010-11-24

其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。...整个产业链对其核心部件传感器的需求量巨大，据ccid预测2015年传感器市场规模将达到3500亿元。2010年传感器销量市场将达到905亿元。 再次大力发展装备自动化，提升装备制造业的整体水平。

来源：中华工控网2010-11-09

其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。...整个产业链对其核心部件传感器的需求量巨大，据ccid预测2015年传感器市场规模将达到3500亿元。2010年传感器销量市场将达到905亿元。 再次大力发展装备自动化，提升装备制造业的整体水平。

来源：大唐电信2010-11-05

·数据传感器 采用最新mems传感器技术，可采集温度、压力、流量等参数，并内置无线宽带射频模块。无线宽带射频模块与电力传感器集成，只要有无限宽带网络信号，即可实时上传数据。

来源：电子产品世界2010-10-28

传感器技术 (1)mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀(drie)工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器：如用微硅电容传感器