来源：传动网2011-05-24

我国近年建立了传感器技术国家重点实验室、微米/纳米国家重点实验室等研发基地，初步建立了敏感元件和传感器产业，2000年总产量超过13亿只，目前我国已有1688家从事传感器的生产和研发的企业，其中mems

来源：中国数控信息网2011-04-01

其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。...整个产业链对其核心部件传感器的需求量巨大，据ccid预测2015年传感器市场规模将达到3500亿元。2010年传感器销量市场将达到905亿元。再次大力发展装备自动化，提升装备制造业的整体水平。

来源：中国化工仪器网2010-12-28

flashdsc的心脏是基于mems(micro-electro-mechanicalsystems微机电系统)技术的芯片传感器，可以实现超快速的升温和降温实验。

来源：电子元件技术网2010-11-29

对于敏感元器件和传感器的发展，温学礼表示，目前，我国开发新一代的高、精、尖传感器已具备条件，如光纤、红外、超声波、生物、智能及模糊控制传感器，采用mems技术制作的微传感器等。

来源：易展仪表展览网2010-11-24

其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。...整个产业链对其核心部件传感器的需求量巨大，据ccid预测2015年传感器市场规模将达到3500亿元。2010年传感器销量市场将达到905亿元。 再次大力发展装备自动化，提升装备制造业的整体水平。

来源：中华工控网2010-11-09

其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。...整个产业链对其核心部件传感器的需求量巨大，据ccid预测2015年传感器市场规模将达到3500亿元。2010年传感器销量市场将达到905亿元。 再次大力发展装备自动化，提升装备制造业的整体水平。

来源：大唐电信2010-11-05

·数据传感器 采用最新mems传感器技术，可采集温度、压力、流量等参数，并内置无线宽带射频模块。无线宽带射频模块与电力传感器集成，只要有无限宽带网络信号，即可实时上传数据。

来源：电子产品世界2010-10-28

传感器技术 (1)mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀(drie)工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器：如用微硅电容传感器

来源：中国传动网2010-10-14

发展重点 传感器技术 (1)mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀(drie)工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器：如用微硅电容传感器

来源：中华工控网2010-09-26

mems的发展，把传感器的微型化、智能化、多功能化和可靠性水平提高到了新的高度。...除mems外，新型传感器的发展还有赖于新型敏感材料、敏感元件和纳米技术，如新一代光纤传感器、超导传感器、焦平面陈列红外探测器、生物传感器、纳米传感器、新型量子传感器、微型陀螺、网络化传感器、智能传感器、

2010-07-13

据相关数据统计显示，半导体传感器市场份额会继续增加，估计2008年达到43%，而以mems为基础的智能化传感器和具有总线能力的传感器将会成为市场的主流。

来源：中国电子元件行业协会2009-09-28

一批基于mems(微机电系统)技术的新型传感器正在进入市场。传感器设计技术、材料控制技术、生产技术、可靠性技术和测试技术不断发展成熟，量产能力逐步提高。...他介绍说，经过12年的发展，公司基于mems技术的压力传感器和陀螺加速度微系统组合的主打产品，现在出口到45个国家和地区。 　　

来源：中国电子元件行业协会敏协分会2009-09-27

mems传感器市场 　　随着国际mems传感器市场从高端产品向消费类产品市场转移，中国的mems传感器市场将加速繁荣。

2006-11-20

在重要传感器件方面，自主开发了mems（微机电系统）振动传感器、mems声响传感器、mems红外传感器、光纤传感器、声阵列传感器，形成了以mems传感器为主、复合多信息探测的小型化传感器系列。

2006-11-09

来自日本奈良先端科学技术大学院大学、清华大学、上海交大、西安交大等高校的教授也分别从多传感器融合技术、知识与信息处理技术、mems(微机电系统)、视觉传感技术及光电波传感技术、多传感器网络在汽车安全中的应用等角度介绍了他们的最新研究成果

2006-09-14

例如：当前我国正在重点开发的mems(微电子与微机械的结合)、momes(mems与微光学的结合)、智能传感器(mems与cpu、信息控制技术的结合)、生物化学传感器(mems与生物技术、电化学的结合)

2006-09-07

使用芯片上配置的加热器，可加热外界空气，利用热传感器检测加热后空气的流动，以此推算风速。 　　该公司认为医疗领域的家庭用途今后将会越来越广泛，现已将mems定位于其核心技术之一...　　欧姆龙在2006年9月1月召开的“mems技术在生命科学领域的应用”交流会上，常务董事、技术本部长今仲行一介绍了压力传感器与流量传感器等mems技术在医疗领域的应用事例。 　　

2006-09-07

、微传感器等，使仪器仪表产品体积缩小，精度提高。 　　...应用mems技术的微型仪器被称为芯片上的仪器，mems产品包括生物芯片，汽车加速计，压力、化学、流量计，微光谱仪等产品，广泛应用于生命科学、环境科学、航天、生物医疗、汽车工业、军事、工业控制等领域。

2006-08-30

今后将向有关机构提供传感器样品，力争将其应用于氢气设施中。 该传感器在热电转换式mems元件上形成了以陶瓷支撑材料的铂触媒图案。...作为维持触媒温度的加热器集成技术，采用mems技術研制出隔热性很高的微加热器。

2006-08-28

全国已有1688家企事业从事传感器的研制、生产和应用，其中从事mems研制生产的已有50多家。...目前全行业正在执行“十五”规划，mems等5项新型传感器已列入研究开发的重点；国家计委决定从2002年开始组织实施的新型电子元器件产业化专项中有5项新型敏感元件与传感器已经启动；一些省、市新建立的“传感器产业基地