来源：光伏們2019-11-20

随后在3月14日，继在美国和德国，韩华新能源又以相同的原因，向澳大利亚联邦法院对晶科、隆基提起专利侵权诉讼，称专利权利要求不限于任何特定的制造方法，例如原子层沉积（ald）或等离子体增强化学沉积（pecvd

来源：光伏测试网2019-11-18

随后，梅耶伯格站队隆基:“韩华声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同；目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。”

来源：光伏测试网2019-11-15

行业专家认为，技术上看，目前隆基、晶科等公司的perc技术产品采用的是pecvd技术，与涉案韩华专利采用的ald技术技术方法并不一致；此外韩华诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得，其专利权与其他公司共有

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-10-24

第一台国产软着陆扩散炉、第一台管式pecvd，业内首条高效perc电池智能制造生产示范线……拥有如此多“第一”的湖南红太阳光电科技有限公司（简称“红太阳光电”）是怎样做到的？...也许正是基于对技术设备的大量研发投入，与涵盖光伏全产业链设备的绝对实力，在今年九月份，红太阳光电公司才能获得全球市值最高光伏企业的青睐，成功收获pecvd、氧化退火设备大单，提前奠定了红太阳光电在2020

来源：PV兔子2019-10-18

传统的电池生产流程，包括从硅片出发经历清洗制绒、扩散制结、刻蚀、去除磷硅玻璃、pecvd镀反射膜、丝网印刷、烘干烧结、分类检测等工艺，完成电池的制造。...非晶硅沉积主要使用pecvd方法。tco薄膜沉积目前有两种方法：rpd(反应等离子体沉积)和pvd（物理化学气象沉积）。住友重工拥有rpd的专利，而pvd技术发展成熟，提供给设备的厂家较多。

来源：厚济天下2019-10-17

单独来看，背钝化投资额最大，1gw投资额为1.08亿元；管式pecvd第二，1gw需要设备数量为11台，投资额0.46亿元；制绒1gw需要设备5台，投资额0.34亿元；印刷线1g需要设备5台，投资额为0.58...具体到细分设备，2019-2021年市场空间：制绒设备21.4亿元、扩散设备13.9亿元、刻蚀设备9.5亿元，退火设备13.9亿元，背钝化设备63亿元、pecvd设备28.4亿元、印刷线36.5亿元、激光开槽设备

来源：挖贝网2019-10-17

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化（配套）设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售

来源：上海证券2019-10-17

目前hjt电池设备以国外为主，国产企业加速布局，在其中最重要的pecvd、rpd和pvd设备，国内企业都已经有产品推出，并且在下游客户应用。

来源：电新产业研究2019-10-15

2.hjt降本的理论空间较大，具体进展需要再跟踪：hjt电池生产只有四步，清洗制绒、pecvd镀本征和掺杂非晶硅薄膜、pvd镀金属导电膜、丝印烧结。...理论上分析，hjt电池生产流程简单，制备过程只有清洗制绒、pecvd镀本征和掺杂非晶硅薄膜、pvd镀金属导电膜、丝印烧结等步骤（较现行路线少了3-4个步骤），未来hjt生产也将更智能化，长期降本可能主要集中在耗材

来源：摩尔光伏2019-10-14

为方便pecvd开腔pm的需要，"灰区"内也可设置可移动式微环境工作罩（mini environment），配置按需使用的排风装置，从而大大减轻pecvd工艺设备对厂务环境的要求，降低生产成本。

来源：雪球2019-09-24

的pecvd来说并无障碍。...王玉明认为，提升pecvd m6大硅片产能，需要增大反应管内径、加长恒温区以及提升单管产能三方面进行设计改进；同时他预测，单管产能504片或630片m6大硅片将成为未来pecvd的主流。

来源：光伏头条2019-09-24

的pecvd来说并无障碍。...王玉明认为，提升pecvd m6大硅片产能，需要增大反应管内径、加长恒温区以及提升单管产能三方面进行设计改进；同时他预测，单管产能504片或630片m6大硅片将成为未来pecvd的主流。

来源：光伏测试网2019-09-18

目前，国内外文献多采用等离子体增强化学气相沉积法(pecvd)制备非晶硅薄膜，其他 方法如热丝化学气相沉积技术(hwcvd)、常压化学气相沉积技术(apcvd)和 离子束辅助沉积技术制备a-si:h也有研究

来源：智研咨询2019-09-17

2）超额收益明显：2018年perc单晶硅电池片利润率较高，具备超额收益；3）存量产线设备改动小：传统产线只需要增加pecvd等背面镀膜钝化设备，就能实现perc工艺；4）新线设备投资额下降：perc电池线产线设备实现进口替代

来源：一图胜千研2019-09-11

2、电池厂电池生产环节中的扩散和沉积（管式 pecvd）设备需要在密封的管道中进行生产。当前在运和在建的 perc产线均基于传统单晶硅片尺寸进行设计，行业反馈所能处理的硅片边长极限为 166 毫米。

来源：光伏前沿2019-09-04

报告期内，公司新增辰锦智能、拓升智能两家子公司，专业从事高速丝网印刷机和高效电池片pecvd和pvd设备的研发和设计。...积极布局3500片/小时的叠瓦组件自动化生产线、hjt光伏电池片镀膜机（pecvd和pvd）、topcon电池工艺装备等新产品的研发和升级改造。

来源：光伏测试网2019-08-30

:吸片、舟卡槽及硅片间摩擦;刻蚀工序:滚轮划伤、清洗残留、皮带接触、导条接触、花篮接触、人员接触、烘干污染、粉尘污染、油污等;背钝化工序:吸盘接触、皮带接触、导条接触、花篮接触、人员接触、粉尘污染等;pecvd...三是边缘刻蚀和去磷硅玻璃，此环节需要仪器schmid刻蚀机、schmid自动动化仪器;四是背钝化在硅片背面沉积三氧化二铝膜和氮化硅膜，此环节需仪器meyerburger的一体机式镀膜机、罗博特科自动化仪器;五是pecvd

来源：巨潮资讯网2019-08-28

据悉，捷佳伟创主营业务为pecvd设备、扩散炉制绒刻蚀清洗自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要研发、制造和销售。

来源：淘股圣手2019-08-23

推荐关注两大龙头：迈为股份、捷佳伟创前段设备龙头捷佳伟创市占率40-50%，后段设备龙头迈为股份市占率70%，目前有相互渗透的趋势，捷佳伟创在2019snec展推出丝网印刷设备，而迈为股份也准备推进pecvd

来源：中信建投证券2019-07-24

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用pvd沉积tco导电膜；3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结