来源：光伏头条2019-09-24

的pecvd来说并无障碍。...王玉明认为，提升pecvd m6大硅片产能，需要增大反应管内径、加长恒温区以及提升单管产能三方面进行设计改进；同时他预测，单管产能504片或630片m6大硅片将成为未来pecvd的主流。

来源：光伏测试网2019-09-18

目前，国内外文献多采用等离子体增强化学气相沉积法(pecvd)制备非晶硅薄膜，其他 方法如热丝化学气相沉积技术(hwcvd)、常压化学气相沉积技术(apcvd)和 离子束辅助沉积技术制备a-si:h也有研究

来源：智研咨询2019-09-17

2）超额收益明显：2018年perc单晶硅电池片利润率较高，具备超额收益；3）存量产线设备改动小：传统产线只需要增加pecvd等背面镀膜钝化设备，就能实现perc工艺；4）新线设备投资额下降：perc电池线产线设备实现进口替代

来源：一图胜千研2019-09-11

2、电池厂电池生产环节中的扩散和沉积（管式 pecvd）设备需要在密封的管道中进行生产。当前在运和在建的 perc产线均基于传统单晶硅片尺寸进行设计，行业反馈所能处理的硅片边长极限为 166 毫米。

来源：光伏前沿2019-09-04

报告期内，公司新增辰锦智能、拓升智能两家子公司，专业从事高速丝网印刷机和高效电池片pecvd和pvd设备的研发和设计。...积极布局3500片/小时的叠瓦组件自动化生产线、hjt光伏电池片镀膜机（pecvd和pvd）、topcon电池工艺装备等新产品的研发和升级改造。

来源：光伏测试网2019-08-30

:吸片、舟卡槽及硅片间摩擦;刻蚀工序:滚轮划伤、清洗残留、皮带接触、导条接触、花篮接触、人员接触、烘干污染、粉尘污染、油污等;背钝化工序:吸盘接触、皮带接触、导条接触、花篮接触、人员接触、粉尘污染等;pecvd...三是边缘刻蚀和去磷硅玻璃，此环节需要仪器schmid刻蚀机、schmid自动动化仪器;四是背钝化在硅片背面沉积三氧化二铝膜和氮化硅膜，此环节需仪器meyerburger的一体机式镀膜机、罗博特科自动化仪器;五是pecvd

来源：巨潮资讯网2019-08-28

据悉，捷佳伟创主营业务为pecvd设备、扩散炉制绒刻蚀清洗自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要研发、制造和销售。

来源：淘股圣手2019-08-23

推荐关注两大龙头：迈为股份、捷佳伟创前段设备龙头捷佳伟创市占率40-50%，后段设备龙头迈为股份市占率70%，目前有相互渗透的趋势，捷佳伟创在2019snec展推出丝网印刷设备，而迈为股份也准备推进pecvd

来源：中信建投证券2019-07-24

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用pvd沉积tco导电膜；3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：SolarWit2019-07-15

调研电池片关键设备厂商这一点得到了明确的反馈，捷佳伟创的pecvd设备出货量表明今年每个月平均perc电池片新增产能达到了4~5gw，全年设备发货量预计会达到50gw的水平，这在历史上市未曾有过的装机狂热时期

来源：光伏测试网2019-07-04

电池生产工艺:碱腐蚀去损伤层、制备电池表面陷光层→单面磷 (pocl3) 扩散形成pn结→湿法刻蚀周边结及清洗→电池上表面热氧化制氧化硅薄层→等离子增强化学气相沉积 (pecvd) 在电池上表面沉积sinx

来源：招商证券研究所2019-06-25

空间 20亿，背面 pecvd 空间 30亿，丝网印刷 15亿。...3亿元\/gw，改造产能设备投入约 0.8亿元\/gw，则 2019\/2020年设备空间可达 102亿、 77亿，2019年对应制绒设备、扩散炉、刻蚀机、激光设备、自动化设备空间各自约10亿，正面 pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2019-06-04

第二点是钝化，要进行氧化，以前特别贵，现在开发了直接或远程pecvd，把这些元素进行钝化。一些公司大型的工具，一小时可以生产3000张硅片。第三是激光开口，涉及到发射器和接口，使用激光进行加工。

来源：长城证券2019-05-22

管式pecvd设备与进口设备实力相近，份额逐步扩大，正在加速进口替代过程。但全自动丝网印刷机、自动分拣机、连续式pecvd设备仍然依赖于进口，未来国内设备厂商主要向高效化和智能化发展。

来源：北极星太阳能光伏网2019-05-16

单晶硅太阳能电池具有很多优点：1.光电转换效率高，可靠性高； 2.先进的扩散技术，保证片内各处转换效率的均匀性； 3.运用先进的pecvd成膜技术，在电池表面镀上深蓝色的氮化硅减反射膜，颜色均匀美观；

来源：北极星氢能网2019-05-13

公司开发的主要设备有：工模具硬质涂层镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、多弧离子镀膜设备、磁控溅射多弧离子复合镀膜设备、连续式磁控溅射镀膜生产线、光学镀膜设备、cvd和pecvd化学气相沉积设备、icp刻蚀设备和

来源：东吴证券2019-04-25

年成立以来专注于电池环节，技术、品质、成本、服务、规模五大优势，全行业领先：1)拥有国际化的研发团队，18年硕博士研发人员达到32人、研发投入占比4.89%，累计授权专利443项，远超对手；2)拥有管式pecvd

来源：中国知识产权报2019-04-17

据了解，背钝化膜的制备，是perc电池最为核心的工艺步骤，产业化沉积薄膜的技术手段主要有以solaytec、韩华新能源等厂商为代表的原子层沉积（ald）方式，及以瑞士meyerburger为代表的板式（pecvd...对于上述起诉，隆基股份方面表示，从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利技术采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术），同时表示：“根据媒体信息初步分析显示，韩华新能源诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得

来源：中国商务新闻网2019-03-27

隆基绿能也于同日发布声明称，目前公司所采用的是pecvd技术，与涉案专利采用的ald技术并不相同。

来源：光伏测试网2019-03-27

2019年3月6日，韩华发表声明称晶科能源、隆基股份及rec等三家公司侵犯了其钝化技术专利，隆基方面则在声明中表示，隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，而隆基采用的是pecvd