来源：SolarWit2019-07-15

调研电池片关键设备厂商这一点得到了明确的反馈，捷佳伟创的pecvd设备出货量表明今年每个月平均perc电池片新增产能达到了4~5gw，全年设备发货量预计会达到50gw的水平，这在历史上市未曾有过的装机狂热时期

来源：光伏测试网2019-07-04

电池生产工艺:碱腐蚀去损伤层、制备电池表面陷光层→单面磷 (pocl3) 扩散形成pn结→湿法刻蚀周边结及清洗→电池上表面热氧化制氧化硅薄层→等离子增强化学气相沉积 (pecvd) 在电池上表面沉积sinx

来源：招商证券研究所2019-06-25

空间 20亿，背面 pecvd 空间 30亿，丝网印刷 15亿。...3亿元\/gw，改造产能设备投入约 0.8亿元\/gw，则 2019\/2020年设备空间可达 102亿、 77亿，2019年对应制绒设备、扩散炉、刻蚀机、激光设备、自动化设备空间各自约10亿，正面 pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2019-06-04

第二点是钝化，要进行氧化，以前特别贵，现在开发了直接或远程pecvd，把这些元素进行钝化。一些公司大型的工具，一小时可以生产3000张硅片。第三是激光开口，涉及到发射器和接口，使用激光进行加工。

来源：长城证券2019-05-22

管式pecvd设备与进口设备实力相近，份额逐步扩大，正在加速进口替代过程。但全自动丝网印刷机、自动分拣机、连续式pecvd设备仍然依赖于进口，未来国内设备厂商主要向高效化和智能化发展。

来源：北极星太阳能光伏网2019-05-16

单晶硅太阳能电池具有很多优点：1.光电转换效率高，可靠性高； 2.先进的扩散技术，保证片内各处转换效率的均匀性； 3.运用先进的pecvd成膜技术，在电池表面镀上深蓝色的氮化硅减反射膜，颜色均匀美观；

来源：北极星氢能网2019-05-13

公司开发的主要设备有：工模具硬质涂层镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、多弧离子镀膜设备、磁控溅射多弧离子复合镀膜设备、连续式磁控溅射镀膜生产线、光学镀膜设备、cvd和pecvd化学气相沉积设备、icp刻蚀设备和

来源：东吴证券2019-04-25

年成立以来专注于电池环节，技术、品质、成本、服务、规模五大优势，全行业领先：1)拥有国际化的研发团队，18年硕博士研发人员达到32人、研发投入占比4.89%，累计授权专利443项，远超对手；2)拥有管式pecvd

来源：中国知识产权报2019-04-17

据了解，背钝化膜的制备，是perc电池最为核心的工艺步骤，产业化沉积薄膜的技术手段主要有以solaytec、韩华新能源等厂商为代表的原子层沉积（ald）方式，及以瑞士meyerburger为代表的板式（pecvd...对于上述起诉，隆基股份方面表示，从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利技术采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术），同时表示：“根据媒体信息初步分析显示，韩华新能源诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得

来源：中国商务新闻网2019-03-27

隆基绿能也于同日发布声明称，目前公司所采用的是pecvd技术，与涉案专利采用的ald技术并不相同。

来源：光伏测试网2019-03-27

2019年3月6日，韩华发表声明称晶科能源、隆基股份及rec等三家公司侵犯了其钝化技术专利，隆基方面则在声明中表示，隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，而隆基采用的是pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2019-03-15

目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。...一位发言人还补充说，我们的maia和fabia电池涂层平台，使用我们专有的等离子体增强化学气相沉积（pecvd）钝化技术，不在专利侵权索赔的范围。

来源：pv-magazine2019-03-13

隆基表示，有争议的专利与ald技术有关，隆基采用的是pecvd技术。相关链接：韩华起诉晶科、隆基和rec侵犯其专利权，最新回应来了!

来源：e公司2019-03-12

隆基股份表示，从技术上看，目前公司产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，事涉专利采用的是ald技术，而公司采用的是pecvd技术；另据媒体信息初步分析，韩华诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-03-08

目前，晶科能源和隆基股份都采用pecvd来做氧化铝钝化薄膜。某一线光伏企业高管表示，按照韩华新能源的起诉逻辑，pecvd属于a

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-03-07

从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术。

来源：隆基股份2019-03-06

从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术）。仅根据现有媒体信息分析显示，目前相关诉讼对隆基的生产、经营不会造成实质性影响。

来源：电子世界2019-02-26

2.表面钝化介质薄膜研究2.1sinx薄膜钝化研究sinx薄膜的制备方法有多种，从工艺效果和工业化生产来考虑，目前应用于太阳能电池生产的制备方法主要是等离子增强化学气相沉积（pecvd）法，pecvd方法的过程是在较低气压下

来源：晋锐能源2019-02-20

国内企业中最受瞩目的便是钧石能源，公司拥有自主研发的hdt高效异质结太阳能电池技术，产品的转换效率居行业前列，更重要的是，钧石能源pvd、pecvd等核心设备均为自主研发并拥有自主知识产权，使项目投资成本大大缩减

来源：亚化咨询2019-02-19

其中，根据设备形式的不同，pecvd沉积工艺设备包括板式pecvd和管式pecvd，ald沉积工艺设备也主要分为管式ald和板式ald，值得注意的是，在管式ald工艺下，还分为单插片与双插片的区别，即双面镀膜和单面镀膜的差异