来源：核工业西南物理研究院2012-02-28

研制了具有自主知识产权的复合渗注镀技术集成试验平台，成功开发出多种等离子体复合表面处理工艺;开发出材料改性多功能离子注入机系列、等离子体镀膜机系列、低温改性处理机、低温冷凝吸附泵、多媒体大屏幕显示屏、核磁共振成像稀土永磁体及超导磁体

来源：OFweek2011-07-05

该技术成熟于上世纪70年代，在沉寂近20年后，伴随光伏产业的发展，世界各国均对该技术进行二次创新，如中硅高科突破了大型低温氢化技术、大型节能还原炉技术、高效加压精馏提纯技术、高效加压三氯氢硅合成技术、尾气干法回收技术

来源：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新能源技术中心 孟凡英2011-06-15

柔性电池产业化道路上的主要障碍是如何在低温条件下制备性能优良的薄膜。美国第一太阳能对cdte薄膜电池技术严密封锁，其他欲进入该领域的企业在量产化过程中困难重重。...目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(pecvd)方法，真空腔的清洗基本是氟化物(sf6或nf3)，排出物是含氟气体。

来源：电力网新闻中心2011-01-11

据介绍，薄膜太阳能电池在生产时采用低温工艺，同时硅的用料较少，其制造工艺比较节能环保。...新设备带来转机 1月8日，首台代表着国际尖端技术水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备（ｐｅｃｖｄ）在上海张江理想能源设备公司正式下线，该设备的研制成功打破了薄膜太阳能电池设备市场一直被国外厂商垄断的局面