来源：千龙网2011-12-20

其中，减反射膜技术可分为喷涂法、提拉法、溶液刻蚀法等，是在超白压延玻璃上镀制减反射膜后再固化处理或通过化学的方法使超白钢化玻璃表面形成减反射层，使镀膜后的玻璃光谱透过率较原片大幅提高，从而达到提高光线透过率的目的...裕华新材于2011年10月20日与丹麦sunarc公司签订了《技术许可协议》，sunarc公司向公司授予使用其溶液刻蚀法镀膜技术的许可并提供相应技术支持，以使得公司拥有并运行5条镀膜生产线以及可能增加的额外生产线

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-25

车间规模不小，机器簇新，按照生产工艺生产电池片环节有制绒、扩散、刻蚀、丝印等工序，每一个环节需要一整套自动化设备，设备体积庞大结构复杂，工人在里面只是在维护机器的正常运转，一般不需要动手。...在生产中自动传送、机械手自动拾取、机器刻蚀、清洗是一个自动化、现代化程度很高的车间，这些工序基本是自动化完成，在密闭车间的下面，是最后的封装车间，把半成品的电池片和玻璃板用专用的薄膜在高温下压合到一起，

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-23

除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外，电池制造工序涉及清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等环节。美国gtsolar公司在多晶硅设备行业耕耘多年。

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-21

在未来3-5年内，进一步支持大尺寸、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备的国产化，支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式pecvd，激光刻蚀机，全自动印刷机等晶硅电池生产线设备和

来源：《光伏信息报》2011-11-14

其产品从宏观上涵盖了原生多晶硅料生产设备、硅片加工设备、晶体硅电池生产设备等，具体包括全自动硅芯/硅棒清洗设备、全自动硅料清洗设备、全自动硅片清洗设备、全自动单晶制绒酸洗综合设备、多晶链式制绒设备、湿法刻蚀设备

来源：PV-Tech2011-10-26

其中刻蚀机、磷扩散炉和电浆辅助化学气相沉积炉单机部分采用了rena、centrotherm的相关设备，其余单机部分及生产线的串联由广运机械自行规划设计。

来源：Solarbe2011-10-25

除了其中的刻蚀机、磷扩散炉与电浆辅助化学相沉积炉单机部分搭配德国rena、centrotherm等著名大厂外，其他的单机部分以及产线串联，完全由广运自行规划制造。

来源：志趣网2011-09-29

总体上讲，目前我国光伏装备制造业处于国产化替代进口阶段，平板式pecvd、激光刻边机、湿法化学刻蚀机、链式扩散炉等少数设备还依赖进口。...回顾48所发展光伏装备的历程，是从本世纪初借国内晶体硅太阳能电池产业起步之机，凭借扩散炉和刻蚀机的双通道推板窑双通道推板炉箱式炉技术优势成功打入市场，连续多年在国内市场占有率达80%，将晶体硅太阳能电池大型生产线上的同类进口装备挤出国门

来源：全球光伏网2011-09-22

schmd选择性发射极刻蚀机最新订单是八月中旬，来自中国的一家主要生产商。可见，成功的制造工艺能激励生产商增加订单。...我们采访了schmd集团主管电池项目的副主席cristianbuchner博士，据他介绍：这主要得益于宽阔的工艺窗口，既能很好的和后续的金属化工序匹配，也能保证自身刻蚀的稳定性。

来源：机电商报网2011-09-22

在大全太阳能有限公司，记者看到了这条不足40米的生产线，一片片的电池片在经过刻蚀、氮化硅沉淀、丝网印刷、制绒、扩散等种种工艺后，被整齐地放在一个特制的盒子里。

来源：迅得能源（深圳）有限公司2011-09-19

这主要得益于宽阔的工艺窗口，既能很好的和后续的金属化工序匹配，也能保证自身刻蚀的稳定性。...schmd选择性发射极刻蚀机最新订单是八月中旬，来自一家中国的主要生产商。升级现有的生产线，选择工艺技术首要考虑的是此项技术能否取得效益。schmd的湿化学工艺以最小的成本为客户提高明显地竞争优势。

来源：PV-Tech2011-09-01

设备供应商schmd集团日前获得了首份十道湿化学边缘隔离设备订单，该技术取代了当前流行的激光边刻蚀技术，降低了生产成本，提高了硅片/电池的转换效率。

来源：中国触摸屏网2011-08-15

刻蚀方法目前有化学刻蚀和激光刻蚀两种，但由于刻蚀的线条要求很细，一般为几十微米的宽度，而激光刻蚀具有沟槽均匀，剔除干净，生产效率快的特点。

来源：21IC电子网2011-08-10

在实验前经过硅片清洗和制绒，磷扩散，等离子刻蚀，去除磷硅玻璃等工艺。实验用到的气体有sih4，nh3，n2。腐蚀溶液为hf酸。

来源：《中国化工报》2011-07-20

据了解，河南新能光伏有限公司自2008年7月落户河南安阳后，针对非晶硅薄膜太阳电池生产的关键工艺技术进行研究攻关，现已开发出具有自主知识产权的电池板镀膜、激光刻蚀、超声波焊接等一系列生产工艺和装备且实现了产业化

来源：大河网2011-07-15

2008年7月，河南新能光伏有限公司落户安阳后，针对非晶硅薄膜太阳电池生产的关键工艺技术进行研究攻关，几年来，开发出具有自主知识产权的电池板镀膜、激光刻蚀、超声波焊接等一系列生产工艺和装备并实现了产业化

来源：中国电子报2011-07-14

经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗

来源：e-works2011-06-29

用jmp的“pareto图”很容易发现“扩散”工序中的主要缺陷是“扩散返修”和“扩散机器内碎片”，“刻蚀”工序中的主要缺陷是“刻蚀装片时碎片”和“刻蚀机器内碎片”。

来源：e-works2011-06-28

用jmp的“pareto图”很容易发现“扩散”工序中的主要缺陷是“扩散返修”和“扩散机器内碎片”，“刻蚀”工序中的主要缺陷是“刻蚀装片时碎片”和“刻蚀机器内碎片”。

来源：搜狐IT2011-06-16

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机