2003-10-28

目前，威海双丰正不断开发符合现代勘探要求的传感器新品，以进入国际市场，其中包括超级传感器和mems传感器。mems传感器把集成电路结合进传感器之中，是国家863计划的一个重要项目。　　

2003-04-29

今后几年，传感器市场的产品需求结构将向投资类产品发展，国内应重点研发的传感技术包括：1.微电子机械系统（mems），重点开发微米级产品，实现微机械与ic集成的微系统，逐步建立mems工程学；工业方面着重开发用于微小卫星

2006-12-25

不过，随着微电机系统(mems)、低功耗无线通讯协议(zigbee)和数字电路设计的飞速发展，上述这些难点正在被解决，wsn已经开始进入商用阶段。...由于监控物理环境的重要性从来没有象今天这么突出，无线传感器网络已被视为环境监测、建筑监测、公用事业、工业控制、家庭、船舶和运输系统自动化中的下一个发展方向。无线传感器网络的基本元素是传感器节点。

2006-12-22

尤其是在一些新型传感器市场，一些ic厂商开始拥有了能够同国际竞争对手抗衡的能力，如指纹传感器领域的芯微技术有限公司、mems传感器领域的青鸟元芯、美新半导体等。 　　

2006-12-20

发展重点 　　传感器技术 　　（1）mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀（drie）工艺或igp工艺；封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺；新型传感器

2006-12-13

全国已有1688家企事业从事传感器的研制、生产和应用，其中从事mems研制生产的已有50多家。...目前全行业正在执行“十五”规划，mems等5项新型传感器已列入研究开发的重点；国家计委决定从2002年开始组织实施的新型电子元器件产业化专项中有5项新型敏感元件与传感器已经启动；一些省、市新建立的“传感器产业基地

2007-04-13

icinsights表示：“约有80%的固态传感器和致动器有用微电机系统(mems)技术，以完成变换器功能。” 　...，惯性传感器(加速度计与陀螺仪器件)2008年将成为固态传感器领域中的最大产品类别。