来源：百方网2011-12-05

原子荧光联用仪北京瑞利分析仪器有限公司梁敬张锦茂王庆陈璐董芳二2011仪器仪表高压开关sf6气体微水含量传感器及在线监测系统沈阳仪表科学研究院何方袁峰徐洪张清志李振波申安安韩华超张立张卫张春晓二2011仪器仪表基于mems

来源：北极星电力信息化网2011-10-10

李维平说，目前公司与国内的北大、南大、东大以及知名科研院所都建立了合作关系，拥有南京市mems(微机电系统)传感工程研究中心，是国内少有的掌握全部关键工艺技术的厂家。...当时第一次接触到了传感器技术，觉得其中大有潜力，我们几个人就组建了这个企业。

来源：全球电池网2011-10-08

这种太阳能电池采用晶体硅制成，在制造中加入了当今电子器件厂广泛使用的微机电系统（mems）。在同等条件下能产生同样多的电能，新型电池所需硅只有普通太阳能电池的1%。...格雷格说这种新型技术对于大型发电站也有好处，因为使用该技术可以减少发电站设备的安装成本。

来源：北极星电力网2011-09-30

据ihsisuppli公司的mems与传感器专题报告，汽车产业恢复生机，全球智能手机和平板电脑对于数字罗盘的需求上升，正在推动硅磁传感器市场加速增长，预计2011年销售额将上升23.7%。...2010年最大的硅磁传感器供应商是日本asahikaseimicrosystems，其次是美国allegromicrosystems。

来源：北极星电力软件网2011-09-20

基于mems的微传感技术和无线联网技术为无线传感器网络赋予了广阔的应用前景。这些潜在的应用领域可以归纳为:军事、航空、反恐、防爆、救灾、环境、医疗、保健、家居、工业、商业等领域。

来源：中华工控网2011-07-27

baolab公司制造的芯片是在一个传统的硅芯片上蚀刻出一个纳米级的微机电系统(mems)。在这个纳米级微机电系统设备中有一个由弹性元件悬吊着的铝片。...现在，一种新的传感器制造方法的出现将使这一技术的实施成本更廉价、设备更小巧。西班牙baolab microsystems公司使用一种更加简单的制造方法制造出了新型的数字指南针。

来源：中国科技财富2011-07-25

重点发展高端传感器、mems、智能传感器和传感器网节点、传感器网关;超高频rfid、有源rfid和rfid中间件产业等，重点发展物联网相关终端和设备以及软件和信息服务。...这包括：a.物联网关键核心技术，同时结合物联网特点，在突破关键共性技术时，研发和推广应用技术，加强行业和领域物联网技术解决方案的研发和公共服务平台建设，以应用技术为支撑突破应用创新。

来源：中国传动网2011-07-12

，mems技术，全自动微量、痕量样品分析与处理技术等。...目前新型传感器技术包括固态硅传感器技术、光纤传感器技术、生物芯片技术、基因芯片技术、图像传感器技术、全固态惯性传感器技术、多传感器技术等。“十二五”将以智能传感器作为重点，进行关键技术攻关。

来源：今日自动化2011-07-07

，mems技术，全自动微量、痕量样品分析与处理技术等。...目前新型传感器技术包括固态硅传感器技术、光纤传感器技术、生物芯片技术、基因芯片技术、图像传感器技术、全固态惯性传感器技术、多传感器技术等。“十二五”将以智能传感器作为重点，进行关键技术攻关。

来源：仪器仪表交易网2011-06-30

此外，一些前沿产品如新型mems振荡器、基于mems技术的存储器、mems电池也正处于研发阶段中，并有望在未来三到五年实现良好的经济效益。

来源：仪器仪表交易网2011-06-29

日前，飞思卡尔半导体宣布推出用于测量海拔的高精度压力传感器，ihsisuppli研究公司的调查显示，消费电子产品和移动电话对mems技术的需求将在2011年增长25.6%。。...飞思卡尔xtrinsicmpl3115a2压力传感器基于微机电系统(mems)技术，补充了xtrinsic产品组合中的加速计和磁力计，可以满足智能移动设备中对这类组件的日益增长的需求。

来源：仪器仪表交易网2011-06-29

此外，一些前沿产品如新型mems振荡器、基于mems技术的存储器、mems电池也正处于研发阶段中，并有望在未来三到五年实现良好的经济效益。

来源：www.21dianyuan.com2011-05-30

在此次专家咨询论证会上，专家组和用户代表一致认为，石家庄信息产业基地在led、聚焦太阳能电池、激光器、探测器、光mems等五大核心芯片方面具有自主知识产权和持续创新能力，在厂房及生产线条件、技术支撑等方面具有深厚的基础

来源：传动网2011-05-24

我国近年建立了传感器技术国家重点实验室、微米/纳米国家重点实验室等研发基地，初步建立了敏感元件和传感器产业，2000年总产量超过13亿只，目前我国已有1688家从事传感器的生产和研发的企业，其中mems

来源：益登科技2011-04-12

wispry利用公司在rf-mems技术上的核心专长，打造了革命性的rf-mems系统单芯片，目前产品已出货给多家一线手机制造商。...益登科技董事长曾禹旖表示：“wispry卓越的rf cmos mems技术能有效解决关键的前端性能问题，符合现今移动网络的广大需求。

来源：中国数控信息网2011-04-01

其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。...仪器仪表“三高三低”，即高技术、高投入、高产出、低能耗、低材耗、低污染的特点和优势将在低碳经济和新兴产业的发展下带动仪器仪表需求的上升。

来源：中国电子报2011-02-17

lcd制造设备，有选择地发展与物联网紧密相关的mems制造设备和高铁需要的igbt制造设备。...政府应积极倡导建立技术创新基金和技术创新风险投资基金，促进和推动电子专用设备企业技术创新快速发展。

来源：中国化工仪器网2010-12-28

flashdsc的心脏是基于mems(micro-electro-mechanicalsystems微机电系统)技术的芯片传感器，可以实现超快速的升温和降温实验。

来源：电子元件技术网2010-11-29

对于敏感元器件和传感器的发展，温学礼表示，目前，我国开发新一代的高、精、尖传感器已具备条件，如光纤、红外、超声波、生物、智能及模糊控制传感器，采用mems技术制作的微传感器等。...，与业界精英共同探讨了被动元件行业技术动向和市场趋势。

来源：易展仪表展览网2010-11-24

其次充分把握战备性新兴产业的机遇，重点提升以无线自主网络技术、mems等新兴传感器的研发和应用。以物联网为例，物联网已经成为战略性新兴产业，2015年市场规模将达到7500亿元。...研究表明，环境监测仪器将向物理、化学、电子、光电、生物等相结合的高技术方向发展;向高质量、多功能、自动化、集成化、系统化和智能化方向发展。