来源：国盛证券2019-02-12

2017年，公司核心产品 pecvd设备占公司营收45%，其他工艺设备合计占公司营收40%，自动化设备占公司营收逐年提升至15%左右。2017年毛利率较2015年增长 10个百分点。

来源：中信建投2019-02-11

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用 pvd沉积tco导电膜； 3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：证券日报网2019-01-15

2018年12月，爱旭科技的“perc单面/双面电池（管式pecvd）量产技术”于通过了中国可再生能源协会专家评审组的现场评审，来自中国可再生能源协会、北京太阳能研究所、中国科学院电工研究所、国电投中央研究院太阳能技术研究所等单位的

来源：新材料在线2019-01-15

主营业务：pecvd;扩散炉;制绒;清洗;刻蚀;自动化等六大类光伏设备及mocvd。募资总额：105486.55万元。

来源：东吴证券2018-12-14

perc 产线单 gw 设备投资额约 3.5-4 亿，丝网印刷、制膜(设备包括 pecvd 和 ald)、扩散环节设备投资占比分别达到 27%、24%、18%。...捷佳伟创：产品线广、协同性强的电池设备龙头除丝网印刷外，公司基本涵盖了电池片生产的主要设备，包括 pecvd设备(市占率 50%-60%)、扩散炉(市占率 50%)、制绒设备(市占率70%-80%)、刻蚀设备

来源：北极星太阳能光伏网2018-11-28

从2019年起，国内太阳能电池生产设备企业生产pecvd等设备所需的零部件、原材料将免征关税和进口环节增值税。

来源：pvmagazine2018-11-12

硅酸钠和制绒添加剂构成的碱性溶液中进行制绒，绒面金字塔大小在5μm以内；（2）扩散炉中高温磷扩散形成n型发射结，方阻在80ω／□左右；（3）等离子体刻蚀去边结后，在氢氟酸溶液中进行二次清洗去除磷硅玻璃；（4）pecvd

来源：Solarwit2018-11-09

夹具等设备，对于老的电池设备产能而言技改费用约为40万/100兆瓦；尺寸进一步增大到161.7mm时电池产线需要更换的设备就更多，技改费用增加到60万/百兆瓦；而当硅片尺寸大于161.7mm时就超过了现有pecvd

来源：中国能源报2018-10-31

在hit电池技术领域，新赛维也掌握了实现量产的四项核心技术：智能制造系统和工艺开发、pecvd/pvd设备开发、薄片技术和铜丝金属化wem技术。

来源：孚智科技2018-10-19

在hit电池技术领域，新赛维已经掌握了实现hit电池量产的四项核心技术：智能制造系统和工艺开发、pecvd/pvd设备开发、薄片技术和铜丝金属化wem技术。

来源：一起光伏APP2018-09-04

首先讲一下，我大概十年前才进入光伏，十年前干平板显示，做了十几年pecvd，03年国内起来，从上广电、京东方开始做起，做到08年的时候，觉得要做一个转折。

来源：全景网2018-08-21

捷佳伟创成立至今，均主营生产pecvd（等离子体增强化学的气相沉积法）等晶体硅电池设备。...2017年捷佳伟创研发推出高产能、生产成本低的pd-450型pecvd设备pecvd设备是最贵的光伏设备之一，李时俊介绍说，刚推出时一台设备（即半条基本生产线）的价格约1200万至1400万人民币，一条基本生产线一年的产能是

来源：OFweek太阳能光伏网2018-08-14

公司系国内领先的晶体硅太阳能电池生产设备制造商，主营pecvd设备、扩散炉、制绒设备、刻蚀设备、清洗设备、自动化配套设备等太阳能电池片生产工艺流程中的主要设备的研发、制造和销售。

来源：摩尔光伏2018-07-30

在pecvd生长的al2o3薄膜中，这两种形态的al2o3同时存在。...正面氮化硅使用中国电子科技集团公司第四十八研究所pecvd设备制备，高频信号发生器频率为40khz。采用西安隆基m2单晶硅片。使用sinton公司的wct120设备检测硅片的少子寿命。

来源：OFweek2018-04-27

图表2：hit太阳能电池工艺流程资料来源：ofweek行业研究中心制备的核心工艺是非晶硅薄膜的沉积，其对工艺清洁度要求极高，量产过程中可靠性和可重复性是一大挑战，目前通常用pecvd法制备。

来源：PV兔子2018-02-27

，正面掺杂的多晶硅对硅片起到吸杂(gettering)的效果去除正面氧化层，再使用光刻技术对背面氧化层开孔使用koh刻蚀，正面制绒，背面断开掺杂区域的衔接ald生长20nm的alox用作钝化，正面再用pecvd...首先使用热生长在硅片两面得到2.2nm氧化层，lpcvd沉积本征多晶硅使用硼离子注入将背面的多晶硅掺杂为p型背面使用光刻技术开孔，留光刻胶作为阻隔层，两面离子注入进行磷掺杂，背面得到交错的p和n掺杂区域高温退火

来源：新能源投融资圈2018-01-17

而相比于传统pecvd 钝化技术，ald 技术使钝化膜更薄，并且大大降低tma 使用量，从而使成本降低。

来源：国家发改委2017-12-25

目前，中国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件的生产，相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，到与光伏产业链相关的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、管式pecvd

来源：摩尔光伏2017-12-08

利用金刚线添加剂制备的不同反射率硅片与砂浆线进行系统的pecvd对照实验，并根据太阳能电池的减反射膜原理，本人构思了一种pecvd第一二层减反射膜厚度的计算方法，具体公式为：平均膜厚*平均折射率=第一层折射率

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-12-06

（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻饰机20台、管式pecvd机4台、丝网印刷机20