来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

pecvd技术原理是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜

来源：ne21.com2012-05-15

太阳能电池就是以tco薄膜为衬底生长的，用等离子体增强化学气相沉积法（pecvd）生长的太阳能电池层也称为有效层。有效层包括两个pin串联的双结结构。...非晶硅的原料是晶硅太阳能电池生产中西门子法生产多晶硅之前的硅烷气体，通过在硅烷（sih4）中掺杂乙硼烷（b2h6）和磷化氢（ph3）等气体，在低成本基板上（玻璃、不锈钢）低温成膜，避开了成本最高和技术难度最大的西门子法工艺

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-27

pecvd法制备a-si:h薄膜利用等离子里中丰富的活性粒子来进行低温沉积一直是a-si:h制备的重要方法。在真空状态下给气体施加电场，气体在电场提供的能量下会有气态转变为等离子体状态。...对于这种情况，可以下调等离子体的功率，但是同时也会降低等离子体的稳定性。

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

二是气体温度的不均匀性引起的高温气体上升、低温气体下降的流动，即气体的自然对流。对一般尺寸的cvd反应容器（直径430mm内）来说，在流速不高（约10cm/s）时，气体将处于黏滞流的层流状态。...在用等离子体形成的氮化硅膜的折射率与致密性没有必然的联系，并不是折射率越高致密性就一定高。这点与用lpcvd所形成的氮化硅膜是有差异的。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-27

除了传统工艺及技术升级外，还涌现出了几种专门生产太阳能级多晶硅的新工艺技术，主要有：改良西门子法的低价格工艺;冶金法从金属硅中提取高纯度硅;高纯度sio2直接制取;熔融析出法;还原或热分解工艺;无氯工艺技术，al-si溶体低温制备太阳能级硅

来源：核工业西南物理研究院2012-02-28

研制了具有自主知识产权的复合渗注镀技术集成试验平台，成功开发出多种等离子体复合表面处理工艺;开发出材料改性多功能离子注入机系列、等离子体镀膜机系列、低温改性处理机、低温冷凝吸附泵、多媒体大屏幕显示屏、核磁共振成像稀土永磁体及超导磁体

来源：OFweek2011-07-05

该技术成熟于上世纪70年代，在沉寂近20年后，伴随光伏产业的发展，世界各国均对该技术进行二次创新，如中硅高科突破了大型低温氢化技术、大型节能还原炉技术、高效加压精馏提纯技术、高效加压三氯氢硅合成技术、尾气干法回收技术

来源：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新能源技术中心 孟凡英2011-06-15

柔性电池产业化道路上的主要障碍是如何在低温条件下制备性能优良的薄膜。美国第一太阳能对cdte薄膜电池技术严密封锁，其他欲进入该领域的企业在量产化过程中困难重重。...目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(pecvd)方法，真空腔的清洗基本是氟化物(sf6或nf3)，排出物是含氟气体。

来源：电力网新闻中心2011-01-11

据介绍，薄膜太阳能电池在生产时采用低温工艺，同时硅的用料较少，其制造工艺比较节能环保。...新设备带来转机 1月8日，首台代表着国际尖端技术水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备（ｐｅｃｖｄ）在上海张江理想能源设备公司正式下线，该设备的研制成功打破了薄膜太阳能电池设备市场一直被国外厂商垄断的局面

来源：北极星电力新闻网2009-07-30

:宁夏国电宁夏太阳能有限公司低温红外光谱仪、电感耦合等离子体质谱仪、在线气相色谱设备招标公告项目名称：国电宁夏太阳能有限公司2500吨/年多晶硅项目1....国电宁夏太阳能有限公司低温红外光谱仪、电感耦合等离子体质谱仪、在线气相色谱设备招标公告 开标时间:所属行业:能源化工标讯类别:国际招标资源来源:其它联系人：李丹 电话：13671033072所属地区

来源：新华网  2008-12-22

ｉｔｅｒ主机内部有大型超导磁体线圈，它能产生稳定的磁场来约束等离子体，但为之供电、供冷及测量诊断的低温系统、电源系统以及控制测量系统等，却在主机外部，距离较远，因此需要设置一个独立的磁体传输线系统，也即超导馈线系统

来源：国际电力网2008-03-10

中国烟台龙源电力技术有限公司可能成为向俄罗斯哈巴罗夫斯克3号中央热电站提供用于煤粉点火的现代等离子发生器（获得"低温"等离子体的气体放电装置）的厂家。...他解释说，远东发电股份公司专家用近一年时间研究中国动力工程师运用创新技术的成果并得出结论：等离子体点火装置经济实惠，有助于降低氮氧化物向大气层的排放并减少燃烧的危险。