来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-27

然后经刻蚀到达pecvd在整个n型层表面上镀上一层减反射膜用来减少太阳光的反射损失，达到丝网在扩散面印刷上金属栅线作为太阳能电池片的正面接触电极。...传统晶硅太阳能电池效率的理论极限为28.8%(此处不包含硅基复合其他材料太阳能电池)连载文章欢迎查看更多太阳能电池片科普系列：发电原理篇、流程（电池片）篇、工艺流程(硅片)篇、制绒篇、扩散篇、刻蚀篇、(镀膜)pecvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-27

一、pecvd原理pecvd 系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的活性气体为硅烷sih4和氨nh3。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-24

四、pecvd等离子体化学气相沉积。太阳光在硅表面的反射损失率高达35%左右。...电池片工艺流程:制绒(intex)扩散(diff)后清洗(刻边/去psg)镀减反射膜(pecvd)丝网、烧结(printer)测试、分选(tester+sorter)包装(packing)一、制绒制绒的目的是在硅片表面形成绒面面

来源：北极星输配电网整理2017-11-24

鼓励进口的设备包括：hit太阳能电池用pecvd设备以及精密丝印设备；perc高效太阳能电池用pecvd设备；铜铟镓硒太阳能电池用线性蒸发源共蒸发设备等。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-23

连载文章欢迎查看更多太阳能电池片科普系列：发电原理篇、流程（电池片）篇、工艺流程(硅片)篇、制绒篇、扩散篇、刻蚀篇、(镀膜)pecvd篇、丝网印刷篇、烧结篇、组件封装篇、多晶硅铸锭篇原创：北极星（每天不定量更新

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-22

1、磷硅玻璃会使得电池片在空气中表面容易受潮，导致电流和功率的衰减；2、死层增加了发射区电子的复合，以致少子寿命的降低，进而降低了voc和isc；3、磷硅玻璃会使得pecvd后产生色差。...连载文章欢迎查看更多太阳能电池片科普系列：发电原理篇、流程（电池片）篇、工艺流程(硅片)篇、制绒篇、扩散篇、刻蚀篇、(镀膜)pecvd篇、丝网印刷篇、烧结篇、组件封装篇、多晶硅铸锭篇原创：北极星（每天不定量更新

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-20

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来源：摩尔光伏2017-11-14

采用ct管式pecvd炉在硅片表面形成氮化硅减反射膜，同时掺杂h元素，使缺陷减少，还可以保护硅片。丝网印刷是将含有金属的导电浆料透过丝网网孔压印在晶硅太阳能电池两面形成电路或电极。

来源：材料人2017-11-08

通过pecvd法制备石墨烯包覆铝箔的合成与表征 (a) 所合成ga的实物照片;(b) ga的拉曼谱;(c) ga中c1s的xps;(d) ga的截面透射电镜图;(e) ga的元素分布图;(f)所制多层石墨烯的低倍透射电镜图

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-11-03

设备已经陆续交付客户并投入生产，n型双面电池的量产效率稳定保持在22%以上，效率绝对值较产线提高0.4%以上，量产极限产能可达5900片/小时，其中tma化学源耗量低于1mg/片，tma年耗量较等离子增强的化学气相沉积（pecvd

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-11-03

（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻饰机20台、管式pecvd机4台、丝网印刷机20

来源：摩尔光伏2017-11-02

参考文献王晓泉,汪雷,席珍强,等.pecvd淀积氮化...再经过管式pecvd制作氮化硅减反射膜,pecvd过程中分别采用传统双层膜工艺和本文设计的三层膜工艺各做一组实验,采用sentech的se400测试监控氮化硅膜的折射率以及厚度。

来源：PV兔子2017-10-20

比如很多主流的pecvd和ald的工艺都不能使用了。而且一般而言，低温制备的钙钛矿电池的热稳定性都比较差。

来源：无锡德鑫太阳能电力有限公司2017-09-05

经相关部门批准后方可开展经营活动）;（二）德鑫电力公司为高新技术企业，原为尚德电力的p4工厂，企业管理层和核心员工较为稳定，生产能力900mw／年，主要设备配置为清洗机20台、扩散炉20台、刻蚀机20台、管式pecvd

来源：能源新闻网2017-08-14

meyerburger公司采用pecvd法制备alox膜的沉积设备，报道了一种新的正表面氮化硅膜与背面氮化硅与alox膜集成在一起的3in1设备，alox工艺腔4对微波源，2对朝上镀膜，2对朝下镀膜，sin

来源：中国光伏专委会2017-07-28

meyerburger公司采用pecvd法制备alox膜的沉积设备，报道了一种新的正表面氮化硅膜与背面氮化硅与alox膜集成在一起的3in1设备，alox工艺腔4对微波源，2对朝上镀膜，2对朝下镀膜，sin

来源：国家电力投资集团公司2017-06-14

随后，肖亚庆一行走进电池及组件车间，调研了太阳能电池及组件生产线，沿途在pecvd镀膜工序、丝网印刷、自动串焊机汇流焊接及组件层压后视检工序，听取关于电池及组件制造工艺及工作原理介绍，了解了黄河公司光伏电站的国家补贴

来源：中国电力报2017-04-20

其中，比较成熟、大规模使用的镀膜方法主要是pecvd方法。目前，国内有些公司已经在尝试的pecvd镀膜方法是平板直接法、平板式离域法，但都未能达到较高的水平。...国内的管式直接法的pecvd镀膜方法可以做氧化硅，但很难制备三氧化铝。而使用氧化硅制备的perc电池的效率不如三氧化二铝高。他说。pert电池的工艺难点之一是硼离子掺杂这是一个世界性的难题。

来源：新浪科技2017-03-24

该论文指出，这款太阳能电池是利用可工业化应用过程制造出来的，比如电浆增强化学气相沉积（plasma-enhanced chemical vaporde position，pecvd）技术在气态下将薄膜沉积在固体晶圆上

来源：泰州日报2017-03-23

由国内唯一生产异质结薄膜太阳能电池设备厂家上海理想万里晖薄膜设备有限公司投资建设的pecvd高端装备制造项目，总投资5亿元，将形成年产u型异质结高效能电池量产pecvd高端装备40台配套的能力，每年可新增国税开票销售