来源：烯碳资讯2016-01-13

有研究者在介质衬底上直接生长的石墨烯，但是生长的石墨烯总是有缺陷和低结晶度，而且必须利用高合成温度(1600℃)或者高成本的等离子体增强化学气相沉积(pecvd)方法，因此成本高而石墨烯的物理性能相对较差

来源：中国能源报2015-12-23

正泰光伏组件的转换效率与功率、质量与可靠性等均属业内领先;自主研发的高端装备首台套pecvd、lpcvd，受到党和国家领导人的高度肯定;led核心装备mocvd以领先国际的先进技术水平，打破了欧美企业的垄断

来源：北极星太阳能光伏网2015-11-24

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ald）等关键工艺设备研发领域均有入围。

来源：无锡先导自动化设备股份有限公司2015-11-09

现场展出的太阳能电池片高速串焊机、管式pecvd自动上下料机凭借领先的性能优势、可靠的技术稳定性，吸引了国内外客户的关注。

来源：无锡先导自动化设备股份有限公司2015-11-09

作为国内最大的光伏自动化设备专业制造商，无锡先导的太阳能电池片高速串焊机、管式pecvd自动上下料机凭借领先的性能优势、可靠的技术稳定性，在业界享有盛誉。

来源：EnergyTrend2015-09-21

：以现有设备搭配独特氧化铝浆料的方式呈现perc的效果，这都将让pecvd不再独霸一方。...展望明年，除了主流机台仍旧订单满载之外，无法顺利购得机台的厂商为了不失去竞争力也会再做更多尝试，届时除了用pecvd镀氧化铝之外，也会有厂商选用ald技术，或是不愿冒机台风险的厂商可能会重新评估采用长兴材料集团的方式

来源：PV-Tech2015-08-20

事实上，先进的perc电池技术已被证明实际上成为该行业大部分所选择的下一项电池技术，使得大部分现有设备得以使用，特别是pecvd和扩散炉，以满足电池效率提升。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2015-07-31

号文上半年光伏装机仅达四成张家口获批建可再生能源示范区 旨在打破制度藩篱三类大型项目将落地张家口可再生能源示范区挤掉天合光能 阿特斯一季度光伏出货量居全球榜首中美印纷纷提出100gw以上太阳能装机目标亚行报告：柬埔寨适合发展太阳能发电pecvd

来源：光伏标准及技术2015-07-30

目前，在中国微波法pecvd系统占据市场的主流，而管式pecvd系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法pecvd系统还没有进入中国市场。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2015-05-29

目前，manz也拥有了pecvd技术、激光开孔技术、还有背面抛光的湿法蚀刻技术，这些设备是目前manz在晶硅太阳能里面所提供的主要设备。...manz在湿法蚀刻的槽体里面提供pecvd上下料系统。接下来，在后端的丝网印刷环节，manz还会提供一次丝网印刷或者两次丝网印刷工艺技术的支持。

来源：奇元裕公司2015-04-30

像是扩散炉管及pecvd领导设备商tempress，其n型高效电池及成熟p型高产能量产技术受到高度瞩目及肯定；一向以高精度及低银浆耗量特色著称的网印设备asm ae，其网印设备技术能提升电池印刷质量进而降低成本

来源：北极星太阳能光伏网2015-04-21

而合作多年伙伴扩散炉管及pecvd领导设备商tempress，其n型高效电池及成熟p型高产能量产技术受到高度瞩目及肯定；一向以高精度及低银浆耗量特色著称的网印设备商整合集团资源以全新asm alternative

来源：虎嗅网2015-02-11

2010年6月，铂阳公告称与汉能控股签订总金额为25.5亿美元的销售协议（包含了420台pecvd设备及90台pvd设备）。当年，汉能表面上与铂阳没有任何股权关系，却凭几张大订单锁定了这家上市公司。

来源：PV-Tech2015-02-09

系统订单涵盖扩散、等离子体增强化学气相沉积(pecvd)和离子注入系统，预计将在未来三至九个月出货。...amtech指出，其中一个订单包括多个tempress pecvd系统，对于日本一家领先的太阳能电池和组件制造商。

来源：PV-Tech2015-01-14

此外，如果在ald电池工艺中，在sin封层上直接使用pecvd，则可采用集成退火工艺，其最终制成的电池性能要比pecvd氧化铝工艺好得多。...我们的目标是向太阳能产业表明，在晶硅太阳能电池的钝化工艺中使用空间ald解决方案，相较于pecvd氧化铝具有更高的潜力。

来源：pv-magazine2015-01-07

amtech表示solaytecald工具将与tempresspecvd程序进行组合一并推出。amtech还将继续与rena合作推出其湿化学技术。amtech sytems总部位于亚利桑那州的坦佩。

来源：pv-magazine2015-01-07

amtech表示solaytecald工具将与tempresspecvd程序进行组合一并推出。amtech还将继续与rena合作推出其湿化学技术。amtech sytems总部位于亚利桑那州的坦佩。

来源：光伏资讯2014-12-12

硅片切割后，进入电池片生产阶段，此时除了前期对于硅片的清洗制绒外需要各类酸碱和纯水辅料外，扩散还需要用到三氯氧磷气体，pecvd要用到硅烷气体，电极加工要用到银浆和铝浆，这些辅材的消耗量甚至不亚于主原料硅的价值

来源：PV-Tech2014-11-24

现阶段，solaytec的ald氧化铝比竞争技术，如pecvdalox少消耗4-5。

来源：世纪新能源网2014-11-24

，他也说中国的装备制造其实也已经走到了世界前列，不知不觉，因为中国体量最大，吨位决定地位，就是60%制造业都在中国，这个装备不可能自己没有进步，也是现在过来了，过去我们只有层压机、模拟仪、扩散炉，现在pecvd