来源：OFweek2011-07-05

主要工艺是：选择纯度较好的产业硅(即冶金硅)进行水平区熔单向凝固成硅锭，往除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中往除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，往除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分

来源：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新能源技术中心 孟凡英2011-06-15

目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(pecvd)方法，真空腔的清洗基本是氟化物(sf6或nf3)，排出物是含氟气体。...柔性电池产业化道路上的主要障碍是如何在低温条件下制备性能优良的薄膜。美国第一太阳能对cdte薄膜电池技术严密封锁，其他欲进入该领域的企业在量产化过程中困难重重。

来源：电力网新闻中心2011-01-11

新设备带来转机 1月8日，首台代表着国际尖端技术水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备（ｐｅｃｖｄ）在上海张江理想能源设备公司正式下线，该设备的研制成功打破了薄膜太阳能电池设备市场一直被国外厂商垄断的局面

来源：北极星电力新闻网2009-07-30

:宁夏国电宁夏太阳能有限公司低温红外光谱仪、电感耦合等离子体质谱仪、在线气相色谱设备招标公告项目名称：国电宁夏太阳能有限公司2500吨/年多晶硅项目1....国电宁夏太阳能有限公司低温红外光谱仪、电感耦合等离子体质谱仪、在线气相色谱设备招标公告 开标时间:所属行业:能源化工标讯类别:国际招标资源来源:其它联系人：李丹 电话：13671033072所属地区

来源：新华网  2008-12-22

ｉｔｅｒ主机内部有大型超导磁体线圈，它能产生稳定的磁场来约束等离子体，但为之供电、供冷及测量诊断的低温系统、电源系统以及控制测量系统等，却在主机外部，距离较远，因此需要设置一个独立的磁体传输线系统，也即超导馈线系统

来源：国际电力网2008-03-10

中国烟台龙源电力技术有限公司可能成为向俄罗斯哈巴罗夫斯克3号中央热电站提供用于煤粉点火的现代等离子发生器（获得"低温"等离子体的气体放电装置）的厂家。...他解释说，远东发电股份公司专家用近一年时间研究中国动力工程师运用创新技术的成果并得出结论：等离子体点火装置经济实惠，有助于降低氮氧化物向大气层的排放并减少燃烧的危险。