2003-10-28

杨忠华说，作为高新技术产业，威海双丰必须不断推陈出新，才能保持在业界的领先地位。目前，威海双丰正不断开发符合现代勘探要求的传感器新品，以进入国际市场，其中包括超级传感器和mems传感器。...mems传感器把集成电路结合进传感器之中，是国家863计划的一个重要项目。　　

2003-04-29

今后几年，传感器市场的产品需求结构将向投资类产品发展，国内应重点研发的传感技术包括：1.微电子机械系统（mems），重点开发微米级产品，实现微机械与ic集成的微系统，逐步建立mems工程学；工业方面着重开发用于微小卫星

2003-04-09

倍强为国内的光电、半导体产业相关制程设备专业设计／制造商，以自行设计／生产表面声波组件、微机电（mems）组件及提供晶圆制程服务为主。...董事长廖志铭表示，高亮度发光二极管技术的发展不断突破，白光led将成为照明光源的主流之一，明显的商机必催促着台湾光电业者持续在led产业发展；而国内各led厂看好白光led的应用，已积极开发制程，目前以萤光物质配合蓝光

2006-12-25

不过，随着微电机系统(mems)、低功耗无线通讯协议(zigbee)和数字电路设计的飞速发展，上述这些难点正在被解决，wsn已经开始进入商用阶段。...为了更多地降低节点的成本、体积和功耗，crossbow还在和合作伙伴一同开发新一代把处理器和通讯模块集成在一起的soc技术。

2006-12-22

尤其是在一些新型传感器市场，一些ic厂商开始拥有了能够同国际竞争对手抗衡的能力，如指纹传感器领域的芯微技术有限公司、mems传感器领域的青鸟元芯、美新半导体等。 　　...指纹传感器技术的飞速发展很大程度来自于网络时代对信息安全的巨大市场需要：指纹识别以其易操作和更高的。

2006-12-20

发展重点 　　传感器技术 　　（1）mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀（drie）工艺或igp工艺；封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺；新型传感器

2006-12-13

”、“mems科技股份有限公司”，呈现出良好的发展态势。...全国已有1688家企事业从事传感器的研制、生产和应用，其中从事mems研制生产的已有50多家。

2007-04-13

icinsights表示：“约有80%的固态传感器和致动器有用微电机系统(mems)技术，以完成变换器功能。” 　

来源：《中国电子报》2007-03-14

提升封装测试能力 　　大力发展bga、csp、mcp、mcm、mems等高密度封装技术势在必行，要着力提升我国封装业的研发和产业化水平。 　　...“十一五”期间，我们要积极开发90nm、60nm乃至45nm的高速、低功耗芯片和新型硅基集成电路的制造工艺技术，研究新型的光刻及离子注入技术，缩小技术差距。