来源：《光伏信息报》2011-11-14

、全自动硅料清洗设备、全自动硅片清洗设备、全自动单晶制绒酸洗综合设备、多晶链式制绒设备、湿法刻蚀设备、等离子体刻蚀机、pecvd、非晶硅玻璃基片清洗设备等。

来源：PV-Tech2011-11-07

这个工具的关键是pecvd光电直读光谱仪。光电直读光谱仪能够更好的控制薄膜的组织和高速处理的沉积物密度。该工具的理念是基于静态内联生产结合内基底板传导以及静态过程的优点。...这个项目将硅片、设备材料供应商、设备和组件制造商汇集到一起进行合作。

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-03

这次新闻发布会所展示的solarcell整厂整线生产设备，包括wis（外延片检查机）、texture（蚀刻机）、diffusion（磷扩散炉）、inoxside（化学晶边绝缘机）、pecvd（电浆辅助化学相沉积炉

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-01

为光伏制造大国，但在电池片生产核心设备如pecvd，烧结炉等关键设备依然未能很好实现国产化，也一直制约着我国电池片的生产成本。...的电池片检测中心，配套其pecvd的技术研发和测试。

来源：PV-Tech2011-10-26

电池生产系统包括硅片检测机、蚀刻机、磷扩散炉、电浆辅助化学气相沉积设备、双次丝网印刷设备、快速烧结炉、iv检测及分类机，以及texture至pecvd各主机衔接的装载、卸载设备。

来源：Solarbe2011-10-25

此次广运展示的光伏电池生产设备，包含硅片检查机、蚀刻机、磷扩散炉、化学晶边纪缘机、电浆辅助化学相沈积炉、网印机、快速烧结炉、iv检测及分类机以及texture至pecvd各主机衍接loader及unloader

来源：北极星电力网2011-10-20

当前要重点加强太阳能级硅材料提纯，加强高效太阳电池、光伏系统以及多晶硅浇铸炉、线切割机、等离子体增强化学气相沉积设备(pecvd)等关键设备的研制，提高晶硅原材料的自给率。

来源：Solarbe2011-10-13

该集团的光伏研究院的技术创新及成果包括：业内首创多晶槽式制绒、高方阻扩散、高均匀管式pecvd、高精度se工艺电极对位印刷以及双排烧结炉。还有更多企业的精彩发言，在此就不一一列出。...开日能源科技股份有限公司是一家专业制造太阳能光伏设备的企业，也是国内新兴的光伏设备制造商。拥有ft500，kr-800a，kr-800b等多晶硅铸锭炉产品，其中kr-800b型可投料900kg。

来源：中国能源报2011-10-12

如从pecvd到pvd这些设备，从设计到制造都已经实现国产化，在北京就可以制造非晶锗硅电池的核心设备pecvd、pvd，而且从图纸到设计制造都是由汉能控股的上市公司持有其产权。

来源：《瞭望》新闻周刊2011-10-09

在汉能控股四川双流一期300兆瓦薄膜太阳能电池研发制造基地，本刊记者9月22日换上工装走进全球单厂产能最大的单体厂房一个月前，国家副主席习近平在这里考察了汉能研发、拥有自主知识产权、居世界先进水平的pecvd...一直以来，国内薄膜厂家一个严重的短板是，生产设备都需要从国外进口，而自身的研发力量相对有限，工艺能否有保障也存在风险。

来源：志趣网2011-09-29

总体上讲，目前我国光伏装备制造业处于国产化替代进口阶段，平板式pecvd、激光刻边机、湿法化学刻蚀机、链式扩散炉等少数设备还依赖进口。...先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破，扩散炉、pecvd

2011-09-28

目前，强生光电公司自行研发和制造pecvd等核心设备，生产成本仅为进口的20%；非晶硅薄膜电池产能、转换率、销售量均居中国非晶硅薄膜电池工厂前列，已在欧洲等地建有20多处光伏电站。

来源：新华日报2011-09-27

据介绍，目前，强生光电公司自行研发和制造pecvd等核心设备，生产线成本仅为进口的20%；非晶薄膜电池产能、转换率、销售量均居中国非晶薄膜电池工厂前列，是国内乃至全世界薄膜电池组件成本最低并能取得盈利的工厂之一

来源：沈阳众拓公司2011-09-26

，被广泛应用于pecvd、清洗、制绒工艺环节的上下片。...在工作空间内，设备的动态响应速度可以达到80m/s2,最快运行速度可以达到10m/s。

来源：易恩孚2011-09-16

3)电池设备与生产自动化专场新一代缺陷检测技术先进制造执行系统解决方案太阳能全产业链解决方案最新pecvd技术会场二：1)光伏产业投融资专场光伏电站投资机遇及风险分析2011年中国光伏产业投资机遇及热点晶硅电池与薄膜电池行业投资优势及亮点分析解析中国光伏产业发展相关规划

来源：新华社2011-09-16

十二五期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、pecvd镀膜设备、自动丝网印刷机等高端光伏电池生产设备和电子浆料、石英制品等基础材料的技术攻关。

来源：新华网2011-09-07

十二五期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、pecvd镀膜设备、自动丝网印刷机等高端光伏电池生产设备和电子浆料、石英制品等基础材料的技术攻关。

来源：《中华工商时报》2011-09-07

二是以首台中国造太阳能薄膜制造装备lpcvd、pecvd,在正泰集团理想公司下线为标志，实现了产业结构由传统制造领域向光伏太阳能及半导体高端装备制造的方向转型。...积极引导供应商企业开展技术创新，淘汰落后生产工艺设备。提升交货合格率，降低成本质量损失；帮助其全面提升生产与响应能力。

来源：全球光伏网2011-09-05

法特博士：例如我们新开发c.niteinline设备，是将我们具有多年实践经验的管式pecvd的优点和连续在线生产的创新技术完美结合。通过使用等离子体沉积实现了最长正常运行时间和最佳整体性能。

来源：普乐2011-09-02

针对于锗烷高昂的价格，单室多片的平行模式pecvd设备又是非常理想经济的产业化设备，在这种设备上沉积出优质的非晶硅锗薄膜是非常具有发展前景的。