来源：《成都商报》2011-09-02

不怕温度高不怕光照低在成都也能广泛应用在整洁的车间里，成都商报记者参观了汉能控股集团薄膜太阳能电池生产线，这条生产线采用汉能自主研发的pecvd核心装备和工艺技术，已达到全球领先水平。...国内权威工程咨询机构中国国际工程咨询公司曾组织业内权威专家进行独立评估，认为汉能的薄膜太阳能电池采用我国自主专利技术，技术来源明确，产品和工艺技术方案先进，工艺流程和工艺设备方案成熟。

来源：中国能源报2011-08-31

针对于锗烷高昂的价格，单室多片的平行模式pecvd设备又是非常理想经济的产业化设备，在这种设备上沉积出优质的非晶硅锗薄膜是非常具有发展前景的。

来源：21IC电子网2011-08-10

由于影响pecvd系统淀积效果的参数很多，如气体流量和流量比，工艺腔温度，射频功率，沉积气压等等，而且对不同的pecvd设备会有不同的最佳参数，我们有必要就主要的控制参数进行研究，摸索出在这台pecvd

来源：Solarbe2011-08-10

日前，singulus技术公司宣布研制了一种新的电感耦合等离子体（icp-pecvd）覆膜设备，该设备用于晶体硅太阳能光伏组件的生产，将在第26届德国汉堡的eu—pvsec上展出。

来源：中国电子报2011-07-14

/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式pecvd、快速烧结炉)和进口设备并存但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式pecvd)则完全依赖进口。

来源：南通强生光电科技有限公司2011-07-06

目前，我司整合的60mw生产线，全部投入不超过1亿元人民币，该线核心装备pecvd和真空溅射设备与美国著名真空制造企业合作生产，激光刻线机采用全球著名的德国企业高精度产品。...整线装备精良，产能大，每mw投入只有166万元(约26万美元)，该投入仅为进口设备的10-15%，是目前薄膜电池装备性价比最优的生产线。强生愿与相关企业在合适地区共同建设非晶薄膜电池生产工厂。

来源：中国能源报2011-06-20

“我们在半年内成功研制了太阳能电池生产的核心设备：扩散炉及管式pecvd，创造了设备行业的研发速度记录，为华伯公司带来了1.6亿元订单。”华伯公司负责人说。...目前，公司已投入力量，在硅片生产关键设备、电池生产新工艺设备、组件生产自动化、mocvd等项目上开展研发。

来源：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-17

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：中国工控网2011-06-17

苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁李本成撰文指出，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：搜狐IT2011-06-16

/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式pecvd、石英管清洗机、丝网印刷机、高低温烘干烧结炉、自动分选测试仪等，并能为国内外光伏企业提供晶体硅太阳能电池制造成套装备和工艺解决方案。...中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗

来源：中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长 伍三忠2011-06-15

先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破，扩散炉、pecvd

来源：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-15

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新能源技术中心 孟凡英2011-06-15

目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(pecvd)方法，真空腔的清洗基本是氟化物(sf6或nf3)，排出物是含氟气体。...由于硒化过程采用有毒气体，硒化设备的设计非常重要，而市场上没有专业的硒化设备供应商。

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式pecvd、石英管清洗机、丝网印刷机、高低温烘干烧结炉、自动分选测试仪等，并能为国内外光伏企业提供晶体硅太阳能电池制造成套装备和工艺解决方案。...中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

扩散炉和pecvd，目前大量应用的国产设备都是管式的，由于可以满足生产工艺的要求，设备性价比也高，所以这些设备的市场认可度也高。...融合了更先进工艺技术的新一代管式扩散炉、高产能管式pecvd、全自动高精度太阳能电池片测试分选设备的推出，将使相关国产太阳能设备的市场份额进一步扩大，电池片生产线的成本优势再一次得到加强。

来源：龙虎网-南京日报2011-06-07

“我们在半年内成功研制了太阳能电池生产的核心设备：扩散炉及管式pecvd，创造了设备行业的研发速度记录，为华伯公司带来了1.6亿元订单。”华伯公司负责人说。...目前，公司已投入力量，在硅片生产关键设备、电池生产新工艺设备、组件生产自动化、mocvd等项目上开展研发。

来源：中国电子报2011-04-21

通过技术升级，扩散炉、pecvd设备、清洗机、高温烧结炉等关键工艺装备的各项技术性能指标均达到国内领先、国际一流的水平。 第三，大生产有能力加快装备的研发进度。...近几年来，48所通过在大生产运行中积极探索先进工艺，对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进

来源：ABB2011-03-24

本次重点展出的abb机器人自动工作站－管式pecvd石墨舟取片/插片系统的取片及插片速度最高可达3000次/每小时，被广泛应用于太阳能管式pecvd工艺流程石墨舟的取片/插片，适用于125/156寸、单晶

来源：新华网2011-03-11

今年1月，由正泰集团自主研发的中国首台具国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)成功下线，打破了同类设备一直被国外厂商垄断的局面。

来源：互联网2011-03-04

kai设备是一个全自动化的pecvd(等离子体增强化学气相沉积)系统，作为行业内1.4 m2太阳能组件大规模生产的核心设备。...订单包含了多台欧瑞康太阳kai设备，是薄膜硅镀膜的关键工艺设备。