来源：生意社2012-12-27

2)研发的新工艺技术主要集中体现在多晶硅天生反应器装置上，多晶硅天生反应器是复杂的多晶硅生产系统中的一个进步产能、降低能耗的关键装置。...4)流化床(fbr)反应器和石墨管状炉(tube-recator)反应器，天生粒状多晶硅的硅原料可以用硅烷、二氯二氢硅或是三氯氢硅。5)在2005年前多晶硅扩产中100%都采用改良西门子工艺。

来源：中国太阳能光伏网2012-10-22

而用于薄膜淀积的oerlikon的反应器是一个高温等温装置，反应器内温度的控制非常重要，因为非晶硅是长程无序短程有...所以oerlikon早在20年前开发薄膜太阳技术及设备时，将其开发重点集中在pecvd设备超高频电源与反应器装置的开发。

来源：OFweek2011-07-05

2)研发的新工艺技术主要集中体现在多晶硅天生反应器装置上，多晶硅天生反应器是复杂的多晶硅生产系统中的一个进步产能、降低能耗的关键装置。...4)流化床(fbr)反应器和石墨管状炉(tube-recator)反应器，天生粒状多晶硅的硅原料可以用硅烷、二氯二氢硅或是三氯氢硅。5)在2005年前多晶硅扩产中100%都采用改良西门子工艺。