来源：光伏們2020-02-20

除此之外，电池片还必须经过等离子体增强，化学蒸汽沉积氮化硅作为防反射涂层。

来源：基层建设2019-12-04

在此之上，本文简要分析了垃圾渗滤液处理技术的内涵，并分别从物化处理技术、生物处理技术、膜处理技术、等离子体降解技术等方面论述了垃圾渗滤液处理要点，以此提高当下垃圾渗滤液处理水平。...工作人员利用活性炭吸附垃圾渗滤液中的有机成分，尤其是污染程度较大的物质如苯胺等，降低垃圾渗滤液的污染能力；（2）利用化学试剂对垃圾渗滤液进行处理如fenton试剂，它能够让垃圾渗滤液中的有机物质得到有效的沉积

来源：光伏們2019-11-20

随后在3月14日，继在美国和德国，韩华新能源又以相同的原因，向澳大利亚联邦法院对晶科、隆基提起专利侵权诉讼，称专利权利要求不限于任何特定的制造方法，例如原子层沉积（ald）或等离子体增强化学沉积（pecvd

来源：PV兔子2019-10-18

hjt电池工艺主要包括制绒、非晶硅沉积、tco沉积、丝网印刷。非晶硅沉积主要使用pecvd方法。tco薄膜沉积目前有两种方法：rpd(反应等离子体沉积)和pvd（物理化学气象沉积）。

来源：光伏测试网2019-09-18

目前，国内外文献多采用等离子体增强化学气相沉积法(pecvd)制备非晶硅薄膜，其他 方法如热丝化学气相沉积技术(hwcvd)、常压化学气相沉积技术(apcvd)和 离子束辅助沉积技术制备a-si:h也有研究

来源：光伏前沿2019-09-04

金属电极丝网印刷线研发已基本完成，进入工艺验证阶段，hjt整线生产设备国产化正在积极推进中；背钝化技术氧化铝镀膜设备研发已形成批量生产销售；topcon电池工艺技术钝化设备研发已进入工艺验证阶段；主营产品高温扩散氧化退火炉、管式等离子体沉积炉

来源：《基层建设》2019-08-23

采用脉冲放电等离子体烟气脱硫、脱硝、除尘一体化装置替代脉冲放电等离子体反应器和副产物收集装置的方法来解决管道副产物沉积、堵塞问题，采用该装置后，不仅能够同时进行脱硫、脱硝反应并除尘，还解决了副产物在管道内的沉积问题

来源：宁德时代2019-07-24

说明经过575d存储后电池阴极的极化增大，但阴极材料的储锂能力并未受到影响，可能与存储过程中电解液分解产物沉积有关。...使用电感耦合等离子体发射光谱仪分析电极片的元素含量。二、结果讨论1.电池性能分析图1为电池容量衰减及充放电性能。如图1(a)所示，随着存储时间的延长，电池容量逐渐衰减。

来源：光伏前沿2019-07-22

（3）tco膜制备①工艺汇总②量产信息汇总现阶段tco制备工艺主要为pvd直流磁控溅射工艺与rpd（反应等离子体沉积）工艺。...（2）非晶硅沉积①工艺介绍②量产信息汇总非晶硅沉积主要考虑为薄膜均匀性、氢含量、光敏性。

来源：光伏领跑者创新论坛2019-07-10

在研究过程中，研究小组在电池背面沉积了一层pedot:pss层作为收集孔，而电池正面则通过磷扩散的“常规”处理。...科学家们通过制造300μm厚(100)(p型悬浮区(fz-si)，电阻率200ωcm的硅片来评估钝化质量，然后使用等离子体增强化学气相沉积处理硅片的另一侧。

来源：北极星太阳能光伏网2019-03-15

一位发言人还补充说，我们的maia和fabia电池涂层平台，使用我们专有的等离子体增强化学气相沉积（pecvd）钝化技术，不在专利侵权索赔的范围。...总部位于瑞士图恩的meyer burger认为，hanwha声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同。目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。

来源：电子世界2019-02-26

反应气体主要为硅烷（sih4）和氨气（nh3），最终反应方程式如下：sinx薄膜对电池表面钝化原理：pecvd法在沉积sinx薄膜时，会在薄膜中形成大量固定正电荷和游离的氢原子。...，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的工艺气体，这些气体经一系列化学反应和等离子体反应，最终在样品表面形成固态薄膜。

来源：前瞻网2018-11-12

“要想证明甲烷裂解产生的碳副产品是沉积下来的，而不像二氧化碳那样释放到大气中，还...这种反应发生在低温、非平衡等离子体中，这些等离子体被置于一个小反应堆的高压下。该公司正在西伯利亚托木斯克镇试用这项技术。

来源：前瞻网2018-11-12

“要想证明甲烷裂解产生的碳副产品是沉积下来的，而不像二氧化碳那样释放到大气中，还...这种反应发生在低温、非平衡等离子体中，这些等离子体被置于一个小反应堆的高压下。该公司正在西伯利亚托木斯克镇试用这项技术。

来源：全景网2018-08-21

捷佳伟创成立至今，均主营生产pecvd（等离子体增强化学的气相沉积法）等晶体硅电池设备。

来源：中国能源报2018-05-09

该成像系统首次测量到能量高达200kev的高能电子的演化行为，获得了兆瓦级低杂波加热的功率沉积和高能电子分布。...随着核聚变等离子体运行参数的不断提升，对高能电子行为的实时观测和电流剖面精确控制日趋重要。

来源：能源学人2018-01-31

利用双金属有机框架(co/zn-mof)阵列作为反应模板，在柔性碳布基底上均匀生长了一种介孔氮掺杂的碳纳米片阵列网络，进而通过介孔的吸附作用以及含氮官能团的键合作用，将nic的正负极活性材料(nvp，vo2)均匀沉积在上述碳阵列上

来源：华钛高科2017-12-15

，沉积在电极或器壁上，积累到一定程度后会引起设备着火；3）有些化合物在低温等离子体环境中发生聚合反应，在电极或器壁沉积结焦，积累到一定程度也会引起设备着火；4）易产生火花放电，在高峰值电压下，反应器易产生火花放电

来源：中国环保产业协会2017-12-07

(3)某些化合物在低温等离子体环境中发生聚合反应，在电极或器壁沉积结焦，积累到一定程度也会引起设备着火。...通过对低温等离子体废气治理设施的适用范围、使用条件和安全性等问题进行研讨，形成如下建议：(一)低温等离子体技术的适用范围(1)低温等离子体技术是通过气体放电所产生的高活性粒子与污染物分子发生碰撞，使其解离和氧化

来源：中国环保产业协会2017-12-07

（3）某些化合物在低温等离子体环境中发生聚合反应，在电极或器壁沉积结焦，积累到一定程度也会引起设备着火。...通过对低温等离子体废气治理设施的适用范围、使用条件和安全性等问题进行研讨，形成如下建议：（一）低温等离子体技术的适用范围（1）低温等离子体技术是通过气体放电所产生的高活性粒子与污染物分子发生碰撞，使其解离和氧化