来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-06-28

据了解，微导纳米以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案

来源：资本邦2020-06-23

公司以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案

来源：光伏新闻2020-06-22

一、perc专利战如鲠在喉韩华专利的核心是ald镀氧化铝+pecvd镀氮化硅的结构，以及用此结构来生产出来的太阳能电池，该技术主要应用于perc电池中，而perc电池早已成为主流电池工艺，据不完全统计，...异质结电池实现低成本量产的关键在于设备国产化、提高良率和产能以及降低硅片、低温银浆、tco靶材和清洗制绒化学品等成本。日本松下、上澎、晋能、福建金石和中智电力等已实现异质结电池量产。

来源：摩尔光伏2020-05-19

生产的电池效率低是设备投产过程中亟待解决的问题，因此，本文以a型416管式pecvd机台生产的电池效率偏低为研究对象，重点分析了其与b型308管式pecvd 机台的差异，调整了背膜工艺，从而提高了电池效率...电池制备工艺依次为：去除rena机械损伤层和酸制绒、pocl3磷源管式扩散形成p-n结、干法刻蚀、背面ald沉积a12o3钝化膜、正面管式pecvd沉积sinx 钝化膜、背面管式pecvd沉积sinx

来源：北极星太阳能光伏网2020-05-09

4月17日，晋能连发8条招标公告，采购内容涉及项目抗lid设备、自动化及辅助设备、热制程自动化、丝网印刷设备、ald设备及掺杂、消融激光等设备改造招标，和项目自动化设备（一标段）及项目划焊一体机（一标段

来源：山西省招标投标公共服务平台2020-04-17

热制程自动化、丝网印刷设备、ald设备及掺杂、消融激光等设备改造招标，和项目自动化设备（一标段）及项目划焊一体机（一标段）设备采购等。...近日，晋能光伏技术有限责任公司（简称“晋能光伏”）连发八条招标采购公告，用于采购其高效单晶perc电池及组件166技改项目的光伏设备及原有光伏设备改造等，采购内容涉及项目抗lid设备、自动化及辅助设备、

来源：光伏测试网2020-02-24

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线增加钝化膜沉积设备（pecvd 设备或ald设备）和激光开槽设备即可。

来源：太阳能杂志2020-02-20

背抛光后硅片印刷氧化铝并烧结，使用wt-2000 设备测试少子寿命值在10 μs 左右；完成氧化铝及正、背面氮化硅镀膜后进行烧结，测试少子寿命，达到33 μs 以上，如图6 所示；这与采用ald 方式制备的黑硅

来源：国信证券2020-02-18

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线 上额外增加钝化膜沉积设备（pecvd 设备或 ald 设备）和激光开槽设备即 可。perc 核心产品为 pecvd 设备、丝网印刷等。

来源：光伏新闻2019-11-06

早在二十年前gtsolar公司也做过铸造单晶技术的研发，后来放弃了；另外ald早期也为bpsolar产品研发过铸造单晶设备。

来源：纳米人2019-09-25

为了评估串联器件的规模化潜力，还制造了大面积设备（1.05 cm2...利用原子层沉积（ald）沉积sno2薄层。超薄金层（1nm）通过热沉积在sno2和pedot：pss层之间。相应的pv参数为总结在表1中。

来源：pv-magazine2019-07-04

这家总部位于亚利桑那州的设备制造商去年在中国销售业绩不佳，选择退出光伏市场，努力改善经营业绩。这与大多数业内巨头重新发现业务扩张机会的渴望不同，看起来是一项难以理解的策略。...周五的消息是，amtech即将完成出售solaytec原子层沉积（ald）业务，从太阳能业务领域撤出。

来源：北极星氢能网2019-05-13

ald原子层沉积设备等。...公司开发的主要设备有：工模具硬质涂层镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、多弧离子镀膜设备、磁控溅射多弧离子复合镀膜设备、连续式磁控溅射镀膜生产线、光学镀膜设备、cvd和pecvd化学气相沉积设备、icp刻蚀设备和

来源：证券日报2019-03-19

因此，晶科能源反对韩华的指控；隆基股份方面则表示，从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术）。...“除了其可大幅提升产品效率外，这一技术产业化如此迅速，还由于它可以最大限度的保留原有生产设备，通过有限的工艺环节及配套设备的增加和改进来显著提升电池产品的性能。”

来源：亚化咨询2019-02-19

其中，根据设备形式的不同，pecvd沉积工艺设备包括板式pecvd和管式pecvd，ald沉积工艺设备也主要分为管式ald和板式ald，值得注意的是，在管式ald工艺下，还分为单插片与双插片的区别，即双面镀膜和单面镀膜的差异

来源：东吴证券2018-12-14

perc 产线单 gw 设备投资额约 3.5-4 亿，丝网印刷、制膜(设备包括 pecvd 和 ald)、扩散环节设备投资占比分别达到 27%、24%、18%。

来源：高工锂电2018-12-07

02正极材料美国恩创：90亿元/200条生产线美国恩创公司总投资90亿元的“原子层沉积技术产业园项目”落户南京经济技术开发区，该项目主要从事原子层沉积(ald)技术的研究与应用、大型粉末ald精密设备的生产销售以及锂电池正极材料加工等业务

来源：栖霞视点2018-11-12

据悉，该项目总投资90亿元，将落户在南京经济技术开发区，主要从事原子层沉积(ald)技术的研究与应用、大型粉末ald精密设备的生产销售以及锂电池正极材料加工等业务。

来源：高工锂电2018-08-20

项目总投资约50亿元，分两期建设，一期为基于原子层沉积(ald)技术的半导体装备，新能源汽车氢燃料电池装备的研发及产业化;二期为氢燃料电池汽车配套设施的研发及产业化项目，切入制氢、储氢等细分领域。...浩能科技成立于2005年，是锂离子电池自动化生产整体解决方案的供应商，主要生产高精度锂离子电池正负板涂布机、分条机、辊扎设备、电池隔膜涂布、搅拌机等设备，并广泛应用于高端市场，成为行业高端锂电池生产企业的主要供应商

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2018-07-30

先导的ald 背钝化设备、mbb多栅串焊机等均达到了全球领先的水平，结合自主研发的mes系统，可为光伏企业打造无人车间。