2005-01-28

fpd)方面，tft-lcd的生产中采用了大面积制版、大面积光学曝光、多室磁控溅射、多室pecvd等诸多半导体设备；led的生产设备则包括mocvd、lpe在内的全套半导体设备；此外，pdp、vfd、oled...近年来，由于继续降低λ和加大na难度的增加，包括离轴照明(oai)、光学邻近效应修正(opc)、移相掩膜(psm)在内的分辨率增强技术(ret)已成为光刻设备的主攻方向，尤其是浸没式曝光技术的发展又一次打破了关于传统光学光刻技术极限的预测

2003-04-09

基于长期与iii-v族及硅晶圆产业伙伴的密切配合，并积极投入oled制程设备之研发，主要产品包括电浆辅助化学气相沉积设备（pecvd）：p100c／p200c；电子枪蒸镀设备（e-beam）：e850／...董事长廖志铭表示，高亮度发光二极管技术的发展不断突破，白光led将成为照明光源的主流之一，明显的商机必催促着台湾光电业者持续在led产业发展；而国内各led厂看好白光led的应用，已积极开发制程，目前以萤光物质配合蓝光