来源：普乐2011-09-02

众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（pecvd）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。...近年来，普乐一直在做这方面的研发和生产，目前已经能在单室多片的平行模式pecvd系统中沉积出了均匀性很好的非晶硅锗薄膜了。

来源：《成都商报》2011-09-02

不怕温度高不怕光照低在成都也能广泛应用在整洁的车间里，成都商报记者参观了汉能控股集团薄膜太阳能电池生产线，这条生产线采用汉能自主研发的pecvd核心装备和工艺技术，已达到全球领先水平。

来源：中国能源报2011-08-31

众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（pecvd）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。...近年来，普乐一直在做这方面的研发和生产，目前已经能在单室多片的平行模式pecvd系统中沉积出了均匀性很好的非晶硅锗薄膜了。

来源：21IC电子网2011-08-10

由于影响pecvd系统淀积效果的参数很多，如气体流量和流量比，工艺腔温度，射频功率，沉积气压等等，而且对不同的pecvd设备会有不同的最佳参数，我们有必要就主要的控制参数进行研究，摸索出在这台pecvd

来源：中国电子报2011-07-14

、快速烧结炉)和进口设备并存但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式pecvd)则完全依赖进口。...管式pecvd、快速烧结炉与国际先进水平有差距，但不大，已开始在大生产线使用，市场份额逐步扩大，性价比优势明显。

来源：南通强生光电科技有限公司2011-07-06

目前，我司整合的60mw生产线，全部投入不超过1亿元人民币，该线核心装备pecvd和真空溅射设备与美国著名真空制造企业合作生产，激光刻线机采用全球著名的德国企业高精度产品。

来源：中国能源报2011-06-20

“我们在半年内成功研制了太阳能电池生产的核心设备：扩散炉及管式pecvd，创造了设备行业的研发速度记录，为华伯公司带来了1.6亿元订单。”华伯公司负责人说。

来源：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-17

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：中国工控网2011-06-17

苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁李本成撰文指出，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：搜狐IT2011-06-16

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式pecvd

来源：中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长 伍三忠2011-06-15

先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破，扩散炉、pecvd

来源：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-15

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新能源技术中心 孟凡英2011-06-15

目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(pecvd)方法，真空腔的清洗基本是氟化物(sf6或nf3)，排出物是含氟气体。

来源：搜狐IT2011-06-15

hcpv芯片的生产过程如下，首先利用mocvd技术在4英寸锗衬底上外延砷化镓和铟镓磷形成３结电池片的材料，然后在外延片上利用光刻、pecvd、蒸镀等技术，制备减反膜以及主要成份为银的金属电极，再经划片清洗等工艺

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式pecvd

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

扩散炉和pecvd，目前大量应用的国产设备都是管式的，由于可以满足生产工艺的要求，设备性价比也高，所以这些设备的市场认可度也高。...融合了更先进工艺技术的新一代管式扩散炉、高产能管式pecvd、全自动高精度太阳能电池片测试分选设备的推出，将使相关国产太阳能设备的市场份额进一步扩大，电池片生产线的成本优势再一次得到加强。

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

hcpv芯片的生产过程如下，首先利用mocvd技术在4英寸锗衬底上外延砷化镓和铟镓磷形成3结电池片的材料，然后在外延片上利用光刻、pecvd、蒸镀等技术，制备减反膜以及主要成份为银的金属电极，再经划片清洗等工艺

来源：龙虎网-南京日报2011-06-07

“我们在半年内成功研制了太阳能电池生产的核心设备：扩散炉及管式pecvd，创造了设备行业的研发速度记录，为华伯公司带来了1.6亿元订单。”华伯公司负责人说。

来源：中国电子报2011-04-21

通过技术升级，扩散炉、pecvd设备、清洗机、高温烧结炉等关键工艺装备的各项技术性能指标均达到国内领先、国际一流的水平。 第三，大生产有能力加快装备的研发进度。...近几年来，48所通过在大生产运行中积极探索先进工艺，对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进

来源：ABB2011-03-24

本次重点展出的abb机器人自动工作站－管式pecvd石墨舟取片/插片系统的取片及插片速度最高可达3000次/每小时，被广泛应用于太阳能管式pecvd工艺流程石墨舟的取片/插片，适用于125/156寸、单晶