来源：北极星太阳能光伏网2011-10-24

日前获悉，中国保绿光伏的生产线率先采用了先进的pecvd技术，该技术在产品收益率为90%的情况下可以将薄膜太阳能电池的转换效率提高到8%。

来源：北极星电力网2011-10-20

当前要重点加强太阳能级硅材料提纯，加强高效太阳电池、光伏系统以及多晶硅浇铸炉、线切割机、等离子体增强化学气相沉积设备(pecvd)等关键设备的研制，提高晶硅原材料的自给率。

来源：Solarbe2011-10-13

该集团的光伏研究院的技术创新及成果包括：业内首创多晶槽式制绒、高方阻扩散、高均匀管式pecvd、高精度se工艺电极对位印刷以及双排烧结炉。还有更多企业的精彩发言，在此就不一一列出。

来源：中国能源报2011-10-12

如从pecvd到pvd这些设备，从设计到制造都已经实现国产化，在北京就可以制造非晶锗硅电池的核心设备pecvd、pvd，而且从图纸到设计制造都是由汉能控股的上市公司持有其产权。

来源：《瞭望》新闻周刊2011-10-09

在汉能控股四川双流一期300兆瓦薄膜太阳能电池研发制造基地，本刊记者9月22日换上工装走进全球单厂产能最大的单体厂房一个月前，国家副主席习近平在这里考察了汉能研发、拥有自主知识产权、居世界先进水平的pecvd

来源：志趣网2011-09-29

先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破，扩散炉、pecvd

2011-09-28

目前，强生光电公司自行研发和制造pecvd等核心设备，生产成本仅为进口的20%；非晶硅薄膜电池产能、转换率、销售量均居中国非晶硅薄膜电池工厂前列，已在欧洲等地建有20多处光伏电站。

来源：新华日报2011-09-27

据介绍，目前，强生光电公司自行研发和制造pecvd等核心设备，生产线成本仅为进口的20%；非晶薄膜电池产能、转换率、销售量均居中国非晶薄膜电池工厂前列，是国内乃至全世界薄膜电池组件成本最低并能取得盈利的工厂之一

来源：沈阳众拓公司2011-09-26

沈阳众拓机器人设备有限公司开发的ztr-elzu-hdk快速移栽机器人主要用于对太阳能硅片及电池片上下料的应用，是目前世界上速度最快的四轴机器人之一，每小时高达4000片的拾取速度和高达2公斤的有效负载，被广泛应用于pecvd

来源：易恩孚2011-09-16

薄膜太阳能电池量产与优化eva与pvb膜封装太阳能电池技术薄膜组件在建筑中的应用薄膜生产设备的国产化前景3)电池设备与生产自动化专场新一代缺陷检测技术先进制造执行系统解决方案太阳能全产业链解决方案最新pecvd

来源：新华社2011-09-16

十二五期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、pecvd镀膜设备、自动丝网印刷机等高端光伏电池生产设备和电子浆料、石英制品等基础材料的技术攻关。

来源：新华网2011-09-07

十二五期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、pecvd镀膜设备、自动丝网印刷机等高端光伏电池生产设备和电子浆料、石英制品等基础材料的技术攻关。

来源：《中华工商时报》2011-09-07

二是以首台中国造太阳能薄膜制造装备lpcvd、pecvd,在正泰集团理想公司下线为标志，实现了产业结构由传统制造领域向光伏太阳能及半导体高端装备制造的方向转型。

来源：全球光伏网2011-09-05

此外，与市场中其他类型的pecvd相比，它具有优化的结构设计，故无需定期停机清洁腔体，确保了最长的连续运行时间。还有我们推出的新一代烧结炉c.fire,可以保证最高质量的工艺控制。...法特博士：例如我们新开发c.niteinline设备，是将我们具有多年实践经验的管式pecvd的优点和连续在线生产的创新技术完美结合。通过使用等离子体沉积实现了最长正常运行时间和最佳整体性能。

来源：普乐2011-09-02

众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（pecvd）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。...近年来，普乐一直在做这方面的研发和生产，目前已经能在单室多片的平行模式pecvd系统中沉积出了均匀性很好的非晶硅锗薄膜了。

来源：《成都商报》2011-09-02

不怕温度高不怕光照低在成都也能广泛应用在整洁的车间里，成都商报记者参观了汉能控股集团薄膜太阳能电池生产线，这条生产线采用汉能自主研发的pecvd核心装备和工艺技术，已达到全球领先水平。

来源：中国能源报2011-08-31

众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（pecvd）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。...近年来，普乐一直在做这方面的研发和生产，目前已经能在单室多片的平行模式pecvd系统中沉积出了均匀性很好的非晶硅锗薄膜了。

来源：21IC电子网2011-08-10

由于影响pecvd系统淀积效果的参数很多，如气体流量和流量比，工艺腔温度，射频功率，沉积气压等等，而且对不同的pecvd设备会有不同的最佳参数，我们有必要就主要的控制参数进行研究，摸索出在这台pecvd

来源：Solarbe2011-08-10

日前，singulus技术公司宣布研制了一种新的电感耦合等离子体（icp-pecvd）覆膜设备，该设备用于晶体硅太阳能光伏组件的生产，将在第26届德国汉堡的eu—pvsec上展出。

来源：中国电子报2011-07-14

、快速烧结炉)和进口设备并存但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式pecvd)则完全依赖进口。...管式pecvd、快速烧结炉与国际先进水平有差距，但不大，已开始在大生产线使用，市场份额逐步扩大，性价比优势明显。