来源：《中国电子报》2007-03-07

正是在这种理念的引导下，他们研制成功了pecvd设备。事实上，他们研究薄膜淀积技术和相关设备已多年，以前的pecvd设备主要应用于ic行业。...应用于ic行业的pecvd装片舟均采用铝材料制作，其耐温低、易变形的缺点使其不适用太阳能行业。我们在做了大量试验并参考了国外设备之后，最终采用了新装片舟用来承载硅片。