北极星
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      来源:《中国电子报》2007-03-07

      半导体器件支撑着庞大的信息产业。而半导体器件的90%以上是硅器件,它们以硅片为基础材料。硅片被称作集成电路的核心材料。直径12英寸硅单晶抛光片主要用于制作0.13微米线宽以下的先进集成电路的衬底。

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