来源：北极星太阳能光伏网2012-07-05

一般的冷氢化工艺可以分为四大部分，即物料供应系统(含stc、h2、硅粉、hcl等)、氢化反应器系统、冷凝分离系统和精馏系统。

来源：北极星太阳能光伏网2012-07-03

冷氢化可以看作是tcs合成、tcs尾气回收、tcs精馏、热氢化、氢化尾气回收和氢化精馏六个工序的结合体，而在09年以前这六个工序中除了热氢化中的氢化炉、电气系统和尾气回收中的氢压机、冷冻机需进口外，其他的设备基本都是国内设计生产

来源：北极星太阳能光伏网2012-07-02

3.1.1.3、冷氢化一次性投资成本低：这点也是无需置疑的，毕竟热氢化包含合成、尾气回收、精馏和热氢化四个工序，其设备要比冷氢化多很多。...另外，需要说明的一点是目前所说的热氢化的耗电量在3kwh/kg.tcs以上是基于热氢化工序而言的，如果将tcs合成、tcs尾气回收和tcs精馏三个工序也看作热氢化的一部分的话，那么热氢化的耗电量应在2.2kwh

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-28

精馏后的tcs进入tcs储槽，之后被泵入多晶硅还原工序。图1.2为含有冷氢化工序的改良西门子法多晶硅生产工艺流程简图。...粗sihcl3经过洗涤塔除去固体杂质后再进入干法尾气回收系统，除去h2和hcl，之后再进入精馏系统，分离出sicl4，得到精制sihcl3。

来源：环球企业家网站2012-05-14

整个化学法多晶硅的生产流程，分为精馏、还原、尾气回收、氯氢化四个工序。高达几十米的精馏塔在夜间的光亮会照射到整个工厂。晚上的时候，特别好看。中能一员工说。

来源：solarF2012-04-13

改良西门子法通过尾气回收系统将还原反应的尾气回收、分离后，把回收的stc送到氢化反应环节将其转化为tcs，并与尾气中分离出来的tcs一起送入精馏提纯系统循环利用，尾气中分离出来的氢气被送回还原炉，氯化氢被送回...改良西门子法生产多晶硅的工艺流程(改良西门子法工艺流程示意图)改良西门子法是一种化学方法，首先利用冶金硅(纯度要求在99.5%以上)与氯化氢(hcl)合成产生便于提纯的三氯氢硅气体(sihcl3，下文简称tcs)，然后将tcs精馏提纯

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-31

1、精馏提纯。西门子法多晶硅厂家排出的四氯化硅，纯度一般为99-99.5%左右，而锌热还原法，最低要求气体纯度是6n，因此必须经过精馏提纯气体方可使用。...精馏提纯工艺中，使用的精馏塔一般有两种，一种是筛板式，一种是填料式。选用精馏塔的原则，在下认为应该遵循质量和效率两方面。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-27

h2---sihcl3+hcl20国内外多晶硅生产的主要工艺技术1、改良西门子法闭环式三氯氢硅氢还原法改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢，氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯

来源：Solarzoom2012-01-05

该项目采用第四代改良西门子法多晶硅生产工艺技术，引进国外先进设备，建设制氢车间、合成车间、精馏车间等主要生产车间。

来源：世华财讯2011-11-18

3、先进的提纯技术和精馏技术、尾气干法回收工艺等，也都是目前正在开发和使用的节能减排技术。判断现实情况下具备高效产能的多晶硅厂商特征：1、10000吨规模是领先厂商产能获得成本优势的起点。

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-07

其二是工艺装置除采用高效精馏塔精馏提纯外，引进了湿氮除硼技术设备，提纯工艺不再是单纯的精馏工艺。...过去在提纯工艺中着重于除硼化物、磷化物和金属化合物，而今还对除碳化物（如二甲基氯硅烷）普遍采用了加压精馏工艺,以提高产量和节约能耗。

来源：赛维LDK2011-11-01

该项目采用赛维ldk硅科技集团掌握的全球领先的ldk硅还原法生产工艺，包括四氯化硅冷氢化、三氯氢硅精馏、三氯氢硅还原、还原尾气回收等技术。

来源：环球光伏网2011-07-29

项目采用世界先进的第四代改良西门子法多晶硅生产工艺技术，引进国外先进设备，建设制氢、合成、精馏、还原等完备的多晶硅生产线。

来源：OFweek2011-07-27

其中具有世界先进水平的关键技术:三氯氢硅精馏、大型节能还原炉、四氯化硅氢化、还原尾气干法回收等配套工艺技术。新光硅业多晶硅产品主要用是电子芯片用多晶硅和太阳能电池用多晶硅。

来源：西部网2011-07-25

该项目采用第四代改良西门子法多晶硅生产工艺技术，引进国外先进设备，建设制氢车间、合成车间、精馏车间等主要生产车间。

2011-07-22

2.氯乙烯精馏尾气回收装置(含氢气回收) 1套 配套25万吨pvc/年设备。3.电石渣浆浓缩机组 1套 15万吨pvc/年配套设备，最大满足18万吨pvc/年需要，处理能力350～480m3/小时。

来源：宁夏阳光硅业有限公司2011-07-06

宁夏阳光硅业生产系统包括三氯氢硅、精馏提纯、还原、氢化和干法回收等五大系统，是目前国内工艺流程最完整的一条生产线。

来源：OFweek2011-07-05

该技术成熟于上世纪70年代，在沉寂近20年后，伴随光伏产业的发展，世界各国均对该技术进行二次创新，如中硅高科突破了大型低温氢化技术、大型节能还原炉技术、高效加压精馏提纯技术、高效加压三氯氢硅合成技术、尾气干法回收技术

来源：内蒙古大唐国际多伦煤化工公司2011-07-04

经取样分析，精馏装置加压塔和常压塔产品采出合格，产品质量达到gb338-2004国家标准，且三甲胺含量符合鲁奇工艺要求，多伦煤化工公司自产精甲醇产品达到了向mtp装置供料生产的要求。

来源：中国新能源网2011-06-16

该技术成熟于上世纪70年代，在沉寂近20年后，伴随光伏产业的发展，世界各国均对该技术进行二次创新，如中硅高科突破了大型低温氢化技术、大型节能还原炉技术、高效加压精馏提纯技术、高效加压三氯氢硅合成技术、尾气干法回收技术