来源：北极星太阳能光伏网（独家）2014-06-27

孙云：除了硅原料之外，我认为晶硅电池生产并不是整个产业链都有污染，例如组件封装生产环节几乎就没有污染，扩散过程酸碱清洗、腐蚀制绒、刻槽等工艺会用到一些酸碱性的东西，在排放前需要处理，但还是要比薄膜电池有更大地投入加以防范

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2014-01-02

北极星太阳能光伏网总结了12月31日要闻回顾，工信部公布光伏制造行业109家准入企业名单（表）、北极星编辑推荐（二十九）：十大硅片制绒清洗设备企业、英利、中电电气、昱辉进军电商领域等，详情如下：工信部公布光伏制造行业

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-31

北极星太阳能光伏网编辑按照已知销售商数量(非静态指标)列出了国内前十名硅片制绒清洗设备企业，仅供参考。...公司自主产品主要有全自动硅芯/硅棒/硅料/硅片清洗设备 、自动硅片脱胶设备、自动单/多晶硅链式制绒清洗设备、自动去磷硅玻璃清洗设备、自动石英管清洗设备、自动石墨舟清洗设备、非晶硅玻璃基片清洗设备等等。

来源：北极星太阳能光伏网2012-11-21

七星电子应用在超大规模集成电路硅片制程的铜互连工艺阶段的300mm 65nm铜互连清洗设备，其设备技术指标已达到国际同类产品先进水平。...北京七星华创电子股份有限公司(以下简称七星电子)是国内知名电子专用设备供应商，是我国最早的半导体设备研制企业，是我国第一台半导体扩散炉、第一台等离子刻蚀机、第一台气体质量流量控制器研制企业，也是我国最早的半导体清洗设备研制企业

来源：工控网2012-07-02

我国光伏电池制造设备的技术水平首先，在湿法腐蚀、清洗设备、扩散方面，主要是自动制绒设备、自动清洗设备、全封闭扩散炉、刻蚀机、去psg设备等国内已经能够制造，已经达到世界先进水平，且性价比优势十分明显;国产

来源：中国电子报2012-02-24

，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存但份额正逐步增大

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-20

清洗/制绒设备：单晶硅光伏电池槽式基本国产，多晶硅电池连续式进口居多当前环境下，国内清洗设备企业正直面生存和发展的问题。

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-25

这套工艺是比较复杂的，先是把切成一小片的硅片用酸液或碱液把表面做腐蚀处理，然后高温通入pocl3（三氯氧磷）、n2（氮气）在规片上形成pn结，然后再在硅片上刻蚀，刻出可以丝印的小槽，清洗干净后镀膜，最后把电极印刷上去

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-23

除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外，电池制造工序涉及清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等环节。美国gtsolar公司在多晶硅设备行业耕耘多年。

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-21

在未来3-5年内，进一步支持大尺寸、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备的国产化，支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式pecvd，激光刻蚀机，全自动印刷机等晶硅电池生产线设备和

来源：《光伏信息报》2011-11-14

、全自动硅料清洗设备、全自动硅片清洗设备、全自动单晶制绒酸洗综合设备、多晶链式制绒设备、湿法刻蚀设备、等离子体刻蚀机、pecvd、非晶硅玻璃基片清洗设备等。

来源：中国电子报2011-07-14

除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外，最关键的工序为电池制造，它包括清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等。...同国际先进水平相比，国产太阳能电池生产设备最关键的几种设备中，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机等达到或接近了国际先进水平，占据了国内绝大部分市场，性价比优势十分明显。

来源：搜狐IT2011-06-16

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

将先进的生产工艺及时物化在新设备中1.国产晶硅太阳能电池设备的发展不够平衡从整个晶硅太阳能生产产业链来看，国产单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉、线切方机、单晶槽式清洗/制绒机等设备已经接近或达到国际先进水平，

来源：国际新能源网2011-05-10

除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外，电池制造工序涉及清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等环节。 美国gtsolar公司在多晶硅设备行业耕耘多年。

来源：中国电子报2009-03-19

，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式化学气相淀积设备pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存且份额正逐步增大

2006-09-05

北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司总经理盛金龙告诉记者，我们国家的半导体设备尤其是主要设备，既要在诸如曝光、刻蚀和离子注入等关键设备上实现突破，也要关注诸如氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备