来源：PV-Tech2012-06-01

我们正在用我们的机器为一少部分客户处理样品硅片，并就未来订购测试版设备的可能性进行探讨。...amtech的中国分公司凯世通半导体有限公司(kingstonesemiconductor)，在snec展会上介绍了这款离子注入系统。

来源：环球企业家2012-05-11

去年年底，应用材料收购了维利安，获得了维利安的离子注入技术。维利安开发的用于n型太阳能电池的硼离子注入技术，帮助电池转换效率突破了20%。...应用材料全球销售蒋安邦介绍，二次印刷技术的升级，使得每台设备增加4mw的产能。相较于老设备，新设备价格增加了，但带来的产出增幅更大，光伏制造商愿意接受技术升级后的设备。

来源：环球企业家2012-05-10

去年年底，应用材料收购了维利安，获得了维利安的离子注入技术。维利安开发的用于n型太阳能电池的硼离子注入技术，帮助电池转换效率突破了20％。...应用材料全球销售蒋安邦（johnantone）介绍，二次印刷技术的升级，使得每台设备增加4mw的产能。相较于老设备，新设备价格增加了，但带来的产出增幅更大，光伏制造商愿意接受技术升级后的设备。

来源：中国科学院2012-05-10

微电子所微电子设备研究室（八室）夏洋研究员带领的研究团队原创性地提出利用等离子体浸没离子注入技术制备黑硅材料。...通过对黑硅结构进行优化，并且对生产线电池配套工艺进行改进，在全国产设备生产线研发出多晶黑硅太阳能电池（156mm156mm，多晶），批量平均效率高达17.46%，最高可到17.65%。

来源：Solarbe2012-04-09

未来比较有希望的技术包括，两次印刷，选择发射极，离子注入，mwt和perc。随着电池的复杂度增加，对于工艺监控和检测的要求也必将提升。...许洪华教授说，目前我国的核心设备和高纯硅仍然依赖进口，所以发展核心设备、材料、器件和系统的国产化是未来的重点之一。随着中国装机量的逐年上升，国内市场开始启动，对于产业的发展是利好消息。

来源：PV-Tech2012-03-31

新技术、新材料(比如准单硅片)和新工艺必不可少，这就需要高科技设备，比如离子注入工具和非晶硅沉积工具。...该报告晶体硅光伏：技术、设备和材料认为c-si部门正迎来变革的时代，为集中开发高产出技术关闭了低效率生产运营。

来源：solarF阳光网2012-03-30

为了提高转换效率，新技术、新材料(如类单晶硅片)和生产工艺成为必备之物，这就需要更先进的生产设备，如离子注入和非晶硅沉淀。...针对2011-2017年可能出现的主要光伏企业给予了预测，因为这些企业有可能成为新设备的潜在买家。

来源：中达电通股份有限公司2012-02-21

日前，成都嘉石科技建设的物联网高端制造核心项目提出了对厂区光刻设备和离子注入设备提供不间断电源供电保护，台达ntups电源以其完美的解决方案为其项目提供电力保障。

来源：PV-Tech2011-11-21

公司还表示将在明年的上海snec展会上推出新的离子注入工具，今年晚些时候还将推出一种新的太阳能电池扩散工具以及其它产品来扩大公司的太阳能产品系列范围。...然而，第四季度太阳能部门新增设备订单放缓到470万美元，总订单为1680万美元。amtech指出太阳能光伏制造扩容已经计划开始放缓，订单量已经缩减。

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-15

此次收购使应用材料公司获得了维利安公司市场领先的离子注入技术。...应用材料公司和维利安公司的结合将使我们成为晶体管技术的行业领导者，能够与客户携手合作，为更小、更快的节能移动设备寻找多种创新解决方案。

来源：PV-Tech2011-09-07

这家位于麻省的公司指出，他们的许多客户现在都在同时全面运行多个设备，而且该公司还在不断地收到老客户发来的订单。维利安的沙立昂设备使用的是将掺质剂导入半导体原料的离子注入技术，而不是简单的扩散参杂。

来源：北极星太阳能光伏网2011-09-01

从事太阳能装备技术行业多年的上海凯世通半导体有限公司总经理陈炯在创办企业之初，就将专注点放在了这一关键技术突破上，离子注入技术30多年来没有被充分利用，其原因就是制成设备难度系数过高，投入过多，我们就是要突破这层阻碍

来源：北极星电力新闻网2011-05-09

不过，这并非是应用材料公司第一次涉足离子注入设备市场。应用材料曾在这一领域与维利安半导体分庭抗礼，但最终落败将市场第一拱手让出，并于2007年停止了离子注入设备业务。

来源：索比太阳能2011-04-19

4月14日在德国柏林举办的photon第六届光伏生产设备大会上，先进技术和设备革新成为了会议的主题。 德国光电中心的首席技术官peter fath日前陈述了他对降低光伏制造成本的两个主要因素的见解。...在他更新过的关于n-type太阳能电池的陈述中表明，这一科技的独特优势在于：它对铁等金属杂质的高免疫力有效抵御了硼氧化引起的光感应退化，它更好的弱光感应能力，以及被识别的同族硼扩散和已有的相关解决方案，例如通过离子注入

2006-09-05

北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司总经理盛金龙告诉记者，我们国家的半导体设备尤其是主要设备，既要在诸如曝光、刻蚀和离子注入等关键设备上实现突破，也要关注诸如氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备

2006-12-27

这是我国国产主流集成电路核心设备首个大单，打破了8英寸以上集成电路核心设备全部被外国企业垄断的局面。 　　...　　2.集成电路关键装备在京实现重大突破填补国家空白 　　——100纳米刻蚀机与离子注入机首次签出亿元大单 100纳米刻蚀机 　　9月，北京北方微电子公司和中科信公司承担的国家100纳米刻蚀机与离子注入机设备攻关项目顺利通过国家验收

来源：《中国电子报》2007-03-14

“十一五”期间，我们要积极开发90nm、60nm乃至45nm的高速、低功耗芯片和新型硅基集成电路的制造工艺技术，研究新型的光刻及离子注入技术，缩小技术差距。...在6-8英寸用光刻机、刻蚀机、离子注入机、立式扩散炉、快速热处理设备，氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备、划片机、键合机、集成电路自动封装系统等设备实用化的基础上，提供批量供应。