来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-14

1997年，日本三洋公司推出了一种商业化的高效电池设计和制造方法，电池制作过程大致如下：利用pecvd在表面织构化后的n型 cz-si片的正面沉积很薄的本征-si:h层和p型-si:h层，然后在硅片的背面沉积薄的本征

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-08-08

细看，才发现，原来3月20日的主要是cvd反补贴：政府对企业生产行为的财务支持;而5月17日的主要是ad反倾销：低于市场合理价位。

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-03

现在由centrotherm和roth & rau(现在为meyer burger的分公司)主导的c-si pecvd工具市场在2011年达到了8.8亿美元。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-07-30

目前制备多晶硅薄膜电池多采用化学气相沉积法，包括低压化学气相沉积(lpcvd)和等离子增强化学气相沉积(pecvd)工艺。此外，液相外延法(lppe)和溅射沉积法也可用来制备多晶硅薄膜电池。

来源：阿里巴巴2012-07-20

中国led业者先前大手笔购置mocvd机台，近期见市况稍稳，产能陆续开出，其中尤以中国最大led业者三安光电最为积极，业者所指中国低功率led磊晶抢市，讲的主要就是三安光电切入台湾封装客户，业界指出，三安在低功率芯片上的性价比逐渐提升

来源：新产业2012-07-20

2011年5月，富士康子公司奇力光电在佛山南海投资led外延芯片，计划3年内引入50台mocvd(led外延片生产设备)，今年将正式投产。

来源：PV-Tech2012-07-18

现在由centrotherm和roth&rau(现在为meyerburger的分公司)主导的c-sipecvd工具市场在2011年达到了8.8亿美元。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-07-16

公司主要产品有：多晶硅生产设备和服务gt 提供操作高效和低成本的 cvd 反应器所需的全套多晶硅生产设备，以及生产高质量多晶硅所需的相关工程服务。我们基于西门子技术的 sdr?

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-07-13

我们要强调不同国家之间做贸易的时候要合作，要谈判，但是如果没有这些基本原则遵守的话，美国对太阳能电池双反进行调查了，中国就会对他们贸易壁垒进行调查，中国也会对多晶硅进行ad和cvd方面的调查，所以中国也会对多晶硅进行反倾销的调查

来源：工控网2012-07-02

但是，全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd仍然依赖进口。目前国内光伏电池注流建线方案为国产和进口设备混搭，基本以国产为主。设备投资方面，一条25mw的标准生产线需34006000万元。...但它的自动化程度(自动装卸片)不如进口设备(进口设备如德国centrotherm公司产品，售价是国产设备的三倍左右)，平板型pecvd目前国内已有企业生产，有待进一步验证;第三，国产丝网印刷机(只有手动

来源：OFweek太阳能光伏网2012-06-28

在做出初步反补贴税(cvd)裁决三个月后，据报道，美国商务部(doc)已经提高中国太阳能光伏生产商的反补贴税率，中国太阳能光伏生产商向美国出口太阳能电池将须缴纳更高的反补贴税。

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-28

精制sihcl3进入cvd还原炉生成多晶硅，还原尾气进入干法回收系统，分离出h2和hcl，之后再进入精馏系统，分离出sicl4，得到精制sihcl3。

来源：PV-Tech2012-06-27

natcore指出，这5家公司以使用等离子增强化学气相沉积(pecvd)来在其产品上沉淀薄膜著称。该公司将使用在纽约rochester研发中心的ar-box来完成测试。

来源：solarzoom2012-06-11

摘要：本文采用pecvd技术沉积本征非晶硅薄膜，研究少子寿命随本征层厚度、沉积气压、射频功率、氢稀释度以及硅片清洗工艺的变化规律。结果表明：本征层厚度要适中。...2实验实验采用pecvd技术，在单晶制绒硅片上双面沉积本征非晶硅层。所用硅片为5英寸n型cz片，晶向为(100)，电阻率0.5～3cm，厚度约200~220m。

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-04

电池以p型fz2si作为衬底,正面制作随机金字塔绒面,并通过pecvd沉积双层sinx薄膜,以起到减反射和表面钝化作用。电池背面利用局部激光烧蚀技术,烧蚀成高低不同、呈叉指状交叉排列的两片区域。

来源：PV-Tech2012-06-01

此外，amtech还表示，由子公司tempresssystems推出的管型pecvd产品可以帮助针对太阳能市场的子公司将规模扩大一倍。...本月早些时候中国上海举办的第六届国际太阳能行业和光伏展览会议(6thinternationalsolarindustryandphotovoltaicexhibitionandconference)上，其新型离子注入机和pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-30

三洋双面hit电池结构图晶硅/非晶硅异质结结构：增加开路电压，提高转换效率光伏技术：hit电池工艺制程1.硅片清洗制绒2.正面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和p型非晶硅薄膜3.背面用pecvd制备本征非晶硅薄膜和

来源：中国电子报2012-05-29

近年来，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-29

另外，许多著名pecvd厂商也在为如何提升自身的竞争力殚精竭虑，例如，著名管式pecvd厂商centrotherm就推出了centaurus技术，平板式pecvd厂商roth&rau也依据平板式镀膜的优势而推出了异质结结构

来源：日经电子2012-05-29

利用以sih4为原料的等离子cvd进行成膜时，等离子产生的高硅烷(hos簇)会进入膜中，引起光劣化。因此，日本产综研将等离子cvd反应器内用网状金属隔开，使等离子区远离基板。