来源：中自网2013-08-30

它是新一代触屏智能机和机器人程序的福音，它能改善人机交互，生物成像和光学微机电系统(mems)等等。物联网机器人不像人的其他四个感官视觉，听觉，嗅觉和味觉在实验室中，触觉依然很顽固地难以被模仿。

来源：hc3602013-08-15

就单一的传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小;就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件

来源：上海辰汉电子2013-08-13

通过连接感知层的传感器、射频(rfid)、微机电系统(mems)、智能嵌入式终端，物联网网关的应用将遍及智能交通、环境保护、政府工作、公共安全、平安家居、智能消防、工业监测、环境监测、路灯照明管控、景观照明管控

来源：工控网(百站)2013-08-13

就单一的传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小;就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件

来源：赛迪网2013-08-12

就单一的传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小;就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件

来源：中国物流产品网2013-08-05

3.微机电系统(mems)微机电系统是指利用大规模集成电路制造工艺，经过微米级加工，得到的集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

来源：电气自动化技术网2013-07-16

重点发展高端传感器、mems(微机电系统)、智能传感器和传感器网节点、传感器网关;超高频rfid()、有源rfid和rfid中间件产业等，重点发展物联网相关终端和设备以及软件和信息服务。...欧洲智能系统集成技术平台在《物联网2020》报告中分析指出，物联网的发展将经历4个阶段：2010年之前射频识别被广泛应用于物流、零售和制药领域;2010年至2015年，实现物体互联;2015年至2020

来源：21ic2013-06-21

这款全新的联网系统包含adis16229 isensor无线振动传感器节点，它结合了双轴数字mems(微机电系统)加速度感测与先进的频域和时域信号处理技术。...adi最近推出一款无线振动感测系统，可让工业系统操作人员远程监控生产设备的健康状况，提高系统性能并降低维护成本。

来源：电子设计工程 李娜2013-04-28

现在的无线网络已经集成了网络技术、嵌入式技术、微机电系统(mems)及传感器技术并将internet从虚拟世界延伸到物理世界，从而将信息世界与人们生活的真实世界融合在一起，改变了人与自然交互的方式，满足了人们对无处不在的网络的需求

来源：北极星电力软件网2012-11-06

cmos工艺、接收灵敏度优于-100dbm、输出功率在-10～3dbm范围、最大功耗为25ma且支持消耗电流小于5a的低功耗监听模式的微波频段rfid标签/读写器芯片；基于cmos工艺的压力/加速度/陀螺仪微机电系统专用芯片等

来源：中电新闻网2012-06-08

目前，我国无线射频识别rfid产业市场规模超过100亿元，传感器生产和应用市场规模超过900亿元，仅微机电系统mems传感器市场规模就超过150亿元;通信设备制造业建成全球最大、技术先进的公共通信网和互联网

来源：中国高新技术产业导报2012-03-22

8.特种工艺与精密制造技术多维精密加工工艺，精密成型工艺，焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，微机电系统(mems)技术，精确可控热处理技术，精密锻造技术等。...2.智能控制系统现场总线分散型控制系统(fcs)、大规模联合网络控制系统、高端可编程控制系统(plc)、面向装备的嵌入式控制系统、功能安全监控系统。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-20

所有研发工作同步进行，专案合作方将寻求最佳化太阳能发电系统电力利用率的方法，以半导体矽电池面板的功率管理元件和集中式太阳能电池的微机电系统为研发重点。

来源：新华网2012-03-07

所有研发工作同步进行，项目合作方将寻求优化光伏系统电能利用率的方法，以半导体电池光伏板的功率管理器件和集中式太阳能电池的微机电系统为研发重点。

来源：电子产品世界2012-03-02

所有研发工作同步进行，项目合作方将寻求优化光伏系统电能利用率的方法，以半导体电池光伏板的功率管理器件和集中式太阳能电池的微机电系统为研发重点。

来源：中国证券网2012-02-15

全国有1600多家企事业单位从事传感器的研制、生产和应用，年产量达24亿只，市场规模超过900亿元，其中， 微机电系统(mems)传感器市场规模超过150亿元;通信设备制造业具有较强的国际竞争力。

来源：工业和信息化部2012-02-14

全国有1600多家企事业单位从事传感器的研制、生产和应用，年产量达24亿只，市场规模超过900亿元，其中, 微机电系统(mems)传感器市场规模超过150亿元;通信设备制造业具有较强的国际竞争力。

来源：C114中国通信网2012-02-09

1.微机电系统(mems)微机电系统(microelectromechanical systems，缩写为mems)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。

来源：互联网2011-11-30

广东省经信委、工信部电子工业标准化研究所、中科院微电子所、机械工业仪表所、浙江聚光科技有限公司、河南汉威电子股份有限公司等代表分别就区域物联网产业发展经验、国内外物联网标准化工作进展情况、微机电系统公共技术平台建设

来源：中国传动网2011-10-24

，以及工业综合型分散控制系统(dcs)、微机电系统(mems)、现场总线控制系统(fcs)等高端系统，建成国家数字化仪器仪表的重要研发和生产基地。