来源：Solarzoom2013-12-18

美国natcore technology inc.近日宣称在研发一种激光加工技术，以替代太阳能电池工艺中的高温扩散炉。该企业认为该计划有望削减与扩散炉相关的能源与化学材料的成本。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-03

扩散炉内输送硅质晶片和镀膜机内输送玻璃基板用的石英陶瓷辊，玻璃水平钢化炉用石英陶瓷辊，浮法玻璃窑炉用过渡辊，退火辊及其它构件等数十种陶瓷产品。...北极星太阳能光伏网编辑按照已知销售商数量(非静态指标)列出了国内前十名石英坩埚企业，仅供参考。

来源：红网2013-07-31

该公司先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案

来源：深圳市大族光伏科技股份有限公司2013-05-22

除展出增加了多项新技术的领先主打产品系列扩散炉和pecvd外，大族光伏首次对外公布了2014年的技术发展路线图，使公司新一代光伏设备领航者的定位更加清晰和被行业认可。...北极星太阳能网的相关领导也在展会现场为大族光伏举行北极星杯十佳光伏设备企业第一名授牌仪式，成为当天展馆内的聚焦亮点。

来源：中国证券网2013-04-02

值得注意的是，目录中新增了诸多太阳能光伏电池生产设备及关键零部件，分别是：太阳能级单晶炉(投料量150kg)、太阳能级多晶铸锭炉(一次投料量800kg)、扩散炉(多晶、单晶，尺寸：156mm156mm)

来源：PV-Tech2013-04-01

其中新增的太阳能电池生产设备包括：太阳能级单晶炉(投料量150kg)、太阳能级多晶铸锭炉(一次投料量800kg)、扩散炉(多晶、单晶，尺寸：156mm156mm)、铜铟镓硒(cigs)薄膜太阳能电池硒化

来源：北极星太阳能光伏网2012-12-25

多晶硅铸锭炉、多线切割机等设备制造技术取得重大进步，打破国外产品的垄断，有些设备开始出口，如扩散炉、层压机等。...其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已达到或接近国际先进水平，性价比优势十分明显。

来源：中国电子报2012-12-04

他们很快推出高温扩散炉和等离子体刻蚀机，并连续多年取得国内市场占有率80%的佳绩。在此基础上他们乘胜追击，开发成功太阳能电池制造7道主要工序的所有工艺设备，市场覆盖全国，并出口20个国家和地区。...按照国际惯例，关键设备研发投入是设备价格的10倍，绝大部分投入必须依靠企业自身的努力。48所正是依靠太阳能电池大生产线，很快提升了企业的资金实力，在国家和企业的双重投入下，大大加快了设备的研发进度。

来源：北极星太阳能光伏网2012-11-21

北京七星华创电子股份有限公司(以下简称七星电子)是国内知名电子专用设备供应商，是我国最早的半导体设备研制企业，是我国第一台半导体扩散炉、第一台等离子刻蚀机、第一台气体质量流量控制器研制企业，也是我国最早的半导体清洗设备研制企业

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-11-07

经过多年的努力，扩散炉已经在国内光伏行业形成了固有市场，成了能够替代进口的产品，卧式扩散炉与国外差距已很小。随着中国光伏产业近年来的高速发展，扩散设备是太阳能光伏电池生产线的必备的重要设备之一。

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-30

④ 扩散炉和刻蚀机采用从48所订制的半导体级产品，扩散后有特殊处理。...图片来源：尚德冥王星白皮书尚德为了量产化pluto电池，收购了德国一家大型机械厂商库特勒公司(电路印刷板制造机器行业的领军企业之一)，进行大部分设备的自主设计和改造。

来源：工控网2012-07-02

目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、光伏组件的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机

来源：中国电子报2012-05-29

近年来，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案

来源：华伯仪器2012-05-25

华伯仪器已为太阳能电池厂商做扩散炉的改造升级，安装该系统可使电池转换效率得到提升，实际使用有客户效率上升0.1%以上。...华伯仪器最新发明专利的炉膛气氛稳定系统使中国拥有了全球最先进的扩散设备技术，该技术大幅降低了高方阻扩散的极差，为80方块电阻以上的扩散工艺解决了设备瓶颈，该技术的推出使华伯仪器拥有了世界上最先进的扩散炉设备

来源：中国电子报2012-02-24

目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-20

目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、光伏组件的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机

来源：仪表网2012-01-12

譬如，国内工控机龙头厂商研祥集团，在光伏领域的研发应该是较为成功的企业之一。多晶硅生长炉、扩散炉、清洗机、分选机等工序上，也都能看到研祥的模块板卡、组态软件、人机界面、交换机等自动化设备。

来源：光明日报2012-01-04

集团还自主创新开发了全自动槽式多晶植绒设备,高方阻软着陆扩散炉,大尺寸高均匀性pecvd,高分辨率全自动印刷机等核心设备,拥有多项技术专利和完全自主知识产权,2010年被国际权威审计机构德勤评为,中国高科...(600730,股吧)技、高成长企业50强第一名,并名列2010亚太高科技高成长企业500强前列。

来源：北极星太阳能光伏网2011-12-15

据董秘徐加力表示："七星电子光伏设备源于公司核心的半导体集成电路设备工艺技术，产品的技术水平和工艺稳定性方面具有很强的竞争力，并且产品并不局限于单晶炉等长晶设备，而是以扩散炉、pecvd、清洗机等工艺设备为主

来源：PV-Tech2011-10-26

其中刻蚀机、磷扩散炉和电浆辅助化学气相沉积炉单机部分采用了rena、centrotherm的相关设备，其余单机部分及生产线的串联由广运机械自行规划设计。...电池生产系统包括硅片检测机、蚀刻机、磷扩散炉、电浆辅助化学气相沉积设备、双次丝网印刷设备、快速烧结炉、iv检测及分类机，以及texture至pecvd各主机衔接的装载、卸载设备。