来源：北极星环保网2016-09-26

)、绝缘栅双极型晶体管(igbt)、图像传感器等特色工艺和芯片模块产品;研发光刻机、刻蚀机、铜制程等关键制造装备整机和核心零部件,以及硅基晶圆等基础材料,支持开展量产验证,形成供货能力;突破后摩尔时代微电子新材料...发挥产业基金推动作用;自主发展各系列的cpu产品,形成自主芯片开发、升级和应用的核心能力;加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统(mems

来源：北极星电力网2016-09-26

)、绝缘栅双极型晶体管(igbt)、图像传感器等特色工艺和芯片模块产品;研发光刻机、刻蚀机、铜制程等关键制造装备整机和核心零部件,以及硅基晶圆等基础材料,支持开展量产验证,形成供货能力;突破后摩尔时代微电子新材料...发挥产业基金推动作用;自主发展各系列的cpu产品,形成自主芯片开发、升级和应用的核心能力;加快推进新建12英寸生产线建设,支持16/14纳米工艺量产及10纳米先导工艺技术研发,发展嵌入式闪存、微机电系统(mems

来源：中国智能制造网2016-09-22

主要有以下几种：mems传感器：在维持飞行控制中起到关键的作用。多轴磁传感器：维持方向和飞行路径的关键。多轴磁传感器可通过感知方向将数据传输至中央处理器，从而指示方向和速度。

来源：搜狐中翼网2016-09-12

像任天堂wii控制器或iphone屏幕位置，这些小的mems传感器在维持飞行控制中起到关键的作用。mems加速度传感器有多种方式感知运动姿态，一种类型的技术能够感知微型集成电路的微小运动。

来源：中国智能制造网2016-09-08

其中，传感器间的联动、环境感知、场景联动将成为未来智能家居向用户提供智能化服务的重要技术基础，mems传感器技术作为智能家居领域产品的关键技术，将提供高性能、低成本的技术解决方案，将加速智能家居领域产品的快速发展

来源：北极星太阳能光伏网2016-08-10

开展新型光通信器件、半导体照明、高效光伏电池、mems（微机电系统）传感器、柔性显示、新型功率器件、下一代半导体材料制备等新兴产业关键制造装备研发,提升新兴领域核心装备自主研发能力。

来源：车云网2016-08-02

比如能够为自动驾驶提供3d定位的惯性传感器与气压传感器，惯性传感器负责检测水平方向变化，而气压传感器则可以用来检测车辆高度的变化；再比如用在主动安全系统中的各式各样mems传感器。

来源：华夏幸福基业股份有限公司2016-05-10

单分子传感器2010年，美国莱斯大学利用石墨烯量子点，制作单分子传感器。莱斯大学将石墨烯薄片与单层氦键合，形成绝缘体的石墨烷。...这一技术可用来制作化学传感器、太阳能电池、医疗成像装置或是纳米级电路等。

来源：华泰证券研究所2016-03-23

盾安环境坚持高端智能制造转型升级，在布局mems传感器、人机协作机器人的基础上，进一步向新能源汽车热管理系统拓展。我国新能源汽车产业2015年进入成长期。...公司传感器+机器人+新能源车的高端智能制造板块初步成形，将带来业绩高弹性。盾安环境截止阀、电子膨胀阀等产品市场占有率国际领先。

来源：北极星输配电网2016-03-23

算法的低功耗智能传感器，再到传感器模块，最终实现到传感器融合系统解决方案的垂直整合。...苏州明皓市场经理朱佳鑫表示，在传感器智能化以及传感器厂商向解决方案供应商靠拢的趋势下，明皜传感也开始向传感器中枢（sensorhub）产品进军；明皜传感的策略是以惯性传感器为核心，逐步扩大到配合sensorhub

来源：中国证券网2016-03-23

作为国内最早的mems公司，苏州敏芯一直专注mems麦克风，并在去年推出了基于压力传感的压力触控传感器。...矽睿科技cto万虹表示，矽睿科技借助独立开发的专用mems生产工艺、asic团队及算法团队保证了产品在性能和成本上的竞争力，目前产品线包括mems磁传感器、加速度计、陀螺仪以及传感器融合模块。

来源：仪器信息网2016-03-02

珠三角区域：以深圳中心城市为主，由附近中小城市的外资企业组成以热敏、磁敏、超声波、称重为主的传感器产业体系。东北地区：以沈阳、长春、哈尔滨为主，主要生产mems力敏传感器、气敏传感器、湿敏传感器。

来源：仪器信息网2016-02-25

新产品拥有和上代产品一样的迷你外形，但其内部使用了新研发的高灵敏度cmos图像传感器，灵敏度比以往产品高出两个量级，并可满足各种需在暗环境下进行光谱测量的应用需求。...除了该类微型光谱仪以外，滨松的mems-ftir(mems傅里叶变换红外光谱)、mems-fpi(mems布里珀罗腔型近红外光谱探测器)等微型化产品也都受到了高度的关注。

来源：仪器信息网2016-02-18

5.微机电系统技术以微米、纳米加工技术为基础制造的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微机电系统(mems)技术等。...八、先进制造与自动化(三)高性能、智能化仪器仪表1.新型传感器采用新原理、新材料、新工艺、新结构，具有高稳定性、高可靠性、高精度、智能化的新型传感器技术;新型电子皮肤传感器技术等。

来源：北极星环保网2015-12-11

盾安环境在mems传感器产业的研发实力和产研结合发展,打造公司mems传感器从芯片研发设计到封装测试以及系统集成的综合竞争能力,加速传感器发展,盾安环境决定

来源：巨灵信息2015-12-10

2015年12月10日公告,公司在mems传感器产业的研发实力和产研结合发展,打造公司mems传感器从芯片研发设计到封装测试以及系统集成的综合竞争能力,加速传感器发展,公司决定投资设立盾安传感科技(苏州

来源：北极星输配电网整理2015-12-03

当前业内研发生产的mems传感器、sic变流器、高频化变流器、电力电子变压器等新型输配电产品，在轨道交通建设中都较受肯定。但轨道交通也对输配电产品提出了新的要求。...宋政湘介绍，新型电力互感器研究的核心是不同的陈列拓扑下磁场与产生它的电流之间的映射关系以及磁场电流反演算法。在传感器的非接触温度测量方面，红外技术逐渐被推广应用。

来源：中国电力报2015-12-03

mems传感器功耗低、可靠性高、成本低，易于集成和实现智能化张学志在演讲中介绍，它可以实现某些传统机械传感器所不能实现的功能，对于轨道交通较复杂的建设环境来说是比较理想的应用。

来源：中关村在线2015-11-20

中国的歌尔声学(002241,股吧)、瑞声科技和美新半导体无锡有限公司已进入全球mems传感器供应商前50强，前两者分别是全球第二和第四大mems麦克风供应商，出货量占2014年全球市场的25%；汇顶科技的隐藏式指纹识别传感器技术已引起全球关注

来源：经济日报2015-11-17

延伸阅读：环境监测将成为mems传感器的发展新方向pm2.5传感器哪种强激光还是红外？...此外，我国传感器行业整体缺乏创新的基础和动力，特别是在敏感元件核心技术及生产工艺方面差距较大，目前传感器进口约占60%，传感器芯片进口占比近80%，物联网使用的mems（微机械加工）传感器全部依赖进口。