来源：北极星输配电网2016-03-23

据ihs2015年11月份数据，消费和移动电子市场仍然是驱动mems增长的龙头，不但在总的mems市场中所占份额最大，其年复合增长率（2014-2019）达到了13.4%，相比之下同期总的mems市场年复合增长率则为

来源：中国证券网2016-03-23

作为国内最早的mems公司，苏州敏芯一直专注mems麦克风，并在去年推出了基于压力传感的压力触控传感器。...矽睿科技cto万虹表示，矽睿科技借助独立开发的专用mems生产工艺、asic团队及算法团队保证了产品在性能和成本上的竞争力，目前产品线包括mems磁传感器、加速度计、陀螺仪以及传感器融合模块。

来源：仪器信息网2016-03-02

珠三角区域：以深圳中心城市为主，由附近中小城市的外资企业组成以热敏、磁敏、超声波、称重为主的传感器产业体系。东北地区：以沈阳、长春、哈尔滨为主，主要生产mems力敏传感器、气敏传感器、湿敏传感器。

来源：仪器信息网2016-02-18

5.微机电系统技术以微米、纳米加工技术为基础制造的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微机电系统(mems)技术等。...八、先进制造与自动化(三)高性能、智能化仪器仪表1.新型传感器采用新原理、新材料、新工艺、新结构，具有高稳定性、高可靠性、高精度、智能化的新型传感器技术;新型电子皮肤传感器技术等。

来源：北极星环保网2015-12-11

盾安环境在mems传感器产业的研发实力和产研结合发展,打造公司mems传感器从芯片研发设计到封装测试以及系统集成的综合竞争能力,加速传感器发展,盾安环境决定

来源：巨灵信息2015-12-10

2015年12月10日公告,公司在mems传感器产业的研发实力和产研结合发展,打造公司mems传感器从芯片研发设计到封装测试以及系统集成的综合竞争能力,加速传感器发展,公司决定投资设立盾安传感科技(苏州

来源：北极星输配电网整理2015-12-03

当前业内研发生产的mems传感器、sic变流器、高频化变流器、电力电子变压器等新型输配电产品，在轨道交通建设中都较受肯定。但轨道交通也对输配电产品提出了新的要求。

来源：中国电力报2015-12-03

mems传感器功耗低、可靠性高、成本低，易于集成和实现智能化张学志在演讲中介绍，它可以实现某些传统机械传感器所不能实现的功能，对于轨道交通较复杂的建设环境来说是比较理想的应用。

来源：中关村在线2015-11-20

中国的歌尔声学(002241,股吧)、瑞声科技和美新半导体无锡有限公司已进入全球mems传感器供应商前50强，前两者分别是全球第二和第四大mems麦克风供应商，出货量占2014年全球市场的25%；汇顶科技的隐藏式指纹识别传感器技术已引起全球关注

来源：经济日报2015-11-17

延伸阅读：环境监测将成为mems传感器的发展新方向pm2.5传感器哪种强激光还是红外？...此外，我国传感器行业整体缺乏创新的基础和动力，特别是在敏感元件核心技术及生产工艺方面差距较大，目前传感器进口约占60%，传感器芯片进口占比近80%，物联网使用的mems（微机械加工）传感器全部依赖进口。

来源：52RD2015-11-17

延伸阅读：环境监测将成为mems传感器的发展新方向pm2.5传感器哪种强激光还是红外？...上图红色圈中即为ccs811传感器芯片，它可以单独应用在手机或其它电子产品上。延伸阅读：环境监测将成为mems传感器的发展新方向pm2.5传感器哪种强激光还是红外？

来源：前瞻产业研究院2015-11-16

2015年起，韩国未来科学创造部和产业通商资源部将投资370亿韩元(约合2.26亿元人民币)用于物联网核心技术以及微机电系统(mems)传感器芯片、宽带传感设备的研发。...物联网时代，成万上亿计的传感器被嵌入到现实世界的各种设备中，如移动

来源：传感器专家网微信2015-11-06

自1990年至今，mems传感器的应用有三波演进;一开始内建在汽车的安全气囊中，而后则是用于消费性电子内部，第三波演进便是物联网崛起。而环境感测将是下一波mems传感器趋势。

来源：xjtupower2015-11-03

无线传感网技术的关键是克服节点资源限制，并满足传感器网络扩展性、容错性等要求。三是微型化，mems传感器研发异军突起。...随着集成微电子机械加工技术的日趋成熟，mems传感器将半导体加工工艺引入传感器的生产制造，实现了规模化生产，并为传感器微型化发展提供了重要的技术支撑。

来源：仪器信息网2015-10-30

）cmos图像传感器，该狭缝是利用mems干法刻蚀技术形成的，还使用了称为纳米压印的精细成型技术形成衍射光的光栅。...1.85um，光谱分辨率20nmmax.）而言，可以实现对气体（环境测量）、食品和饮料、农产品、饲料、石油化工等产品的定性检测；c12666ma微型光谱仪是去年面世的，它采用了带有狭缝的（让光通过达到传感器

来源：中国电子报2015-10-23

其中微加工技术（mems）的发展已接近成熟，国际上已开始用于大批量传感器产品的制造，国内也有数十家企业和研究单位在从事微加工技术在传感器制造方面的应用与研究工作。...近几年，随着物联网、云计算、大数据、mems、无线数据传输等技术的发展，智能手机、汽车电子、医疗电子、安防电子、智能仪表、智能化设备等产业的发展也进入了快车道。

来源：仪器信息网2015-10-22

mems-fpi近红外光谱仪结构示意图物联网、可穿戴设备等概念当下也是如火如荼，其不可或缺的推进力，也是传感器体积和性能的不断极致。...2、法布里珀罗标准具的制作，采用的是mems加工方法，从而使分光部分的体积也减小不少。3、探测器部分和分光部分被封装在了一个器件之中。综上三点，笔头大的小身板儿就诞生了。

来源：OFweek电子工程网2015-09-24

此外，根据种类的不同，全球智能传感器可划分为：流量传感器、温度传感器、压力传感器、触觉传感器、位置传感器等;传感器是建立在微电子机械系统(mems)、光学光谱、cmos等技术基础上的，其组件模式为从模拟到数字或从数字到模拟等

来源：电子工程2015-09-14

、陀螺仪传感器、喷墨打印机头传感器、baw过滤器、dlp传感器、微型热幅射测量计、时钟传感器、水探测传感器、气化学传感器、光mems(通信)传感器、开关电容传感器、片上颜色传感器、热传感器、mems flat

来源：GUOANBO微信2015-09-10

催化燃烧传感器(lel)：需要做压力补偿，现在小型化的mems工艺的压力传感器已经很成熟了，例如美国的honeywell、国内的敏芯，都有各种量程、不同分辨率和封装形式的压力传感器供应。...不同传感器的使用压力范围是怎样的？催化燃烧传感器(lel)：lel传感器是物理传感器，压力范围可以很宽，从0-2个大气压使用都没有问题。但要注意，气体压力越大，lel传感器能测的可燃气浓度就会越小。