来源：元器件交易网2014-01-06

led、微机电系统、智能传感器、新型电力电子器件以及金属有机源化学气相沉积装备的产业化进程将加速发展。我们认为《规划》的实施，对于电子元器件产业构成长期的利好。

来源：前瞻网2013-12-10

在医疗领域方面，新兴微机电系统传感器(mems)发展速度较快，表现抢眼。目前，医疗及生物医疗领域已经成为mems传感器最大的潜在市场。...机械行业将会广泛全面地应用信息技术，加快产品更新换代，提高产品技术含量，缩短与国际先进水平的差距，在机械产品中融入传感器、单片机、微处理器、plc、nc、数字通信接口以及激光等现代信息技术和高新技术，提高产品的机电一体化

来源：新华网2013-12-02

随着微机电系统的快速发展、便携式电子设备和无线传感网、物联网的广泛应用，微型化成为电子器件的重要发展方向，这就要求提供动力的器件也必须兼具小的体积和高的效率。

来源：证券日报2013-11-07

除了cmos 影像传感器芯片，mems(微机电系统)、指纹识别等与物联网密切相关的新兴高成长产品都是晶圆级封装的应用领域。

来源：中自网2013-11-06

此外，在汽车电子领域，igbt也已经代替达林顿管成为汽车点火器的首选器件;而意法半导体亚太区模拟、功率及微机电系统事业部总监宝罗尔在接受记者采访时则表示，大电流igbt也越来越多地应用到混合动力汽车的主转换器中

来源：中国工控网2013-10-23

随着半导体技术、微机电、移动通信、计算和现代网络技术的发展，诞生出了传感器网络技术，大量的、低成本的传感器节点组网使人们能够准确获取物理世界连续、直接、实时、真实的完整信息。

来源：CIOAge.com2013-09-24

在一定的阶段里，我国的信息化产业的发展将围绕重创新、抓应用、建环境、促发展、见效益，以制造业信息化行动为主线，大力发展新兴制造业和民营制造业，重点攻克深海载人潜水器、微机电系统(mems)、数据库管理系统及其应用

来源：www.cechina.cn2013-09-13

就单一的传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小;就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件

来源：中自网2013-08-30

它是新一代触屏智能机和机器人程序的福音，它能改善人机交互，生物成像和光学微机电系统(mems)等等。物联网机器人不像人的其他四个感官视觉，听觉，嗅觉和味觉在实验室中，触觉依然很顽固地难以被模仿。

来源：hc3602013-08-15

就单一的传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小;就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件

来源：上海辰汉电子2013-08-13

通过连接感知层的传感器、射频(rfid)、微机电系统(mems)、智能嵌入式终端，物联网网关的应用将遍及智能交通、环境保护、政府工作、公共安全、平安家居、智能消防、工业监测、环境监测、路灯照明管控、景观照明管控

来源：工控网(百站)2013-08-13

就单一的传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小;就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件

来源：赛迪网2013-08-12

就单一的传感器而言，微传感器是指尺寸微小的传感器，如敏感元件的尺寸从微米级到毫米级、甚至达到纳米级，主要采用精密加工、微电子以及微机电系统技术，实现传感器尺寸的缩小;就集成的传感器而言，微传感器是指将微小的敏感元件

来源：中国物流产品网2013-08-05

3.微机电系统(mems)微机电系统是指利用大规模集成电路制造工艺，经过微米级加工，得到的集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。

来源：电气自动化技术网2013-07-16

重点发展高端传感器、mems(微机电系统)、智能传感器和传感器网节点、传感器网关;超高频rfid()、有源rfid和rfid中间件产业等，重点发展物联网相关终端和设备以及软件和信息服务。

来源：21ic2013-06-21

这款全新的联网系统包含adis16229 isensor无线振动传感器节点，它结合了双轴数字mems(微机电系统)加速度感测与先进的频域和时域信号处理技术。

来源：电子设计工程 李娜2013-04-28

现在的无线网络已经集成了网络技术、嵌入式技术、微机电系统(mems)及传感器技术并将internet从虚拟世界延伸到物理世界，从而将信息世界与人们生活的真实世界融合在一起，改变了人与自然交互的方式，满足了人们对无处不在的网络的需求

来源：北极星电力软件网2012-11-06

cmos工艺、接收灵敏度优于-100dbm、输出功率在-10～3dbm范围、最大功耗为25ma且支持消耗电流小于5a的低功耗监听模式的微波频段rfid标签/读写器芯片；基于cmos工艺的压力/加速度/陀螺仪微机电系统专用芯片等

来源：北极星智能电网在线2012-06-12

公司自1982年与山东工业大学合作开发了我国第一台微机电力远动设备开始，企业进入了电力系统自动化领域。历经50多年的发展，公司已经拥有包括一个上市公司在内的16个权属企业，资产总额达24亿元。

来源：中电新闻网2012-06-08

目前，我国无线射频识别rfid产业市场规模超过100亿元，传感器生产和应用市场规模超过900亿元，仅微机电系统mems传感器市场规模就超过150亿元;通信设备制造业建成全球最大、技术先进的公共通信网和互联网