来源：沈阳众拓公司2011-09-26

，被广泛应用于pecvd、清洗、制绒工艺环节的上下片。...在工作空间内，设备的动态响应速度可以达到80m/s2,最快运行速度可以达到10m/s。

来源：21IC电子网2011-08-10

在实验前经过硅片清洗和制绒，磷扩散，等离子刻蚀，去除磷硅玻璃等工艺。实验用到的气体有sih4，nh3，n2。腐蚀溶液为hf酸。...设备上

来源：中国电子报2011-07-14

除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外，最关键的工序为电池制造，它包括清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等。...同国际先进水平相比，国产太阳能电池生产设备最关键的几种设备中，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机等达到或接近了国际先进水平，占据了国内绝大部分市场，性价比优势十分明显。

来源：搜狐IT2011-06-16

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

将先进的生产工艺及时物化在新设备中1.国产晶硅太阳能电池设备的发展不够平衡从整个晶硅太阳能生产产业链来看，国产单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉、线切方机、单晶槽式清洗/制绒机等设备已经接近或达到国际先进水平，

来源：国际新能源网2011-05-10

除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外，电池制造工序涉及清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等环节。 美国gtsolar公司在多晶硅设备行业耕耘多年。

来源：慧聪化工网2011-02-24

陶氏聚二醇醚硅片切削液能够实现更高质量的硅片切割。enlight清洗、制绒、成像和金属化解决方案，可改进太阳能电池的制造性能。...太阳能电池的效率是设备性能的首要衡量指标。电池的效率越高，成本就越低，从而实现可再生替代能源的大规模应用。

来源：中国电子报2009-03-19

，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式化学气相淀积设备pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存且份额正逐步增大

2006-09-05

北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司总经理盛金龙告诉记者，我们国家的半导体设备尤其是主要设备，既要在诸如曝光、刻蚀和离子注入等关键设备上实现突破，也要关注诸如氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备