来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-25

采用等离子体增强气相沉积法制备了双层氮化硅作为多晶硅太阳电池的减反膜，理论模拟了双层氮化硅的光学参数，实际测试情况和理论模拟吻合良好。...1引言等离子增强气相沉积(pecvd)制备氢化非晶氮化硅(sinx：h)已经成为工业太阳电池的标准工艺中一道工序。

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

在用等离子体形成的氮化硅膜的折射率与致密性没有必然的联系，并不是折射率越高致密性就一定高。这点与用lpcvd所形成的氮化硅膜是有差异的。...1.2pecvd过程中的微观过程（1）气体分子与等离子体中的电子发生碰撞，产生出活性基团和离子。其中，形成离子的几率要低得多，因为分子离化过程所需的能量较高。（2）活性基团可以直接扩散到衬底表面。

来源：光伏制造2012-04-09

待沉积的样品在等离子区域之外，等离子体不直接打到样品表面，样品或其支撑体也不是电极的一部分。...pecvd法按沉积腔室等离子源与样品的关系上可以分成两种类型：直接法：样品直接接触等离子体，样品或样品的支撑体就是电极的一部分。间接法：或称离域法。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-31

4 气液沉积法vld据资料报导，以日本tokuyama公司为代表，目前10吨试验线在运行，200吨半商业化规模生产线在2005-2006年间投入试运行。...主要工艺是：选择纯度较好的工业硅(即冶金硅)进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-27

2)气液沉积法生产粒状太阳能级多晶硅据资料报导以日本tokuyama公司为代表，目前10吨试验线在运行，200吨半商业化规模生产线在2005-2006年间投入试运行。...主要工艺是：选择纯度较好的工业硅进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-19

2012年3月，东方集成在上海某研究所成功安装了sentech si500d等离子体沉积系统。...本次的安装，体现了东方集成为客户考虑，将工作做完美的一贯宗旨;也标志着，sentech中国区等离子体刻腐蚀和沉积系统业务在与东方集成的合作中进入了飞速、稳定的发展。

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-27

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能光伏电池生产设备

来源：中商情报网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积(pecvd)、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜光伏电池生产设备。

来源：德州新闻网2012-01-31

该公司采用自主研发的等离子体化学气象沉积技术，产品光电稳定转换效率达到10%以上，今年太阳能电池产能将达到118万片，目前太阳能电池的订单已排到明年，产品直接出口欧美市场。

来源：PV-Tech2011-09-06

centrothermphotovoltaics的全资子公司fhranlagenbau将在此次展会上展示其专为cigs和非晶硅薄膜太阳能电池设计的物理气相沉积和等离子体增强化学汽相沉积卷式生产设备。

来源：全球光伏网2011-09-05

通过使用等离子体沉积实现了最长正常运行时间和最佳整体性能。此外，与市场中其他类型的pecvd相比，它具有优化的结构设计，故无需定期停机清洁腔体，确保了最长的连续运行时间。

来源：普乐2011-09-02

众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（pecvd）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。...近年来，普乐一直在做这方面的研发和生产，目前已经能在单室多片的平行模式pecvd系统中沉积出了均匀性很好的非晶硅锗薄膜了。

来源：中国能源报2011-08-31

众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（pecvd）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。...近年来，普乐一直在做这方面的研发和生产，目前已经能在单室多片的平行模式pecvd系统中沉积出了均匀性很好的非晶硅锗薄膜了。

来源：21IC电子网2011-08-10

sih4和nh3气体分别用于等离子体增强型化学气相沉积法沉积sin薄膜，为安全起见，sih4由氮气稀释至10％，nh3浓度为99．999％。...，得出了制作减反射膜，分析了氮化硅薄膜的相对最佳沉积参数和优化工艺。

来源：OFweek2011-07-05

2)气液沉积法生产粒状太阳能级多晶硅据资料报导以日本tokuyama公司为代表，目前10吨试验线在运行，200吨半贸易化规模生产线在2005-2006年间投进试运行。...主要工艺是：选择纯度较好的产业硅(即冶金硅)进行水平区熔单向凝固成硅锭，往除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中往除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，往除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分

来源：中国能源报2011-06-23

据了解，该电容整体由一组与底座垂直的石墨烯基片构成：石墨烯基片只有一个原子厚，由等离子体化学沉积而成；其基座由10纳米厚的石墨制成。米勒形象地称其为“一组600纳米高的土豆片并排站在一起”。

来源：互联网2011-03-04

kai设备是一个全自动化的pecvd(等离子体增强化学气相沉积)系统，作为行业内1.4 m2太阳能组件大规模生产的核心设备。...该系统是为非晶或微晶光伏吸收层的沉积功能所设计，是欧瑞康太阳能已验证的生产线的核心组成部分。独特的设计和plasma box专利实现了高产出和低成本。

来源：新华每日电讯2011-01-11

这类电池是在玻璃、金属或塑料等基板上沉积很薄的光电材料而制成,它在弱光条件下仍可发电,既可应用于大规模光伏电站,也可制成柔性及半透明电池、实现真正的光伏建筑一体化应用。...首台“中国造”高端薄膜太阳能电池关键生产设备在上海下线 8日,中国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在上海成功下线,这被视为中国在新能源高端装备领域取得的

来源：新华网2011-01-10

据介绍，代表第二代光伏技术的薄膜太阳能电池是在玻璃、金属或塑料等基板上沉积很薄的光电材料形成的一种太阳能电池。...2011年1月8日，我国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备--等离子体增强型化学气相沉积设备（pecvd）在上海理想能源设备公司（下文简称"理想能源"）成功下线，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面