来源：北极星太阳能光伏网2011-12-15

提高单机自动化水平和效率，增加批次装片量；设备间自动化装置的应用，减少人工干预，提高整线生产效率；配合用户进行新工艺的探索实验，进一步提高电池的光电转换效率；进一步发展适合大尺寸、薄硅片的工艺技术设备，

来源：中国自动化网2011-09-30

我们预计2011年国内的新增装...中国光伏产业走上了快速发展之路，已经掌握了包括太阳能电池制造、多晶硅生产等关键工艺技术，设备及主要原材料逐步实现国产化，产业规模快速扩张，产业链不断完善，制造成本持续下降，具备较强的国际竞争能力。

来源：索比太阳能2011-04-12

下游由装嵌电池模块和销售太阳能发电系统这两个环节构成。 光伏产业的结构特点表现为典型的金字塔模式：即上游的企业数量较少，从事中游业务的企业数量远比上游多，而下游企业的数目最多。...尚普咨询行业分析师程龙贤认为，中国光伏产业走上了快速发展之路，已经掌握了包括太阳能电池制造、多晶硅生产等关键工艺技术，设备及主要原材料逐步实现国产化，产业规模快速扩张，产业链不断完善，制造成本持续下降，

来源：中国电子报2009-03-19

因此，未来设备的技术发展将始终围绕着以下几方面进行：提高单机自动化水平，增加批次装片量，提高单机生产效率；设备间机械手自动转送，在线检测，提高整线生产效率，减少人工干预，降低碎片率；将更先进的工艺技术物化于设备

2006-09-07

微电子机械系统（mems）技术是在微电子器件制造工艺技术基础上进一步融入微机械加工技术，并把两者结合起来的微制造技术，加工尺度在微米、纳米级。...智能化 　　仪器仪表产品智能化主要归结于微处理器和人工智能技术的发展与应用。 　　

2006-03-16

京东方、上广电、深天马等tft-lcd生产线的投资建设，也将为半导体设备的应用提供更广阔的市场空间。 　　...在去年年初，novellus把第一台sabre 300mm铜电镀设备装运到一家领先的中国代工厂。