来源：产业前沿2016-10-19

就拿心率检测来说，村田创新的模块化方案结合了加速度mems传感器、信号处理和无线模块，可以无接触地测量病人躺在床上的心脏冲击扫描信号。...国内企业的产品主要集中在低端的压力、温度、应变片等低附加值产品，近年内有几家企业开始mems产品的生产，其中麦克风产品势头发展较好，但其他如压力、加速度、陀螺等也是比较低端的产品。

来源：环球表计2016-10-18

rfid、mems新型传感器技术、微型传感技术、保证传感器量值的准确可靠。要加强远程传输、远传校准、扁平校准等新计量测试技术的研究。实现物联网信息化智能制造。

来源：NE电气2016-09-30

电气工程与物理科学间的紧密联系与交叉仍然是今后电气工程学科的关键，并且将拓宽到生物系统、光子学、微机电系统(mems)。21世纪中的某些最重要的新装置、新系统和新技术将来自上述领域。3、快速变化。

来源：北极星环保网2016-09-26

,发展嵌入式闪存、微机电系统(mems)、绝缘栅双极型晶体管(igbt)、图像传感器等特色工艺和芯片模块产品;研发光刻机、刻蚀机、铜制程等关键制造装备整机和核心零部件,以及硅基晶圆等基础材料,支持开展量产验证...根据行动纲要，上海将重点发展节能环保等十一个领域，其中节能环保领域提到，开发城镇污水箱式处理系统和高浓度难降解工业废水成套处理装备,发展大型垃圾焚烧设施炉排系统和垃圾渗滤液处理技术,研发整合土壤修复工艺及技术成套装备

来源：北极星电力网2016-09-26

,发展嵌入式闪存、微机电系统(mems)、绝缘栅双极型晶体管(igbt)、图像传感器等特色工艺和芯片模块产品;研发光刻机、刻蚀机、铜制程等关键制造装备整机和核心零部件,以及硅基晶圆等基础材料,支持开展量产验证...,形成供货能力;突破后摩尔时代微电子新材料、新器件结构以及高密度光电集成的产业化应用关键技术;建设成为国内技术水平最高、产业链最完整、综合实力最强的集成电路产业基地。

来源：中国智能制造网2016-09-22

有的传感器mems芯片中已经集成了dsp，与之搭配的话，更加简单的8位单片机也可以做到。无人机的五官：传感器随着无人机的功能不断增加，传感器技术在新型无人机技术及解决方案中应用越来越多。

来源：搜狐中翼网2016-09-12

像任天堂wii控制器或iphone屏幕位置，这些小的mems传感器在维持飞行控制中起到关键的作用。mems加速度传感器有多种方式感知运动姿态，一种类型的技术能够感知微型集成电路的微小运动。

来源：中国智能制造网2016-09-08

其中，传感器间的联动、环境感知、场景联动将成为未来智能家居向用户提供智能化服务的重要技术基础，mems传感器技术作为智能家居领域产品的关键技术，将提供高性能、低成本的技术解决方案，将加速智能家居领域产品的快速发展

来源：北极星太阳能光伏网2016-08-10

开展新型光通信器件、半导体照明、高效光伏电池、mems（微机电系统）传感器、柔性显示、新型功率器件、下一代半导体材料制备等新兴产业关键制造装备研发,提升新兴领域核心装备自主研发能力。...发展智能电网技术，重点加强特高压输电、柔性输电、大规模可再生能源并网与消纳、电网与用户互动、分布式能源以及能源互联网和大容量储能、能源微网等技术研发及应用。可再生能源与氢能技术。

来源：车云网2016-08-02

比如能够为自动驾驶提供3d定位的惯性传感器与气压传感器，惯性传感器负责检测水平方向变化，而气压传感器则可以用来检测车辆高度的变化；再比如用在主动安全系统中的各式各样mems传感器。...关于这次收购，村田也表示，希望能够借着自己在消费电子市场的资源，先来加强索尼的电池业务，然后将其此前用在手机与发电厂上的技术，用到汽车行业，给电动汽车提供驱动力。

来源：北极星输配电网2016-05-12

与此同时，在超级电容最早实现产业化运作的大本营智能仪器及高端电子消费品市场，mems微型电容器的创新概念迅速窜红。...其中双电层电容器的电极活性材料多为活性炭，其产业化技术主要掌握在西方发达国家手中。隔膜技术掌握在日本企业手中。电解液方面，国内暂无技术瓶颈。

来源：华夏幸福基业股份有限公司2016-05-10

通过与微机电系统(mems)纳米机电系统(nems)技术的结合，纳米发动机产生的机械能将有望为纳米器件和纳米机器人提供动力。...这一技术可用来制作化学传感器、太阳能电池、医疗成像装置或是纳米级电路等。

来源：华泰证券研究所2016-03-23

盾安环境坚持高端智能制造转型升级，在布局mems传感器、人机协作机器人的基础上，进一步向新能源汽车热管理系统拓展。我国新能源汽车产业2015年进入成长期。...公司与上海交大成立技术研发中心，整合新能源汽车空调压缩机生产商精雷电器，形成了包括微通道换热器、传感器、流体控制及压缩机在内的新能源汽车空调系统整体设计能力。

来源：北极星输配电网2016-03-23

据ihs2015年11月份数据，消费和移动电子市场仍然是驱动mems增长的龙头，不但在总的mems市场中所占份额最大，其年复合增长率（2014-2019）达到了13.4%，相比之下同期总的mems市场年复合增长率则为

来源：中国证券网2016-03-23

作为国内最早的mems公司，苏州敏芯一直专注mems麦克风，并在去年推出了基于压力传感的压力触控传感器。...据ihs2015年11月份数据，消费和移动电子市场仍然是驱动mems增长的龙头，不但在总的mems市场中所占份额最大，其年复合增长率（2014-2019）达到了13.4%，相比之下同期总的mems市场年复合增长率则为

来源：北极星电力网2016-03-10

安溪)经济合作区(湖里园)(湖里区政府)37.厦门强力巨彩led显示屏产业园项目(火炬管委会)38.汽车工业城零部件配套中心(四期)(集美区政府)39.佳格集团葵花油项目(海沧区政府)40.手机微机电(mems...)14.乾照led蓝绿光外延片、芯片和照明产业(火炬管委会)15.厦门生物医药企业加速器(市科技局)16.中国科学院海西研究院厦门稀土材料研究所(市科技局)17.宏发汽车电子车用电磁控制继电器产业化及技术改造

来源：仪器信息网2016-03-02

东北地区：以沈阳、长春、哈尔滨为主，主要生产mems力敏传感器、气敏传感器、湿敏传感器。京津区域：主要以高校为主，从事新型传感器的研发，在某些领域填补国内空白。北京已建立微米/纳米国家重点实验室。...二是共性关键技术尚未真正突破。设计技术、封装技术、装备技术等方面都存在较大差距。

来源：cnBeta2016-03-01

近期，英国萨里大学（universityofsurrey）联合军工厂商baesystems在光微机电系统(opto-mems）设备上的红外成像部分开展合作，通过纳米纹理化（nanotexturing）技术

来源：cnBeta2016-03-01

近期，英国萨里大学（universityofsurrey）联合军工厂商baesystems在光微机电系统(opto-mems）设备上的红外成像部分开展合作，通过纳米纹理化（nanotexturing）技术

来源：仪器信息网2016-02-25

滨松微型光谱仪是滨松moems技术的产物，该技术融合了滨松光电半导体开发技术和mems技术，将光电元器件的体积和成本都进行了大幅度的缩减。