来源：EnergyTrend2013-04-15

目前我们研发改造的pecvd设备已经被杭州一家电池厂订购，作为hit高线电池扩产使用。

来源：SEMI2012-12-17

薄膜硅先进性得益于各种创新技术，例如用于非晶和微晶硅吸收层最优化的等离子体增强化学气相沉积技术(pecvd)设备和工艺，以及使用更环保更有效的清洁技术的氟气(f2)的kai反应腔，该技术清洁反应腔的速率更高

来源：欧瑞康2012-11-16

这种先进性得益于各种创新技术，例如用于非晶和微晶硅吸收层最优化的等离子体增强化学气相沉积技术(pecvd)设备和工艺，以及使用更环保更有效的清洁技术的氟气(f2)的kai反应腔，该技术清洁反应腔的速率更高

来源：21世纪网2012-11-14

上述销售合同包含了420台pecvd设备及90台pvd设备，大概能支持3gw非晶硅薄膜电池的产能。...汉能购买铂阳的设备，而铂阳则购买汉能的研发中心和技术专利。2012年4月20日，铂阳宣布持股99%北京铂阳，以1.5亿人民

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-11-07

从当前的市场状况可以看到，虽然在管式pecvd设备研制代孕上国产设备成绩喜人，但在该设备的高端领域平板pecvd设备开发方面，本土产品仍处于相对滞后的状态。

来源：中国太阳能光伏网2012-10-22

所以oerlikon早在20年前开发薄膜太阳技术及设备时，将其开发重点集中在pecvd设备超高频电源与反应器装置的开发。...据孙海燕博士介绍，非晶工艺和非晶微晶工艺的主要区别在于pecvd工艺，后者在镀膜的过程中需要40mh的超高频，以获得高沉积速率、高均匀性以及低损伤。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

图6.1pecvd的结构示意图6.2pecvd的工作原理和特点目前太阳能光伏市场上用的pecvd设备，国外的主要有德国centrotherm和日本岛津的镀膜设备;国内的主要有生产型管式pecvd，接下来就该管式

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

二、实验方法本文针对的是管式pecvd设备的流量实验，在石墨舟的前后依次沿轴线放置7片抛光片，通过测量膜厚来鉴定膜的生长速度，通过不同的流量来分析流量对成膜性能的影响，对膜性能测试是在固定其它参数的情况获得的

来源：仪表网2012-03-27

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-19

si500d等离子沉积系统是icp-pecvd设备，用于在基片上沉积 siox, sioxny或 siny薄膜。沉积薄膜的厚度、折射率、应力可以简单的、连续的调节。...sentech icp-pecvd设备的安装，由德国原厂技术支持工程师和东方集成工程师共同完成，由sentech和东方集成共同承担售后保修，具有标志性的历史意义。

来源：志趣网2011-09-29

总体上讲，目前我国光伏装备制造业处于国产化替代进口阶段，平板式pecvd、激光刻边机、湿法化学刻蚀机、链式扩散炉等少数设备还依赖进口。...先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破，扩散炉、pecvd

来源：普乐2011-09-02

针对于锗烷高昂的价格，单室多片的平行模式pecvd设备又是非常理想经济的产业化设备，在这种设备上沉积出优质的非晶硅锗薄膜是非常具有发展前景的。

来源：中国能源报2011-08-31

针对于锗烷高昂的价格，单室多片的平行模式pecvd设备又是非常理想经济的产业化设备，在这种设备上沉积出优质的非晶硅锗薄膜是非常具有发展前景的。

来源：21IC电子网2011-08-10

由于影响pecvd系统淀积效果的参数很多，如气体流量和流量比，工艺腔温度，射频功率，沉积气压等等，而且对不同的pecvd设备会有不同的最佳参数，我们有必要就主要的控制参数进行研究，摸索出在这台pecvd

来源：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-17

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长 伍三忠2011-06-15

先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破，扩散炉、pecvd

来源：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司副总裁 李本成2011-06-15

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：中国电子报2011-04-21

通过技术升级，扩散炉、pecvd设备、清洗机、高温烧结炉等关键工艺装备的各项技术性能指标均达到国内领先、国际一流的水平。 第三，大生产有能力加快装备的研发进度。...近几年来，48所通过在大生产运行中积极探索先进工艺，对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进

2006-09-05

特别是2003年七星华创以及2004年中国电子科技集团公司第48研究所研制成功的电池片制造用最关键设备之一——热壁式生产型pecvd设备，使我国设备业已基本具备太阳能电池制造设备整线供给能力。 　　

2004-12-22

其次，增加一套世界先进的全自动太阳电池生产线，包括大型pecvd设备、扩散炉和丝网印刷机等，产量可达每小时1400片，年产多晶硅电池片50兆瓦。...但是由于太阳能光伏行业的高额投入（如一台多晶硅铸锭炉设备的价格高达几十万美元），且设备采购周期长，生产技术复杂等门槛的限制，又制约了这一产业的快速普及。