来源：北极星太阳能光伏网2021-04-28

光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目，旨在开发研制光伏异质结（hjt）高效电池用pecvd工艺装备并形成量产能力。...4月6日金辰股份发布公告称，非公开发行股票申请获得通过，公司拟募集资金不超过3.8亿元，用于光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目及补充流动资金。

来源：苏大光伏校友会2021-04-09

项目一期第一条线主要以进口设备为主，采用启威星的清洗制绒设备、美国应用材料的pecvd设备、捷佳伟创的rpd设备、应用材料的丝网印刷设备，对应电池产能220mw；第二条线为国产设备，对应产能260mw，

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-07

光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目，旨在开发研制光伏异质结（hjt）高效电池用pecvd工艺装备并形成量产能力。...据悉，金辰股份此次拟非公开发行不超过3173.38万股股票，募集资金不超过3.8亿元，用于光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目及补充流动资金。

来源：北极星太阳能光伏网2021-03-29

新购置制绒清洗设备、 pecvd 设备、pvd 设备、丝网印刷线机、划片串焊设备、叠焊机、 层压机等生产及辅助设备885 台/套，项目主导产品为n型高效太阳能电池组件。

来源：集邦新能源网2021-03-24

万元左右，主要新增设备为非晶硅沉积的lpcvd/pecvd设备以及镀膜设备，可实现对perc的低成本升级至topcon。

来源：钧石能源2021-02-08

钧石能源自主研发的pvd设备经过多年的潜心研发与改进，钧石能源拥有自主知识产权的pecvd、pvd等核心生产设备技术，主要设备pecvd、pvd等兼容166mm、18xmm、210mm尺寸硅片，适应未来行业的发展要求

来源：集邦新能源网2021-02-02

值得注意的是，虽然某些工序/设备名称一样，但是实际区别较大，例如pecvd设备，pecvd全称为等离子体增强化学气相沉积法（plasma enhanced chemical vapor deposition

来源：集邦新能源网2021-01-29

单线产能中位数从200mw提升至500mw，这主要来源于主要设备企业对于pecvd生产节拍瓶颈的突破。...通威10月份发布1gw异质结招标结果，其中迈为提供的核心设备pecvd的生产节拍高达8000片/小时，对应182电池片年产能510mw。单gw设备投资额下降至4.5亿。

来源：SOLARZOOM2021-01-13

而到了2020年上半年，则关于18x的讨论开始增多——硅片、电池片企业经过技术探索发现，单晶拉棒炉、管式pecvd等设备经过改造后最大可以满足18x的尺寸。...原因是：电池片企业要额外出资改造设备（甚至是更换设备），而大尺寸化的降本效果并不显著；特别是210，其技术在当时还非常不成熟，良率水平较低。

来源：集邦新能源网2021-01-12

非晶硅沉积环节，射频化学气相沉积（pecvd 工艺的一种）的材料成本约 0.03~0.04 元/片。...对于 pvd 设备结合 ito 靶材的工艺，靶材密度大于 7.1g/cm3，靶材成本约为 2700 元/kg，电池片的靶材成本约 0.4~0.5 元/片。

来源：光伏新闻2020-12-31

该企业在炭炭材料一件难求的前提下，对pecvd设备的采购按下暂停键，说明该企业对未来的炭炭材料市场不看好。...三、某炭炭龙头紧急刹车10月底，某龙头企业在西安举行了14台pecvd沉积炉的招标工作，招标完没几天，该企业就对这14台沉积炉的采购进行了暂停，什么时候开始进行，光伏新闻暂时还没收到消息。

来源：北极星太阳能光伏网2020-12-21

迈为股份是国内少数具有hit成套设备供应能力的厂商之一。据其半年报显示，迈为股份在hit国产设备上率先突破丝印设备、成功研制板式pecvd，并具备整线供应能力。

来源：北极星太阳能光伏网2020-12-07

、pecvd镀膜设备、单多晶制绒清洗成套设备及技术也获得批复。...苏州太阳井新能源有限公司新建900片/年太阳能硅片金属化研发实验室项目、艺丰光电年产1亿片8.8英寸太阳能级晶硅片生产线技术改造项目、无锡琨圣科技年产150台套太阳能硅片topcon制绒清洗、链式清洗、扩散、lpcvd

来源：捷佳伟创2020-11-23

捷佳伟创作为光伏设备行业的领先企业，在perc电池设备技术上已建立明显领先优势，在perc+环节通过与客户深度合作已取得突破；在高效hjt环节，包括rpd系列和先进pecvd在内已具备电池设备整线交付能力

来源：格隆汇2020-10-13

无锡松煜科技有限公司是从事高端智能装备开发、生产、销售的光伏设备及半导体工艺设备制造商，目前主要产品为原子层沉积设备(ald)、扩散设备、氧化设备和pecvd设备。

来源：太平洋证券2020-10-12

国产设备进口替代不断成熟， 此前宣城异质结项目的招标中，根据招标文件，迈为中标的 pecvd 产能已达到 8000 片/小时@m6。...异质结技术的成熟意味着大量存量 产能的更新，同时单 gw 设备投资额大幅高于 perc 技术路线，设备 厂商将迎来量价齐升。

来源：pv-magazine2020-09-27

meyer burger通过其helia pecvd平台为a-si钝化部署了等离子体增强化学气相沉积（pecvd）。...该公司在pecvd工艺方面拥有丰富的经验，在最初的perc投资周期开始之时就广泛提供了该技术。

来源：摩尔光伏2020-09-08

据媒体报道，近日，开盛新能源公布500mw异质结太阳电池生产线中标情况，包括迈为股份中标1.88亿元异质结整线设备订单（主要包含两套制绒清洗、一套pecvd及一套丝网印刷线，产能8000片/时）和两套合计

来源：苏大光伏校友会2020-09-03

pvd设备订单（合计产能13500片/时），理想万里晖中标一套0.55亿元pecvd设备（产能4000片/时），苏州中辰昊科技中标一套0.19亿元丝网印刷线。...近日，开盛新能源公布500mw异质结太阳电池生产线中标情况，包括迈为股份中标1.88亿元异质结整线设备订单（主要包含两套制绒清洗、一套pecvd及一套丝网印刷线，产能8000片/时）和两套合计0.6亿元的

来源：摩尔光伏2020-09-01

等离子增强化学气相淀积(pecvd：plasma enhance chemical vapour deposition),在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜，以增加入射在硅片上的光的透射，减少反射，氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用