来源：北极星环保网2021-10-29

积极引进金属有机化合 物化学气相沉积设备（mocvd）、刻蚀机、光刻机、等离子体增 强化学气相沉积设备（pecvd）、固晶机、光谱分析仪等核心设备 研发生产项目。

来源：理想万里晖2021-09-30

理想万里晖在异质结领域积极延伸产业链，布局整线战略，现已有系列pecvd设备、pvd设备、整线集成及交钥匙服务，目前已有异质结客户12家，通过验收客户9家。

来源：PVInfoLink2021-09-17

总体来说，pecvd+pvd已然成为hjt最主流的路线组合。...hjt 因为没有良率问题的困扰，当前技术路线已经较明确，pecvd法其中主要以rfcvd因为技术成熟度较高且镀膜均匀性较好已经成为制备非晶硅层的主流工艺路线，热丝cvd因为其沉积速率高和对硅片钝化效果好的优势

来源：安徽华晟新能源2021-09-09

日前，安徽华晟新能源宣布与薄膜设备制造商上海理想万里晖达成了一项全新的战略合作，双方致力于开发大产能异质结专用pecvd设备。...据介绍，双方团队计划在10层cvd设备上采用新技术进行量产及工艺可行性方面进行研究，开发更低成本、更大产能的cvd设备。目前，华晟正在做前期厂务动力设施的施工准备工作，设备计划于今年11月份搬入现场。

来源：pv-magazine2021-07-29

然而，pecvd工艺并不常用于钙钛矿沉积。 “可以用很多不同的方式完成钙钛矿镀膜。...技术分歧梅耶博格的hjt生产线基于pecvd（等离子体增强化学气相沉积）工艺，用于生产双结晶体硅(a-si)/非晶硅(a-si)电池。

来源：雪球2021-07-26

目前所有设备商的产能还无法满足大的订单，公司扩产就是为了后期能满足供应做准备；hjt整线产线长度超过400米，pecvd设备线长100米，而且pecvd一个腔体重量要30多吨，需要大的厂房，很难短期就完成扩产

来源：北极星太阳能光伏网2021-07-21

据曹仁贤介绍，目前，我国在硅料生产、硅片加工、电池片生产、组件生产、环保处理、净化工程，以及相关的光伏检测、模拟器等各类生产设备方面，绝大部分已经实现国产化供应，部分产品如湿法清洗设备、制绒设备、扩散炉、管式pecvd

来源：通威集团2021-07-14

通威在topcon技术方面也取得了重大突破，采用210尺寸pecvd隧穿氧化/多晶硅沉积设备和工艺，研发线平均电池效率达到24.10%，同时1gw topcon中试线也正在建设中。

来源：SOLARZOOM光储亿家2021-06-28

近日，首台由金辰自主研发的异质结hjt太阳能电池pecvd非晶硅薄膜设备运抵晋能科技，正式开启了双方就进一步研究开发“基于异质结hjt太阳能电池新型pecvd的非晶硅薄膜工艺及电池技术”的联合战略合作。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2021-06-25

pe插片机晟成光伏在snec展会上展出的pe插片机，属于光伏电池片生产设备，该设备对接管式pecvd石墨舟镀膜自动化生产线，具备花篮与石墨舟之间自动导片功能，以及对接信号处理功能。

来源：迈为股份2021-05-28

自2019年1月公司的hjt pecvd及其配套设备项目启动至今，迈为先后首创性地研制了第一代产能200mw、第二代产能400mw的pecvd设备，且通过进一步自主研发，成为了第一家实现hjt高效电池整线设备国产化的企业

来源：天风证券2021-05-17

巨大的降本潜力：我们测算了通过降低银浆价值量（smbb、高精度串焊、银包铜、国产替代、规模效应等）、薄片化、设备投资（pecvd降本）等途径对电池成本的影响。

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-29

报告期内，捷佳伟创自主研发的首台国产大产量rpd5500a设备和异质结关键设备板式pecvd先后出厂交付。...主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化（配套）设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-28

光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目，旨在开发研制光伏异质结（hjt）高效电池用pecvd工艺装备并形成量产能力。...4月6日金辰股份发布公告称，非公开发行股票申请获得通过，公司拟募集资金不超过3.8亿元，用于光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目及补充流动资金。

来源：pv-magazine2021-04-14

其制造工艺包括通过原位掺硼多晶硅层低压化学气相沉积法（lpcvd）形成p型后触点。工艺步骤还包括高温退火并通过等离子体增强化学气相沉积法（pecvd）在电池的两侧应用氮化硅（sinx）层。

来源：苏大光伏校友会2021-04-09

（来源：微信公众号“苏大光伏校友会” id：supvaa）目前该基地出片速度已提升至每小时1200片，后期将逐步提升；另外产品技术方面也取得重大突破，其中pecvd工序在一定条件下电池核心性能少子寿命平均突破...项目一期第一条线主要以进口设备为主，采用启威星的清洗制绒设备、美国应用材料的pecvd设备、捷佳伟创的rpd设备、应用材料的丝网印刷设备，对应电池产能220mw；第二条线为国产设备，对应产能260mw，

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-07

光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目，旨在开发研制光伏异质结（hjt）高效电池用pecvd工艺装备并形成量产能力。...据悉，金辰股份此次拟非公开发行不超过3173.38万股股票，募集资金不超过3.8亿元，用于光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目及补充流动资金。

来源：北极星太阳能光伏网2021-03-29

新购置制绒清洗设备、 pecvd 设备、pvd 设备、丝网印刷线机、划片串焊设备、叠焊机、 层压机等生产及辅助设备885 台/套，项目主导产品为n型高效太阳能电池组件。

来源：集邦新能源网2021-03-24

/pecvd设备以及镀膜设备，可实现对perc的低成本升级至topcon。...设备投资在1.2-1.5亿元左右，topcon投资约2-2.5亿元左右，而hjt投资额在4-4.5亿元左右，但单gw perc改造为topcon金额约6000-8000万元左右，主要新增设备为非晶硅沉积的lpcvd

来源：钧石能源2021-02-08

钧石能源自主研发的pvd设备经过多年的潜心研发与改进，钧石能源拥有自主知识产权的pecvd、pvd等核心生产设备技术，主要设备pecvd、pvd等兼容166mm、18xmm、210mm尺寸硅片，适应未来行业的发展要求