来源：挖贝网2019-10-17

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化（配套）设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售

来源：上海证券2019-10-17

目前hjt电池设备以国外为主，国产企业加速布局，在其中最重要的pecvd、rpd和pvd设备，国内企业都已经有产品推出，并且在下游客户应用。

来源：电新产业研究2019-10-15

2.hjt降本的理论空间较大，具体进展需要再跟踪：hjt电池生产只有四步，清洗制绒、pecvd镀本征和掺杂非晶硅薄膜、pvd镀金属导电膜、丝印烧结。...理论上分析，hjt电池生产流程简单，制备过程只有清洗制绒、pecvd镀本征和掺杂非晶硅薄膜、pvd镀金属导电膜、丝印烧结等步骤（较现行路线少了3-4个步骤），未来hjt生产也将更智能化，长期降本可能主要集中在耗材

来源：摩尔光伏2019-10-14

（来源：微信公众号“摩尔光伏”id：molepv）hjt核心工艺设备pecvd和pvd较重，需要根据其荷载结果确定合理载荷量，如楼板每平方米承载1吨。...一、土建结构光伏企业一般采用钢结构厂房，优点是施工周期短、成本低廉，其缺点是占地面积较大。

来源：雪球2019-09-24

的pecvd来说并无障碍。...pecvd主流设备最小直径为450mm，而硅片边距166mm，这就需要在牺牲产能的情况下兼容m6硅片，同时在工艺要求范围内把设备本体设计升级。

来源：光伏头条2019-09-24

的pecvd来说并无障碍。...pecvd主流设备最小直径为450mm，而硅片边距166mm，这就需要在牺牲产能的情况下兼容m6硅片，同时在工艺要求范围内把设备本体设计升级。

来源：光伏测试网2019-09-18

目前，国内外文献多采用等离子体增强化学气相沉积法(pecvd)制备非晶硅薄膜，其他 方法如热丝化学气相沉积技术(hwcvd)、常压化学气相沉积技术(apcvd)和 离子束辅助沉积技术制备a-si:h也有研究

来源：光伏前沿2019-09-04

先导智能于2009年进军光伏装备行业，光伏设备主要产品为自动化制绒/刻蚀清洗上/下料机、自动化扩散上/下料机、自动化管式pecvd上/下料机、电池片自动串焊机、组件自动流水线及光伏电池整线解决方案等。

来源：光伏测试网2019-08-30

:吸片、舟卡槽及硅片间摩擦;刻蚀工序:滚轮划伤、清洗残留、皮带接触、导条接触、花篮接触、人员接触、烘干污染、粉尘污染、油污等;背钝化工序:吸盘接触、皮带接触、导条接触、花篮接触、人员接触、粉尘污染等;pecvd...，此环节需仪器meyerburger的一体机式镀膜机、罗博特科自动化仪器;五是pecvd正面沉积氮化硅膜，在该工艺流程中所使用到主要仪器包括ct管式镀膜机、baumann自动化;六是背面激光开孔实现背面浆料与硅材料局部接触

来源：中信建投证券2019-07-24

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用pvd沉积tco导电膜；3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：SolarWit2019-07-15

调研电池片关键设备厂商这一点得到了明确的反馈，捷佳伟创的pecvd设备出货量表明今年每个月平均perc电池片新增产能达到了4~5gw，全年设备发货量预计会达到50gw的水平，这在历史上市未曾有过的装机狂热时期

来源：招商证券研究所2019-06-25

\/gw，则 2019\/2020年设备空间可达 102亿、 77亿，2019年对应制绒设备、扩散炉、刻蚀机、激光设备、自动化设备空间各自约10亿，正面 pecvd 空间 20亿，背面 pecvd 空间

来源：长城证券2019-05-22

管式pecvd设备与进口设备实力相近，份额逐步扩大，正在加速进口替代过程。但全自动丝网印刷机、自动分拣机、连续式pecvd设备仍然依赖于进口，未来国内设备厂商主要向高效化和智能化发展。

来源：光伏测试网2019-03-27

2019年3月6日，韩华发表声明称晶科能源、隆基股份及rec等三家公司侵犯了其钝化技术专利，隆基方面则在声明中表示，隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致，专利采用的是ald技术，而隆基采用的是pecvd...“树大招风”，专利是保护企业的一种有效手段中国是世界最大的太阳能光伏生产国和出口国，太阳能光伏产业长期处于世界领先地位。在全球光伏产品的产能远大于市场需求的情况下，中国光伏产能占全世界库存的大部分。

来源：证券日报2019-03-19

因此，晶科能源反对韩华的指控；隆基股份方面则表示，从技术上看，目前隆基产品与涉案专利采用的技术方法并不一致（专利采用的是ald技术，隆基采用的pecvd技术）。...根据公开信息，2013年之后，韩华一直稳定处于全球光伏组件企业第4或第5位，到2018年略有下滑，位列第6。事实上，韩华正在面临竞争压力的上升，尤其是来自于中国光伏的压力。2018年，中国光伏

来源：北极星太阳能光伏网2019-03-15

据pv-magazine报道，关于韩国光伏制造商hanwha qcells起诉竞争对手涉嫌侵犯专利权一事，瑞士太阳能制造设备制造商meyer burger称存在法律争议。...目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。

来源：晋锐能源2019-02-20

国内企业中最受瞩目的便是钧石能源，公司拥有自主研发的hdt高效异质结太阳能电池技术，产品的转换效率居行业前列，更重要的是，钧石能源pvd、pecvd等核心设备均为自主研发并拥有自主知识产权，使项目投资成本大大缩减

来源：亚化咨询2019-02-19

其中，根据设备形式的不同，pecvd沉积工艺设备包括板式pecvd和管式pecvd，ald沉积工艺设备也主要分为管式ald和板式ald，值得注意的是，在管式ald工艺下，还分为单插片与双插片的区别，即双面镀膜和单面镀膜的差异

来源：中信建投2019-02-11

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用 pvd沉积tco导电膜； 3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：新材料在线2019-01-15

主营业务：pecvd;扩散炉;制绒;清洗;刻蚀;自动化等六大类光伏设备及mocvd。募资总额：105486.55万元。...募资用途：高效晶硅太阳能电池片设备(新型半导体掺杂沉积工艺光伏设备)制造生产线建设项目、智能全自动晶体硅太阳能电池片设备制造生产线建设项目、湿法工艺光伏设备生产线建设项目等。