来源：中国高新技术产业导报2012-03-22

8.特种工艺与精密制造技术多维精密加工工艺，精密成型工艺，焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，微机电系统(mems)技术，精确可控热处理技术，精密锻造技术等。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-20

所有研发工作同步进行，专案合作方将寻求最佳化太阳能发电系统电力利用率的方法，以半导体矽电池面板的功率管理元件和集中式太阳能电池的微机电系统为研发重点。

来源：新华网2012-03-07

所有研发工作同步进行，项目合作方将寻求优化光伏系统电能利用率的方法，以半导体电池光伏板的功率管理器件和集中式太阳能电池的微机电系统为研发重点。

来源：电子产品世界2012-03-02

所有研发工作同步进行，项目合作方将寻求优化光伏系统电能利用率的方法，以半导体电池光伏板的功率管理器件和集中式太阳能电池的微机电系统为研发重点。

来源：中国证券网2012-02-15

全国有1600多家企事业单位从事传感器的研制、生产和应用，年产量达24亿只，市场规模超过900亿元，其中， 微机电系统(mems)传感器市场规模超过150亿元;通信设备制造业具有较强的国际竞争力。

来源：工业和信息化部2012-02-14

全国有1600多家企事业单位从事传感器的研制、生产和应用，年产量达24亿只，市场规模超过900亿元，其中, 微机电系统(mems)传感器市场规模超过150亿元;通信设备制造业具有较强的国际竞争力。

来源：C114中国通信网2012-02-09

1.微机电系统(mems)微机电系统(microelectromechanical systems，缩写为mems)是将微电子技术与机械工程融合到一起的一种工业技术，它的操作范围在微米范围内。

来源：互联网2011-11-30

广东省经信委、工信部电子工业标准化研究所、中科院微电子所、机械工业仪表所、浙江聚光科技有限公司、河南汉威电子股份有限公司等代表分别就区域物联网产业发展经验、国内外物联网标准化工作进展情况、微机电系统公共技术平台建设

来源：能源评论2011-11-07

也许随着生物技术和微机电技术的发展，我们可以制造出成本足以取代传统发电技术的新植物电池，但是就今天而言，就像ryu所说的那样，要制造一个有现实意义的发电设备，还有很多事要做。

来源：中国传动网2011-10-24

重点发展千万吨炼油百万吨乙烯或芳烃等重大工程自动化仪器仪表、先进传感器、射频识别系统(rfid)、互感器、避雷器、现场控制系统等精密仪器仪表，智能流量计、智能变送器、执行器、调节阀、分析仪器等智能仪表，以及工业综合型分散控制系统(dcs)、微机电系统

来源：北极星电力信息化网2011-10-10

李维平说，目前公司与国内的北大、南大、东大以及知名科研院所都建立了合作关系，拥有南京市mems(微机电系统)传感工程研究中心，是国内少有的掌握全部关键工艺技术的厂家。

来源：中国传动网2011-10-10

本次大会还审查并通过了《大型发电机变压器继电保护整定计算导则(修订)》、《750kv电力系统继电保护技术导则(修订)》、《变压器保护装置通用技术条件(修订)》、《 微机电动机保护装置通用技术条件(修订)

来源：全球电池网2011-10-08

这种太阳能电池采用晶体硅制成，在制造中加入了当今电子器件厂广泛使用的微机电系统（mems）。在同等条件下能产生同样多的电能，新型电池所需硅只有普通太阳能电池的1%。

来源：中国自动化网2011-09-23

北京航天微机电技术研究所始终关注功能安全整体解决方案。...2011年8月30日，中国航天科技集团第九研究院辖属的北京航天微机电技术研究所在北京成功举办了其自主研发的安全继电器系列新产品发布会。

来源：北极星电力软件网2011-09-20

随着微机电系统(micro-electro-mechanismsystem,mems)、片上系统(soc，systemonchip)、无线通信和低功耗嵌入式技术的飞速发展,孕育出无线传感器网络(wirelesssensornetworks

来源：国际电子商情网2011-09-13

美国consensic公司推出革命性新型微机电（mems）智能电容式压力传感器cps120，是全世界唯一一家数字式mems电容式压力传感器的厂商。

来源：中华工控网2011-07-27

baolab公司制造的芯片是在一个传统的硅芯片上蚀刻出一个纳米级的微机电系统(mems)。在这个纳米级微机电系统设备中有一个由弹性元件悬吊着的铝片。...baolab公司的每个纳米微机电系统传感器的长度都不足90微米，而将三种类型的传感器集成在一个3毫米长的芯片上是可能实现的。

来源：慧聪电子网2011-06-30

据ihsisuppli公司的研究，2010年无晶圆制造半导体公司扩大了在全球微机电系统(mems)市场的份额，去年占总体mems营业收入的近四分之一。

来源：仪器仪表交易网2011-06-29

飞思卡尔xtrinsicmpl3115a2压力传感器基于微机电系统(mems)技术，补充了xtrinsic产品组合中的加速计和磁力计，可以满足智能移动设备中对这类组件的日益增长的需求。

来源：中国自动化网2011-06-29

横跨多重电子应用领域、全球领先的半导体供应商及全球第一大消费电子和便携应用mems（微机电系统）传感器供应商意法半导体（stmicroelectronics，简称st；纽约证券交易所代码：stm）推出能够检测五个自由度的多传感器模块