来源：中国电子报2012-02-24

目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-20

我国光伏电池制造设备的技术水平首先，在湿法腐蚀、清洗设备、扩散方面，主要是自动制绒设备、自动清洗设备、全封闭扩散炉、刻蚀机、去psg设备等国内已经能够制造，已经达到世界先进水平，且性价比优势十分明显；国产

来源：仪表网2012-01-12

多晶硅生长炉、扩散炉、清洗机、分选机等工序上，也都能看到研祥的模块板卡、组态软件、人机界面、交换机等自动化设备。...比如多晶炉监控，硅片电池片的制作过程，都是通过自动化设备来搜集、监测、计算数据的，操作工通过hmi人机设备可直观观察生产进程和质量控制。就像汽车制造行业一样，光伏产业也是一个门槛较高的行业。

来源：北极星太阳能光伏网2011-12-15

据董秘徐加力表示："七星电子光伏设备源于公司核心的半导体集成电路设备工艺技术，产品的技术水平和工艺稳定性方面具有很强的竞争力，并且产品并不局限于单晶炉等长晶设备，而是以扩散炉、pecvd、清洗机等工艺设备为主

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-03

这次新闻发布会所展示的solarcell整厂整线生产设备，包括wis（外延片检查机）、texture（蚀刻机）、diffusion（磷扩散炉）、inoxside（化学晶边绝缘机）、pecvd（电浆辅助化学相沉积炉

来源：PV-Tech2011-10-26

其中刻蚀机、磷扩散炉和电浆辅助化学气相沉积炉单机部分采用了rena、centrotherm的相关设备，其余单机部分及生产线的串联由广运机械自行规划设计。...电池生产系统包括硅片检测机、蚀刻机、磷扩散炉、电浆辅助化学气相沉积设备、双次丝网印刷设备、快速烧结炉、iv检测及分类机，以及texture至pecvd各主机衔接的装载、卸载设备。

来源：Solarbe2011-10-25

除了其中的刻蚀机、磷扩散炉与电浆辅助化学相沉积炉单机部分搭配德国rena、centrotherm等著名大厂外，其他的单机部分以及产线串联，完全由广运自行规划制造。...此次广运展示的光伏电池生产设备，包含硅片检查机、蚀刻机、磷扩散炉、化学晶边纪缘机、电浆辅助化学相沈积炉、网印机、快速烧结炉、iv检测及分类机以及texture至pecvd各主机衍接loader及unloader

来源：商务部2011-10-10

展品范围光伏产业装备1)硅棒硅锭硅片生产设备：单晶炉/铸锭炉/坩埚/热场等相关设备；切割设备/清洗设备/检测设备及其他相关设备；2)电池生产设备：全套生产线/腐蚀清洗设备/扩散炉/减反射膜/沉积设备/丝网印刷机

来源：志趣网2011-09-29

先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破，扩散炉、pecvd

来源：中国电子报2011-09-13

而电池片产能的扩张必然直接拉动对扩散炉的需求，因此a股上市公司中具备相关产能的七星电子最值得关注。40%产能vs5%市场2009年，中国的...除单晶硅生长炉已经实现95%以上国产化外，多晶硅炉、硅片多线切割机、电池线等关键装备仍主要依赖进口。业内人士指出，未来国内光伏产业大范围的装备国产化替代过程仍将持续。

来源：PV-Tech2011-08-08

公司管理层注意到c-si电池生产商对其双道线上扩散炉产生了浓厚兴趣，因为相比单道系统，该设备可以1.5倍的价格获得2倍的吞吐量。...管理层还表示，从间歇式操作炉技术转为使用线上扩散系统所要花费的成本，仍将是影响光伏生产商采购需求的主要原因。

来源：中国电子报2011-07-14

经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗

来源：中国能源报2011-06-20

“我们在半年内成功研制了太阳能电池生产的核心设备：扩散炉及管式pecvd，创造了设备行业的研发速度记录，为华伯公司带来了1.6亿元订单。”华伯公司负责人说。

来源：搜狐IT2011-06-16

/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式pecvd、石英管清洗机、丝网印刷机、高低温烘干烧结炉、自动分选测试仪等，并能为国内外光伏企业提供晶体硅太阳能电池制造成套装备和工艺解决方案。...中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗

来源：中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长 伍三忠2011-06-15

先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破，扩散炉、pecvd

来源：工业和信息化部电子信息司副司长 刁石京2011-06-15

在生产设备方面，已能提供晶硅电池生产整线设备，单晶炉和多晶硅铸锭炉国产设备市场占有率不断提高，清洗机、扩散炉和刻蚀机等已批量出口，开方机和切方机已规模化生产，多线切割机已有样机生产。

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式pecvd、石英管清洗机、丝网印刷机、高低温烘干烧结炉、自动分选测试仪等，并能为国内外光伏企业提供晶体硅太阳能电池制造成套装备和工艺解决方案。...中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

扩散炉和pecvd，目前大量应用的国产设备都是管式的，由于可以满足生产工艺的要求，设备性价比也高，所以这些设备的市场认可度也高。...融合了更先进工艺技术的新一代管式扩散炉、高产能管式pecvd、全自动高精度太阳能电池片测试分选设备的推出，将使相关国产太阳能设备的市场份额进一步扩大，电池片生产线的成本优势再一次得到加强。

来源：龙虎网-南京日报2011-06-07

“我们在半年内成功研制了太阳能电池生产的核心设备：扩散炉及管式pecvd，创造了设备行业的研发速度记录，为华伯公司带来了1.6亿元订单。”华伯公司负责人说。

来源：北极星电力新闻网2011-05-23

坩埚、生长炉、其他相关设备 硅片晶圆生产设备：全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备 电池生产设备：全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、丝网印刷 机、其他炉设备、测试仪和分选机