2006-12-27
2.集成电路关键装备在京实现重大突破填补国家空白 ——100纳米刻蚀机与离子注入机首次签出亿元大单 100纳米刻蚀机 9月,北京北方微电子公司和中科信公司承担的国家100纳米刻蚀机与离子注入机设备攻关项目顺利通过国家验收
来源:《中国电子报》2007-03-14
“十一五”期间,我们要积极开发90nm、60nm乃至45nm的高速、低功耗芯片和新型硅基集成电路的制造工艺技术,研究新型的光刻及离子注入技术,缩小技术差距。