2006-09-07

光谱仪器向全自动化方向发展（如内装机械手等机器人系统，实现无人操作）。 　　网络化 　　由于测量设备自动化、智能化水平的提高，多台仪器联网已推广应用，虚拟仪器、三维多媒体等新技术开始实用化。...微电子机械系统（mems）技术是在微电子器件制造工艺技术基础上进一步融入微机械加工技术，并把两者结合起来的微制造技术，加工尺度在微米、纳米级。