来源：江西发改委2020-03-31

应选用达到国家1级能效标准的制绒在线导片机、单晶槽式制绒机、空压机、湿法刻蚀、管式pecvd设备等产品和设备，要将能效指标作为重要的技术指标列入设备招标文件和采购合同。(二)切实加强节能管理。

来源：北极星太阳能光伏网2020-03-19

项目总占地面积约100亩，新建厂房及辅助用房建筑面积61000平方米，拟优选和引进国外先进的单晶制绒、扩散、湿刻蚀、激光刻蚀、烧结等生产设备，优选国内背钝化、pecvd、退火、丝网印刷、测试等关键设备。

来源：摩尔光伏2020-03-19

（来源：微信公众号“摩尔光伏”）1、引言晶硅太阳能电池在制造过程中通常采用制绒、扩散、刻蚀、pecvd、印刷、烧结几道工序，由于一些机械应力、热应力及人为等不稳定因素的存在，会不可避免的造成硅片的一些隐性缺陷如污染

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-03-16

相比之下，薄膜电池的产业链则短的多，甚至可以用集约来形容，采用pecvd、磁控溅射等方法沉积，生产自动化程度高，制作工艺可以连续在多个真空沉积室或多片在一个沉积室内完成，企业自身可以掌握生产和技术的脚步...而设备企业虽然享受了行业最丰厚的利润，但技术竞争也更加残酷，过去曾经辉煌过的精功科技、天龙光电、东尼电子等设备企业告诉市场，设备企业一旦踩不住技术风口，必然会被这条庞大且精密的产业链无情抛弃。

来源：摩尔光伏2020-03-16

商业化石墨舟（上海弘枫石墨制品有限公司），石墨舟清洗机（苏州赤诚洗净科技有限公司），石墨舟烘箱（无锡四联科技有限公司），pd-380a型管式pecvd（深圳市捷佳创微电子设备有限公司），电子扫描显微镜。

来源：摩尔光伏2020-03-06

电池端，需要重新改造自动化，受产能影响，需要新购管式pecvd设备，辅材方面工器具需要重新购买。”...据pvinfolink介绍， “若要改造成166mm产线，困难相对较大， 有一部分工艺环节需要重新购置设备。

来源：北极星太阳能光伏网2020-03-04

该公司在努力增加pecvd(等离子增强化学气相沉积)工具和提高产量的同时，还对现有设备进行了生产线优化，以实现扩张。

来源：光伏测试网2020-03-03

硅片背面采用硝酸湿法氧化出一层1.4 nm左右的极薄氧化硅层，并利用pecvd在氧化层表面沉积一层20 nm厚的磷掺杂的微晶非晶混合si薄膜。...他分析，与现有p型太阳电池的诸多生产工艺兼容，较低的生产设备投入，简单的生产制程，相比n型topcon，具有较低的成本。

来源：摩尔光伏2020-02-27

文章重点分析了管式pecvd镀膜均匀性的影响因素。通过改变pecvd镀膜过程中的腔体压力、镀膜前的恒温时间及金字塔绒面均匀性、石墨舟清洗配方等因素进行实验研究。...结果显示，适当降低pecvd镀膜压力，增加镀膜前恒温时间、提升镀膜前硅片绒面均匀性、降低石墨舟表面粗糙度可以提升pecvd镀膜均匀性。（来源：微信公众号“摩尔光伏”）

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-02-24

，hjt四个步骤，受益于半导体产业过去几年国产化进步，最关键的pecvd国产化也已实现了质的飞跃。...“由于pecvd国产化了，整个gw的投资已经降到了6亿到5亿的水平内，我认为这个过程会非常快的实现”，他补充到。回顾山煤过去2个半月的上涨足迹，我们发现与hjt技术市场发酵的痕迹几乎完全一致。

来源：光伏测试网2020-02-24

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线增加钝化膜沉积设备（pecvd 设备或ald设备）和激光开槽设备即可。

来源：摩尔光伏2020-02-21

pecvd还是ald？下面是摘取王文静老师演讲ppt的内容。（来源：微信公众号：摩尔光伏）下面是丰盛装备王俊朝的演讲ppt，详细介绍这几种路线。有删减。

来源：太平洋证券2020-02-20

perc 电池生产工艺在传统产线基础上需增加氧化铝沉积及激光开槽两道工序，利好pecvd 及激光设备厂商。大尺寸硅片快速落地，设备及自动化控制将升级。...重点推荐晶盛机电（晶体生长及加工设备）、捷佳伟创（氧化炉、沉积炉、pecvd、hjt 制绒清洗、rpe 及丝网印刷设备）、迈为股份（丝网印刷设备、hjt 整线解决方案）、上机数控（硅片加工设备）、帝尔激光

来源：太阳能杂志2020-02-20

采用pecvd、ald...1.2 制备流程采用氧化铝浆料制备黑硅perc 多晶太阳电池的工艺流程为：①黑硅制绒→②扩散→③刻蚀去psg →④背面抛光→⑤印刷氧化铝浆料/ 烧结→⑥ pecvd 正面镀膜→⑦ pecvd 背面镀膜→

来源：能源杂志2020-02-18

其中，光伏设备龙头企业捷佳伟创通过取得住友重工（中国大陆地区）独家授权后实现了在pecvd设备上的突破，其研发的生产线已经应用于通威的hjt产线。与巨头联手...据了解，hit所需pecvd设备和现有设备差别较大，而hit电池进口设备约为8-10亿元/gw，国产设备约为5-8亿元/gw，perc则只需要2.5-3亿元/gw，hit电池设备成本约为perc的3倍。

来源：国信证券2020-02-18

其中背面钝化镀层包括氧化铝镀层与氮化硅镀层， 市场中存在两种技术路线，一是采用 pecvd+pecvd 两台设备，代表厂商为 捷佳伟创；二是用 ald+pecvd 两台设备，代表厂商为江苏微导。

来源：广发证券2020-02-12

hjt 工艺所需的核心设备包括：（1）湿法设备；（2）非晶硅沉积所需的pecvd 设备；（3） tco 制膜设备的pvd（rpd）设备；（4）金属化设备。

来源： 光伏领跑者创新论坛2020-02-11

近几年，perc产能快速扩张过程中，pecvd和激光开槽设备业绩弹性最大。perc设备基本国产化，pecvd主要由捷佳伟创、北方华创、丰盛装备等公司供应，激光开槽设备主要由帝尔激光等公司供应。

来源：评安机械PAJX2020-02-11

公司率先突破：1）开拓适用于hjt电池的丝网印刷设备；2）研制hjt非晶硅镀膜的核心设备板式pecvd，并具备整线供应能力。...此外，公司积极布局了激光开槽设备、光伏叠瓦设备和oled激光切割设备，均有望成为公司业绩新增长点。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-02-10

迈为股份则主攻hit中的丝网印刷与pecvd技术，清洗环节选择采购日本yac的成熟产品，tco膜沉积环节选择的是rpd设备采购德国的阿登纳的设备，以此来提供完整产线。