来源：北极星太阳能光伏网2020-04-24

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化(配套)设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售

来源：摩尔光伏2020-04-17

等离子增强化学气相淀积(pecvd：plasma enhance chemical vapour deposition),在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜，以增加入射在硅片上的光的透射，减少反射，氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-04-16

2019年12月，金辰股份将“搬运机器人和智能物料传输仓储系统”和“光伏电池片生产自动化系统”两个募投项目尚未使用的募集资金用途变更至新募投项目“年产40台（套）”遂穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式pecvd

来源：五维汇财2020-04-14

加工设备：捷佳伟创：晶体硅太阳能电池设备供应的国内龙头，电池片核心设备pecvd的市占率均超过50%;公司完全掌握了mwt. n-perc、 topcon等技术，并对下一代电池技术hit深入研究。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-04-10

罗博特科光伏业务营收占比达99%，主要为光伏电池片生产商提供自动化生产配套设备，产品包括扩散、pecvd、perc、蚀刻及测试分选自动化设备。

来源：光伏测试网2020-04-08

硅片背面采用硝酸湿法氧化出一层1.4 nm左右的极薄氧化硅层，并利用pecvd在氧化层表面沉积一层20 nm厚的磷掺杂的微晶非晶混合si薄膜。

来源：最佳股票网2020-04-08

公司主营光伏电池和组件自动化生产装备，正在研发储备hit高效电池生产线及核心工艺装备，19年12月拟通过可转债资投建年产40台(套）光伏异质结（hjt)高效电池片用pecvd设备项目8、迈为股份股票300751...晶体硅太阳能池设备供应的国内龙头，电池片核心设备pecvd的市占率均超过50%;公司完全学握了mwt、n-perc、topcon等技术，并对下一代电池技术hit深入研究13、嘉寓股份股票300117，最新股价

来源：江西发改委2020-03-31

应选用达到国家1级能效标准的制绒在线导片机、单晶槽式制绒机、空压机、湿法刻蚀、管式pecvd设备等产品和设备，要将能效指标作为重要的技术指标列入设备招标文件和采购合同。(二)切实加强节能管理。...应选用达到国家1级能效标准的制绒在线导片机、单晶槽式制绒机、空压机、湿法刻蚀、管式pecvd设备等产品和设备，要将能效指标作为重要的技术指标列入设备招标文件和采购合同。(二)切实加强节能管理。

来源：北极星太阳能光伏网2020-03-19

项目总占地面积约100亩，新建厂房及辅助用房建筑面积61000平方米，拟优选和引进国外先进的单晶制绒、扩散、湿刻蚀、激光刻蚀、烧结等生产设备，优选国内背钝化、pecvd、退火、丝网印刷、测试等关键设备。...1、浙江爱康光电科技有限公司5gw高效异质结（hjt）光伏电池及叠瓦组件项目（湖州长兴）项目概况：总用地430亩，新建建筑面积41万平方米；购置hjt专用硅片清洗机、pecvd、rpd、丝网印刷系统、叠瓦组件封装系统生产及辅助设备

来源：摩尔光伏2020-03-19

（来源：微信公众号“摩尔光伏”）1、引言晶硅太阳能电池在制造过程中通常采用制绒、扩散、刻蚀、pecvd、印刷、烧结几道工序，由于一些机械应力、热应力及人为等不稳定因素的存在，会不可避免的造成硅片的一些隐性缺陷如污染

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-03-16

相比之下，薄膜电池的产业链则短的多，甚至可以用集约来形容，采用pecvd、磁控溅射等方法沉积，生产自动化程度高，制作工艺可以连续在多个真空沉积室或多片在一个沉积室内完成，企业自身可以掌握生产和技术的脚步

来源：摩尔光伏2020-03-16

在实际商业运用中，用pecvd沉积氮化硅薄膜的技术已较为成熟，光伏太阳电池行业广泛使用板式pecvd和管式pecvd，但管式pecvd法制备的氮化硅薄膜色差问题难以解决，色差会使太阳电池的外观不良，必须重新晶硅太阳电池氮化硅膜产生色差的影响因素研究返工

来源：摩尔光伏2020-03-06

电池端，需要重新改造自动化，受产能影响，需要新购管式pecvd设备，辅材方面工器具需要重新购买。”

来源：北极星太阳能光伏网2020-03-04

该公司在努力增加pecvd(等离子增强化学气相沉积)工具和提高产量的同时，还对现有设备进行了生产线优化，以实现扩张。

来源：光伏测试网2020-03-03

硅片背面采用硝酸湿法氧化出一层1.4 nm左右的极薄氧化硅层，并利用pecvd在氧化层表面沉积一层20 nm厚的磷掺杂的微晶非晶混合si薄膜。

来源：摩尔光伏2020-02-27

文章重点分析了管式pecvd镀膜均匀性的影响因素。通过改变pecvd镀膜过程中的腔体压力、镀膜前的恒温时间及金字塔绒面均匀性、石墨舟清洗配方等因素进行实验研究。...结果显示，适当降低pecvd镀膜压力，增加镀膜前恒温时间、提升镀膜前硅片绒面均匀性、降低石墨舟表面粗糙度可以提升pecvd镀膜均匀性。（来源：微信公众号“摩尔光伏”）

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-02-24

“由于pecvd国产化了，整个gw的投资已经降到了6亿到5亿的水平内，我认为这个过程会非常快的实现”，他补充到。回顾山煤过去2个半月的上涨足迹，我们发现与hjt技术市场发酵的痕迹几乎完全一致。...月份投产了第一条百兆瓦级的产线，而国外的rec也已实现了600兆瓦的量产规模，这个都是我们已经能看到的实实在在的基础所在，可见量产技术正在进入成熟阶段；从核心设备上看，hjt四个步骤，受益于半导体产业过去几年国产化进步，最关键的pecvd

来源：光伏测试网2020-02-24

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线增加钝化膜沉积设备（pecvd 设备或ald设备）和激光开槽设备即可。

来源：摩尔光伏2020-02-21

pecvd还是ald？下面是摘取王文静老师演讲ppt的内容。（来源：微信公众号：摩尔光伏）下面是丰盛装备王俊朝的演讲ppt，详细介绍这几种路线。有删减。

来源：太平洋证券2020-02-20

perc 电池生产工艺在传统产线基础上需增加氧化铝沉积及激光开槽两道工序，利好pecvd 及激光设备厂商。大尺寸硅片快速落地，设备及自动化控制将升级。...重点推荐晶盛机电（晶体生长及加工设备）、捷佳伟创（氧化炉、沉积炉、pecvd、hjt 制绒清洗、rpe 及丝网印刷设备）、迈为股份（丝网印刷设备、hjt 整线解决方案）、上机数控（硅片加工设备）、帝尔激光