来源：同花顺2013-04-22

2月中旬，一种薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在上海张江理想能源设备公司正式下线。...同时，随着晶体硅的价格回落，薄膜电池考验光伏企业技术和资金的支持。不过，这并不意味着薄膜电池败局已定。

来源：《光伏产业观察》杂志2013-04-19

经过不懈努力，在捷佳伟创的管式pecvd设备上进行背面钝化技术的硅片少子寿命在传统工艺的基础上提高了5倍，与文献记录完全相符，这证明捷佳伟创的背面镀膜钝化已经成熟，这项进步填补了国产设备背面镀膜钝化技术的空白

来源：扬州网2013-04-03

宋锋兵介绍，整个晶硅电池生产线分为制绒、扩散、刻蚀、pecvd、丝网印刷等5个环节，原先的4个环节都处于全球一流水准，只有刻蚀这个环节仍然需要3台机器同时运转。...而至于光转化率，宋锋兵介绍，目前国内一般光伏企业的光转化率在17.1%17.3%之间，而扬州晶澳的产品光转化率原先就达到17.4%，处于行业领先水平。

来源：北极星太阳能光伏网2012-11-21

涉及光伏的主要产品包括：单晶炉、多晶硅铸锭炉、扩散炉、pecvd、制绒清洗机、去psg清洗机、石英管清洗机、石墨舟清洗机等。...该设备实现了mes与设备端的数据交互。同时，七星电子研发的ssp8471a管式pecvd为单管产能全球最高设备，电池片转换效率高，属于世界先进水平。

来源：21世纪网2012-11-14

上述销售合同包含了420台pecvd设备及90台pvd设备，大概能支持3gw非晶硅薄膜电池的产能。...图：国内主要光伏企业财务数据一览，寒冬持续，光伏行业陷全产业链困境。不过，虽然汉能没有完成认购股份，但汉能的管理层仍然得以入驻铂阳。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-11-07

从当前的市场状况可以看到，虽然在管式pecvd设备研制代孕上国产设备成绩喜人，但在该设备的高端领域平板pecvd设备开发方面，本土产品仍处于相对滞后的状态。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-10-31

曙海公司是专业从事设计、生产、销售硅薄膜太阳电池生产线和整套工艺及其核心专有设备等离子强化型化学气相薄膜沉积pecvd系统和磁控溅射系统pvd的高科技企业。...曙海公司的技术、经营团队，是由一批在太阳能和半导体集成电路设备研发、设计、制造领域工作了20多年的国际顶尖级留美博士专家回国后结合国内精英组成，拥有硅薄膜光伏设备和组件生产的多项国际专利和核心技术。

来源：OFweek太阳能光伏网2012-10-30

公司产品非晶硅薄膜电池组件，主要的生产技术包括：使用lpcvd沉积前透明氧化物电极与背接触电极;使用pecvd技术沉积非晶硅薄膜;通过p1、p2与p3激光划刻技术把非晶硅电池分成串接的子电池。

来源：中国太阳能光伏网2012-10-22

所以oerlikon早在20年前开发薄膜太阳技术及设备时，将其开发重点集中在pecvd设备超高频电源与反应器装置的开发。...据孙海燕博士介绍，非晶工艺和非晶微晶工艺的主要区别在于pecvd工艺，后者在镀膜的过程中需要40mh的超高频，以获得高沉积速率、高均匀性以及低损伤。

来源：解放日报2012-08-22

2010年，公司研制出lpcvd(低压化学气相沉积)设备和pecvd(等离子体增强型化学气相沉积)设备，其设备产能比进口设备更高，而售价只有进口一流设备的一半。

来源：北极星太阳能光伏网2012-08-03

现在由centrotherm和roth & rau(现在为meyer burger的分公司)主导的c-si pecvd工具市场在2011年达到了8.8亿美元。...除了技术购买流程，产能购买流程也将在几年内扩大，这将严重损害将重点广泛地放在光伏行业上的设备企业。

来源：PV-Tech2012-07-18

现在由centrotherm和roth&rau(现在为meyerburger的分公司)主导的c-sipecvd工具市场在2011年达到了8.8亿美元。...除了技术购买流程，产能购买流程也将在几年内扩大，这将严重损害将重点广泛地放在光伏行业上的设备企业。

来源：工控网2012-07-02

，2种(管式pecvd、快速烧结炉)与进口光伏设备并存但份额正逐步增大。...但它的自动化程度(自动装卸片)不如进口设备(进口设备如德国centrotherm公司产品，售价是国产设备的三倍左右)，平板型pecvd目前国内已有企业生产，有待进一步验证;第三，国产丝网印刷机(只有手动

来源：中国电子报2012-05-29

近年来，先后成功自主研发了清洗机、扩散炉、pecvd、刻蚀机、高低温烧结炉、单晶炉、铸锭炉等太阳能光伏关键装备，实现了从单一装备发展到单台装备与工艺结合，又从整线装备发展到整线装备与工艺结合的整线交钥匙系统方案

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-05-18

三、oltsolar晶体硅太阳能电池的pecvd新系统oltsolar展出了一款用于生产晶体硅太阳能电池的pecvd新系统。...csa集团致力于为国内光伏设备制造商提供高效、专业、优质的本地化测试和认证服务，帮助中国企业顺利将产品销往国外方面。

来源：中国能源报2012-05-04

在生产装备方面，晶体硅电池用的高档设备仍需进口，如高纯多晶硅生产的氢化炉、四氯化硅闭环回收装置、大尺寸(如450kg以上)铸锭炉、多线切割机、pecvd镀膜设备、自动丝网印刷机、全自动电池焊接机等。

来源：中国能源报2012-05-03

在生产装备方面，晶体硅电池用的高档设备仍需进口，如高纯多晶硅生产的氢化炉、四氯化硅闭环回收装置、大尺寸(如450kg以上)铸锭炉、多线切割机、pecvd镀膜设备、自动丝网印刷机、全自动电池焊接机等。

来源：仪表网2012-03-27

在电池片制备中，国产的pecvd还没有成为新建和扩产项目的首选，这说明它与国外先进的pecvd设备还有一些差距，最为薄弱的是国内在组件制备中的自动化生产线尚属空白，希望有实力的设备生产企业尽快涉足，以解国内燃眉之急

来源：中国电子报2012-02-24

此外,全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳能模拟器等在行业获得广泛应用。...，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存但份额正逐步增大

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-22

芦忠新：其实影响产品性能的，不只是pecvd，当然跟pvcpd设备肯定是有直接的关系。我个人认为目前薄膜电池最主要的是在理论上的突破。目前薄膜电池的发电率也在不断地攀升。...湖南共创光伏科技有限公司总经理 芦忠新北极星太阳能光伏网：年初，国家相关部委对光伏建筑一体化项目，在政策和资金补贴上给予更大力度的支持；但从去年以来多晶硅价格一路走低，对于像共创造光伏这样做硅基薄膜光伏电池的企业来说