来源：新华网2011-03-11

今年1月，由正泰集团自主研发的中国首台具国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)成功下线，打破了同类设备一直被国外厂商垄断的局面。

来源：互联网2011-03-04

kai设备是一个全自动化的pecvd(等离子体增强化学气相沉积)系统，作为行业内1.4 m2太阳能组件大规模生产的核心设备。...该系统是为非晶或微晶光伏吸收层的沉积功能所设计，是欧瑞康太阳能已验证的生产线的核心组成部分。独特的设计和plasma box专利实现了高产出和低成本。

来源：索比太阳能2011-03-01

在这种坚守之下，今年1月，首台“中国造”代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在正泰下属企业成功下线，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面

来源：电力网新闻中心2011-01-11

新设备带来转机 1月8日，首台代表着国际尖端技术水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备（ｐｅｃｖｄ）在上海张江理想能源设备公司正式下线，该设备的研制成功打破了薄膜太阳能电池设备市场一直被国外厂商垄断的局面

来源：新华每日电讯2011-01-11

首台“中国造”高端薄膜太阳能电池关键生产设备在上海下线 8日,中国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在上海成功下线,这被视为中国在新能源高端装备领域取得的

来源：新华网2011-01-10

2011年1月8日，我国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备--等离子体增强型化学气相沉积设备（pecvd）在上海理想能源设备公司（下文简称"理想能源"）成功下线，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面

2010-06-01

而已完成光伏产业垂直一体化布局的上海航天机电，也推出了国内零突破的等离子体增强化学气相沉积设备。 　　

来源：互联网2010-05-25

而已完成光伏产业垂直一体化布局的上海航天机电，也推出了国内零突破的等离子体增强化学气相沉积设备。

来源：互联网2010-05-21

而已完成光伏产业垂直一体化布局的上海航天机电，也推出了国内零突破的等离子体增强化学气相沉积设备。　　

来源：《中国电子报》2007-03-14

、金属氧化物化学气相沉积设备，高密度等离子体刻蚀机、大尺寸扩散炉等重大关键装备的产业化；加强企业和研发中心之间的合作。 　　...“十一五”期间，我们要积极开发90nm、60nm乃至45nm的高速、低功耗芯片和新型硅基集成电路的制造工艺技术，研究新型的光刻及离子注入技术，缩小技术差距。